一种溴化氢的纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种溴化氢的纯化装置，属于精细化工技术领域。包括依次连接的脱重塔、脱轻塔、产品收集器和充装瓶；脱重塔和脱轻塔塔底均设有加热装置和排污口；塔柱均设有温度控制装置；脱重塔塔柱中部有脱重塔进料口，脱重塔塔柱上部设有脱重塔出料口；脱轻塔塔柱上部设有脱轻塔进料口，脱轻塔塔柱下部设有脱轻塔出料口；脱轻塔塔顶设有轻组分杂质出料口；脱重塔出料口通过管路与脱轻塔进料口连接，脱轻塔出料口通过管路与产品收集器的进料口连接，充装管路沿产品收集器内部自下而上又出料口引出后与充装泵的进口连接，充装泵的出口通过管路与充装瓶连接；脱轻塔出料口与产品收集器的连接管路上设有检测口。所述装置结构简单，能耗低。

【技术实现步骤摘要】
一种溴化氢的纯化装置
本技术涉及一种溴化氢的纯化装置，属于精细化工

技术介绍
溴化氢凭借其对刻蚀原料的高选择性，以及对刻蚀形貌和角度的精确控制能力，现已成为8英寸和12英寸芯片的多晶硅刻蚀不可或缺的原料气体，是控制芯片制作过程的核心气体之一。然而，溴化氢具有强腐蚀性，尤其是有水分存在的情况下，腐蚀性更强，能够腐蚀绝大部分金属制品。因此，溴化氢的纯化，尤其是水分的去除，是工艺控制的关键所在。中国专利申请95191144.9利用粗品溴化氢，通过连续化精馏操作，可制备纯度到达99.999％的高纯溴化氢，但是问题是，该纯化过程要求粗品含水率不得超过2ppm，而溴化氢粗品含水率都在10ppm以上，所述方法具有一定的限制性。吸附法对设备要求低，对水分的处理效果好，但是吸附剂目前多采用分子筛和硅胶类物质，本身就容易吸附一定量的溴化氢，且吸水放热较大，水分含量高时放热更大，甚至能达到100℃以上，带来较大的安全隐患。此外，吸附剂脱附、回收比较困难，基本上都是重新替换，且替换前后需要对管路内气体进行重新置换，造成较大的物料和时间浪费，影响实际产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溴化氢的纯化装置，其特征在于：包括脱重塔(1)、脱轻塔(2)、产品收集器(3)、充装管路(4)、充装泵(5)和充装瓶(6)；/n脱重塔(1)和脱轻塔(2)均为精馏塔，均由塔顶、塔柱和塔底，塔顶均设有冷凝回流装置，塔底均设有加热装置和排污口；塔柱均设有温度控制装置；脱重塔(1)塔柱中部有脱重塔进料口，脱重塔进料口处连接有进料管路，脱重塔(1)塔柱上部设有脱重塔出料口；脱轻塔(2)塔柱上部设有脱轻塔进料口，脱轻塔(2)塔柱下部设有脱轻塔出料口；脱轻塔(2)塔顶设有轻组分杂质出料口；/n产品收集器(3)顶部设有进料口和出料口，产品收集器(3)内设有两套换热装置，一套换热装置用于对进料口进入的...

【技术特征摘要】
1.一种溴化氢的纯化装置，其特征在于：包括脱重塔(1)、脱轻塔(2)、产品收集器(3)、充装管路(4)、充装泵(5)和充装瓶(6)；
脱重塔(1)和脱轻塔(2)均为精馏塔，均由塔顶、塔柱和塔底，塔顶均设有冷凝回流装置，塔底均设有加热装置和排污口；塔柱均设有温度控制装置；脱重塔(1)塔柱中部有脱重塔进料口，脱重塔进料口处连接有进料管路，脱重塔(1)塔柱上部设有脱重塔出料口；脱轻塔(2)塔柱上部设有脱轻塔进料口，脱轻塔(2)塔柱下部设有脱轻塔出料口；脱轻塔(2)塔顶设有轻组分杂质出料口；
产品收集器(3)顶部设有进料口和出料口，产品收集器(3)内设有两套换热装置，一套换热装置用于对进料口进入的物料进行冷却，一套换热装置用于对产品罐内的物料进行加热；
脱重塔出料口通过管路与脱轻塔进料口连接，脱轻塔出料口通过管路与产品收集器(3)的进料口连接，充装管路(4)沿产品收集器(3)内部自下而上又出料口引出后与充装泵(5)的进口连接，充装泵(5)的出口通过管路与充装瓶(6)连接；脱轻塔出料口与产品收集器(3)的连接管路上设有检测口。


2.如权利要求1所述的一种溴化氢的纯化装置，其特征在于：所述装置还包括气体汇流排，...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫达，柳彤，徐海云，张明杰，沙婷，李海军，袁瑞玲，罗文键，郑艺，王云飞，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13