【技术实现步骤摘要】
大口径凸非球面光学元件的面形精度检测装置及检测方法
[0001]本专利技术涉及光学元件检测
，特别涉及一种大口径凸非球面光学元件的面形精度检测装置及检测方法。
技术介绍
[0002]由于非球面元件可以在不增加独立像差的情况下，降低光学系统的复杂程度，提高光学系统的成像质量。因此，随着光学加工和检测技术的发展，光学系统中越来越多的采用非球面光学元件，对非球面光学元件面形精度要求也越来越高，口径越来越大。相比于凹非球面光学元件，大口径凸非球面光学元件的检测更加困难。例如，大口径凸非球面检测方法中的轮廓检测法检测精度较低，只适用于研磨阶段；Hindle-Sphere检测法在检测大口径凸非球面光学元件的面形时需要制作大的参考球面，光学元件的镜面需要镀高反射膜，且无法对轴上非球面的中心遮拦位置进行测量，Hindle-Sphere检测法也只适用于检测二次曲面；Null-lens补偿法检测精度高但制作难度大，Null-lens补偿器的参考面为非球面，需要制作新补偿器以用来检测Null-lens补偿器的参考面，因此难以制作大口径的Nu...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大口径凸非球面光学元件的面形精度检测装置，其特征在于，包括干涉仪和沿所述干涉仪的光束出射方向依次设置的球面标准镜和Hindle-Shell补偿器，所述Hindle-Shell补偿器的口径大于被测光学元件的口径，所述Hindle-Shell补偿器的前表面为凸面、后表面为凹球面；所述干涉仪发出的光束经过所述球面标准镜转换为球面波后入射到所述Hindle-Shell补偿器，通过所述Hindle-Shell补偿器变为与所述被测光学元件的面形相匹配的波前入射到所述被测光学元件，在所述被测光学元件与所述Hindle-Shell补偿器之间进行二次反射后，回到所述干涉仪形成包含所述被测光学元件的面形信息的干涉条纹。2.如权利要求1所述的大口径凸非球面光学元件的面形精度检测装置，其特征在于，还包括所述Hindle-Shell补偿器凹面一侧的球面反射镜，在检测所述被测光学元件的面形精度之前，先将所述被测光学元件替换为所述球面反射镜，通过所述Hindle-Shell补偿器的球面波入射到所述球面反射镜，调节所述Hindle-Shell补偿器和所述球面反射镜的位置，直至所述干涉仪的干涉条纹为零条纹，再将所述球面反射镜替换为所述被测光学元件。3.如权利要求2所述的大口径凸非球面光学元件的面形精度检测装置，其特征在于，在将所述球面反射镜替换为所述被测光学元件后，调节所述被测光学元件的位置，至所述干涉仪的干涉条纹最稀疏或为零条纹。4.如权利要求1所述的大口径凸非球面光学元件的面形精度检测装置，其特征在于，还包括干涉仪调整装置、补偿器调整装置、球面镜调整装置和光学元件调整装置，所述干涉仪安装在所述干涉仪调整装置上，所述Hindle-Shell补偿器安装在所述补偿器调整装置上，所述球面反射镜安装在所述球面镜调整装置，所述被测光学元件安装在所述光学元件调整装置上。5.一种利用如权利要求1-4中任一项所述的大口径凸非球面光学元件的面形精度检测装置的面形精度检测方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、根据被测光学元件的参数选择球面标准镜和设计Hindle-Shell补偿...
【专利技术属性】
技术研发人员：王孝坤，蔡志华，张学军，胡海翔，罗霄，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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