一种生物传感器和生物传感器的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种生物传感器。该生物传感器包括：CMOS传感器、反应电极和微孔阵列；所述微孔阵列包括多个微孔结构；所述微孔结构位于所述CMOS传感器的栅极叠层电极所在区域，所述微孔结构露出所述CMOS传感器的栅极叠层电极；所述微孔结构内露出的所述CMOS传感器的栅极叠层电极上设置有生物反应探针；所述微孔结构用于容纳样品溶液；所述反应电极围绕所述微孔结构设置，与所述样品溶液接触。该生物传感器基于现有的CMOS结构实现，大幅提高生物传感器的良率，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种生物传感器和生物传感器的制备方法


[0001]本专利技术实施例涉及生物传感器
，尤其涉及一种生物传感器和生物传感器的制备方法。

技术介绍

[0002]生物传感器是应生命科学和信息科学的需要而发展起来的，它是生物活性材料与物理化学换能器相结合的一种生物物质敏感器件。生物传感器是发展生物技术必不可少的一种先进检测与监控方法，在医疗、工业控制、食品检测和生物芯片等研究中心有广泛的应用背景。
[0003]目前生物传感器的应用技术中，普遍采用荧光标记检测信号，磁珠吸附提取样品。磁珠是包被有特异性生物分子的磁性微球，可与含有相应的靶物质特异性结合形成新的复合物，通过磁场时，这种复合物被滞留，与其他组分相分离，以实现对生物样品的检测。磁珠流程会使用的大量的试剂，且花费时间较多，因此，生产成本高。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种生物传感器和生物传感器的制备方法，大幅提高传感器的重复性，降低了器件误差，降低生产成本。
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种生物传感器，该生物传感器包括：CMOS传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生物传感器，其特征在于，包括：CMOS传感器、反应电极和微孔阵列；所述微孔阵列包括多个微孔结构；所述微孔结构位于所述CMOS传感器的栅极叠层电极所在区域，所述微孔结构露出所述CMOS传感器的栅极叠层电极；所述微孔结构内露出的所述CMOS传感器的栅极叠层电极上设置有生物反应探针；所述微孔结构用于容纳样品溶液；所述反应电极围绕所述微孔结构设置，与所述样品溶液接触。2.根据权利要求1所述的生物传感器，其特征在于，所述CMOS传感器包括：衬底；所述衬底包括N型阱和P型阱；所述N型阱包括源区、沟道区和漏区；所述P型阱包括源区、沟道区和漏区；所述源区上设置有源极叠层电极；所述漏区上设置有漏极叠层电极；有源区上设置有栅极绝缘层，所述栅极绝缘层背离所述衬底一侧设置有栅极，所述栅极上设置有栅极叠层电极；所述栅极叠层电极、所述源极叠层电极以及所述漏极叠层电极背离所述衬底一侧设置有所述绝缘层，所述绝缘层上设置有所述微孔结构。3.根据权利要求2所述的生物传感器，其特征在于，所述栅极叠层电极中距所述衬底最远的电极层的材料为金；所述反应电极的材料为金。4.根据权利要求1所述的生物传感器，其特征在于，所述生物反应探针为具有选择性的生物分子DNA、抗体、酶、核酸适体、肽酶或受体分子。5.根据权利要求1所述的生物传感器，其特征在于，所述微孔结构的孔径范围为3-3.4μm；深度范围为1.7-1.9μm。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志峰，
申请(专利权)人：张家港万众一芯生物科技有限公司，
类型：发明
国别省市：