下载一种生物传感器和生物传感器的制备方法的技术资料

文档序号:27569640

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本发明公开了一种生物传感器。该生物传感器包括:CMOS传感器、反应电极和微孔阵列;所述微孔阵列包括多个微孔结构;所述微孔结构位于所述CMOS传感器的栅极叠层电极所在区域,所述微孔结构露出所述CMOS传感器的栅极叠层电极;所述微孔结构内露出的...
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