赶液装置及刻蚀机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种刻蚀机的赶液装置及刻蚀机，赶液装置包括下滚轮和上滚轮。上滚轮和下滚轮之间设有容纳硅片传输的空间，下滚轮转动以带动硅片进行传输。上滚轮包括支架和卡接在支架上的套管，套管包括依次排列且彼此间隔开的多段，支架转动以带动套管在所述硅片上滚动，以挤压硅片上的液体。根据本实用新型专利技术的刻蚀机的赶液装置，通过将上滚轮设置成支架和套管的结构，以使支架以带动套管滚动，从而可以用于挤压残留在硅片上的液体，降低电池片出现黑斑、水印、脏污等不良现象，进而达到赶液的效果，提高整个赶液过程的稳定性，以提高电池正品率。池正品率。池正品率。

【技术实现步骤摘要】
赶液装置及刻蚀机


[0001]本技术涉及光伏设备
，尤其是涉及一种赶液装置及刻蚀机。

技术介绍

[0002]新型PERC晶体硅太阳能电池常规工艺流程一般包括以下步骤：制绒、清洗、低压扩散、激光掺杂、刻蚀，ALD淀积、PECVD、激光开口、丝网印刷和烧结。其中刻蚀是其中一个重要环节，其目的是去除扩散形成四周及背面的PN结，使正面和背面绝缘。
[0003]目前多使用刻蚀机(例如湿法链式设备)来实现正背面绝缘及去PSG，其原理是：在HF/HNO3体系中，利用表面张力和毛细吸力的作用去除边缘和背面的PN结，而不影响电池工艺结构。由于赶液滚轮设计因素的影响，导致硅片出入该槽残留液体，进而造成电池制程中不良比率大大增加，造成机台化学品大大浪费。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种赶液装置，所述赶液装置具有结构简单、良品率高的优点。
[0005]本技术还提了一种刻蚀机，所述刻蚀机具有如上所述的赶液装置。
[0006]根据本技术实施例的赶液装置，包括：上滚轮和下滚轮，所述上滚轮和下滚轮之间设有容纳硅片传输的空间，所述下滚轮转动以带动所述硅片进行传输；所述上滚轮包括支架和卡接在支架上的套管，所述套管包括依次排列且彼此间隔开的多段，所述支架转动以带动所述套管在所述硅片上滚动，以挤压所述硅片上的液体。
[0007]根据本技术实施例的刻蚀机的赶液装置，通过将上滚轮设置成支架和套管的结构，以使支架以带动套管滚动，从而可以用于挤压残留在硅片上的液体，降低电池片出现黑斑、水印、脏污等不良现象，进而达到赶液、净化硅片表面的效果，提高整个赶液过程的稳定性，以提高电池正品率。
[0008]在一些实施例中，所述支架的外周壁设有卡扣，所述套管的内周壁设有卡槽，所述卡扣与所述卡槽卡接，以将所述支架与所述套管固定连接。
[0009]在一些实施例中，所述卡扣为多个，多个所述卡扣沿所述支架的周向方向间隔开。
[0010]在一些实施例中，在所述卡扣的固定端至所述卡扣的自由端的方向上，所述卡扣在所述支架的周向方向上的宽度逐渐减小。
[0011]在一些实施例中，在所述支架的轴线方向上，所述卡扣的长度为0.5-2cm；在所述支架的周向方向上，所述卡扣的宽度为1.5-3cm。
[0012]在一些实施例中，所述支架和所述套管中的至少一个为可耐酸碱件。
[0013]在一些实施例中，所述套管呈筒状，所述套管的外径与所述赶液装置的下滚轮的外径相同。
[0014]在一些实施例中，赶液装置还包括：支撑件，所述下滚轮设于所述支撑件的上表面，所述支撑件具有用于盛放清洁剂的第一槽和用于收集从所述硅片上挤掉的液体的第二
槽，所述第一槽和所述第二槽间隔开，所述第一槽和所述第二槽的开口朝上；所述下滚轮设于所述第一槽和所述第二槽的开口处。
[0015]在一些实施例中，所述套管的每段的长度与所述第一槽的宽度相等。
[0016]根据本技术实施例的刻蚀机，包括如上所述的刻蚀机的赶液装置。
[0017]根据本技术实施例的刻蚀机，通过将上滚轮设置成支架和套管的结构，以使支架以带动套管滚动，从而可以用于挤压残留在硅片上的液体，降低电池片出现黑斑、水印、脏污等不良现象，进而达到赶液、净化硅片表面的效果，提高整个赶液过程的稳定性，以提高电池正品率。
附图说明
[0018]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0019]图1是根据本技术实施例的赶液装置的结构示意图；
[0020]图2是根据本技术实施例的赶液装置的俯视图；
[0021]图3是根据本技术实施例的赶液装置的上滚轮的结构示意图；
[0022]图4是根据本技术实施例的赶液装置的套管的结构示意图；
[0023]图5是根据本技术实施例的赶液装置的支架的结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025]赶液装置100，
[0026]硅片110，
[0027]上滚轮120，支架121，卡扣122，套管123，卡槽124，
[0028]支撑件130，第一槽131，第二槽132，
[0029]下滚轮140。
具体实施方式
[0030]下面详细描述本技术的实施例，参考附图描述的实施例是示例性的，下面详细描述本技术的实施例。
[0031]下面参考图1-图5描述根据本技术实施例的赶液装置100，赶液装置100包括上滚轮120和下滚轮140。其中，上滚轮120和下滚轮140之间设有容纳硅片110传输的空间，下滚轮140转动以带动硅片110进行传输。在一些示例中，赶液装置100还包括支撑件130，下滚轮140设于支撑件130的上表面。
[0032]如图1、图2所示，上滚轮120包括支架121和套管123，套管123适于在硅片110 上滚动，套管123包括依次排列且彼此间隔开的多段，由此可以使赶液装置100适用于多道结构，也即可以同时多个硅片110进行赶液操作。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上。为了简化上滚轮120的结构，套管123的每段的长度可以相同，也即可以通过均分的方式将套管123分隔为多段。
[0033]如图1、图2所示，支架121穿设于套管123，支架121与套管123卡接，支架121 转动以带动套管123在硅片110上滚动，以挤压硅片110上的液体。需要说明的是，当支架121转动时，支架121可以带动套管123滚动，套管123在硅片110上滚动时，套管123可以用于挤压残
留在硅片110上的液体。
[0034]根据本技术实施例的赶液装置100，通过将上滚轮120设置成支架121和套管 123的结构，以使支架121以带动套管123滚动，从而可以用于挤压残留在硅片110上的液体，降低电池片出现黑斑、水印、脏污等不良现象，进而达到赶液、净化硅片表面的效果，提高整个赶液过程的稳定性，以提高电池正品率。
[0035]为了提升上滚轮120的耐腐蚀性，支架121和套管123中的至少一个为可耐酸碱件。可以理解的是，支架121可以为耐酸碱件；套管123也可以为耐酸碱件；当然，支架121 和套管123均可以为耐酸碱件。由此，可以提升上滚轮的耐腐蚀性。
[0036]在一些实施例中，如图3-图5所示，套管123呈筒状，套管123的内周壁设有卡槽 124。支架121的外周壁设有卡扣122，卡扣122与卡槽124卡接，以将支架121与套管 123固定连接。由此可以提升支架121与套管123之间的配合稳定性。进一步地，卡扣 122为多个，多个卡扣122沿支架121的周向方向间隔开，由此可以在套管123周向方向上限定支架121的位置，避免卡扣122偏移，从而可以进一步地提升支架121与套管 123之间的配合稳定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种赶液装置，其特征在于，包括：上滚轮和下滚轮，所述上滚轮和下滚轮之间设有容纳硅片传输的空间，所述下滚轮转动以带动所述硅片进行传输；所述上滚轮包括支架和卡接在支架上的套管，所述套管包括依次排列且彼此间隔开的多段，所述支架转动以带动所述套管在所述硅片上滚动，以挤压所述硅片上的液体。2.根据权利要求1所述的赶液装置，其特征在于，所述支架的外周壁设有卡扣，所述套管的内周壁设有卡槽，所述卡扣与所述卡槽卡接，以将所述支架与所述套管固定连接。3.根据权利要求2所述的赶液装置，其特征在于，所述卡扣为多个，多个所述卡扣沿所述支架的周向方向间隔开。4.根据权利要求2所述的赶液装置，其特征在于，在所述卡扣的固定端至所述卡扣的自由端的方向上，所述卡扣在所述支架的周向方向上的宽度逐渐减小。5.根据权利要求2所述的赶液装置，其特征在于，在所述支架的轴线方向上，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：易书令，姜大俊，潘岳林，马晓林，
申请(专利权)人：盐城阿特斯阳光能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：