【技术实现步骤摘要】
一种全自动特殊液体输送分配箱
[0001]本技术涉及特殊气体输送
，具体涉及一种全自动特殊液体输送分配箱。
技术介绍
[0002]由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。
[0003]而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊液体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的液体危害性相当高，一旦这些液体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必特别重视且不可小看的。其...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种全自动特殊液体输送分配箱，其特征在于，包括：箱体(100)、操作面板单元(200)、控制显示操作单元(300)、报警单元(400)和本地急停按钮(500)，所述操作面板单元(200)与箱体(100)内部连接，所述控制显示操作单元(300)、报警单元(400)和本地急停按钮(500)与箱体(100)连接，所述控制显示操作单元(300)与操作面板单元(200)、报警单元(400)和本地急停按钮(500)连接；其中，所述操作面板单元(200)包括：入口阀(210)、备用口阀(220)、备用出口阀(230)、主阀(240)、支路阀(250)、支路吹扫阀(260)、支路气动阀(270)、支路出口阀(280)、吹扫气入口阀(290)、排放隔离阀(2100)、直通气动阀(2200)、直通阀(2300)、收集罐(2400)、吹扫阀(2500)、排放阀(2600)、排放出口阀(2700)、测试口阀(2800)、压力表(2900)和压力传感器(2110)，所述入口阀(210)前端与设备外端连接，所述入口阀(210)后端与主阀(240)连接，所述备用口阀(220)前端与入口阀(210)和主阀(240)中间连接，所述备用口阀(220)后端与备用出口阀(230)连接，所述备用口阀(220)和备用出口阀(230)中间设有压力表(2900)，所述主阀(240)后端与主管路连接，所述主阀(240)后端与压力传感器(2110)连接，所述支路阀(250)前端与主管路连接，所述支路阀(250)后端与支路吹扫阀(260)连接，所述支路吹扫阀(260)后端与支路气动阀(270)连接，所述支路吹扫阀(260)和支路气动阀(270)中间设有压力表(2900)，所述支路气动阀(270)前端与支路吹扫阀(260)连接，所述支路气动阀(270)后端与支路出口阀(280)连接，所述支路出口阀(280)后端与设备外端连接，所述吹扫气入口阀(290)前端与设备外端连接，所述吹扫气入口阀(290)后端与支路吹扫阀(260)连接，所述吹扫气入口阀(290)和支路吹扫阀(260)中间设有压力表(2900)，所述排放隔离阀(2100)前端与吹扫阀(2500)连接，所述排放隔离阀(2100)后端与排放出口阀(2700)连接，所述直通气动阀(2200)前端与主管路连接，所述直通气动阀(2200)后端与直通阀(2300)连接，所述直通阀(2300)后端与收集罐(2400)连接，所述直通阀(2300)和收集罐(2400)中间设有压力表(2900)，所述收集罐(2400)后端与排放阀(2600)连接，所述排放出口阀(2700)前端与排放隔离阀(2100)连接，所述排放出口阀(2700)后端与设备外端连接，所述排放出口阀(2700)与压力表(2900)连接，所述测试口阀(2800)前端与排放出口阀(2700)和排放隔离阀(2100)中间连接，所述测试口阀(2800)后端与测试点连接，所述支路气动阀(270)、直通气...
【专利技术属性】
技术研发人员：甘万，杨欣，江福荣，
申请(专利权)人：上海盛韬半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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