一种用于硅片清洗的花篮晃动装置制造方法及图纸

技术编号:27538728 阅读:7 留言:0更新日期:2021-03-03 11:29
本发明专利技术公开了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置,包括外壳,所述外壳的内部底面固定安装有电机,且电机的输出端卡接安装有转动轴。有益效果:本发明专利技术通过全角度晃动板,当电机开始工作时,带动转动轴、支撑杆和套板做同步运动,旋转的套板使两组拉绳发生形变,当套板接触两组限位板时,会扯动全角度晃动板旋转,旋转的全角度晃动板会使两组抵触头发生碰撞,全角度晃动板纵向晃动,此时四组伸缩弹簧会发生形变,四组伸缩弹簧带动全角度晃动板进行复位,当两组抵触头再次发生碰撞,使全角度晃动板继续纵向旋转晃动,重复旋转使用时,全角度晃动板始终带动花篮晃动,通过设置的全角度晃动板,可配合使用一组电机,完成花篮的全角度晃动。晃动。晃动。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片清洗的花篮晃动装置


[0001]本专利技术涉及硅片清洗晃动
,具体来说,涉及一种用于硅片清洗的花篮晃动装置。

技术介绍

[0002]硅片是一种微电子技术,硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力,无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题,也无论计算的工作量有多大,工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它,并下达解题的思路和指令,计算机就能在极短的时间内把答案告诉你,主要应用在航空、航天、工业、农业、国防和家庭等领域,当硅片外部灰尘聚集较多时时,需要使用花篮配合清洁剂和晃动装置进行清洗。
[0003]然而现有的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置应用时存在以下问题:无法使用一组电机使花篮完成全角度晃动,传统的晃动装置需要使用多种动力装置相互配合,完成花篮的全方位晃动,长时间使用时会增加硅片的清洗成本,为用于硅片清洗的花篮晃动装置的晃动使用带来资源的浪费,其次,花篮的侧壁形状多种多样,传统的连接结构无法适应多种规格花篮的连接,为用于硅片清洗的花篮晃动装置的连接使用带来局限性,最后,传统的用于硅片清洗的花篮晃动装置侧壁沾染的清洁剂,需要操作工人手动清洁,为用于硅片清洗的花篮晃动装置的清洁使用带来不便。
[0004]针对相关技术中的问题,目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置,具备可配合使用一组电机,完成花篮的全角度晃动、同种连接结构可适应多种规格花篮的连接、用于硅片清洗的花篮晃动装置表面沾染的清洁剂无需手动清洁的优点,进而解决上述
技术介绍
中的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现上述可配合使用一组电机,完成花篮的全角度晃动、同种连接结构可适应多种规格花篮的连接、用于硅片清洗的花篮晃动装置表面沾染的清洁剂无需手动清洁的优点,本专利技术采用的具体技术方案如下:
[0009]一种用于硅片清洗的花篮晃动装置,包括外壳,所述外壳的内部底面固定安装有电机,且电机的输出端卡接安装有转动轴,所述外壳的开口处固定安装有密封板,所述转动轴的一端贯穿密封板,所述密封板的上方安装有全角度晃动板,且全角度晃动板的上方安装有两组形变弹簧钢带,所述外壳的下端侧壁固定套接安装有环状安装板,所述全角度晃动板与环状安装板之间安装有铁片抖液管。
[0010]进一步的,所述全角度晃动板的下部设置有球窝和四组伸缩弹簧,所述球窝的内部滚动安装有球头,且球头的侧壁固定安装有支撑杆,并且支撑杆的一端与转动轴的一端
固定连接,四组所述伸缩弹簧的外部侧壁均套接安装有伸缩软管,四组所述伸缩弹簧和四组所述伸缩软管的一端安装有环状T型滑板,且环状T型滑板的下部设置有若干组内置球槽,并且若干组所述内置球槽的内部均滚动安装有滚球,所述密封板的上部设置有第一环状T型滑槽,所述环状T型滑板位于第一环状T型滑槽的内部,所述密封板与全角度晃动板的相向面均固定安装有抵触头,所述支撑杆的侧壁固定套接安装有套板,且套板的上部贯穿安装有两组拉绳,并且两组所述拉绳的一端与全角度晃动板的下部固定连接,两组所述拉绳的另一端均固定安装有限位板。
[0011]进一步的,所述球窝开口处的横截面尺寸小于球头的最大横截面尺寸。
[0012]进一步的,四组所述伸缩弹簧的最大横截面长度小于四组所述伸缩软管的最小横截面长度。
[0013]进一步的,所述全角度晃动板的侧壁固定安装有两组伸缩杆,且两组所述伸缩杆的一端均固定安装有固定板,两组所述形变弹簧钢带的两端分别贯穿两组所述固定板,两组所述形变弹簧钢带的两端均固定套接安装有螺纹管,且两组所述螺纹管的外部侧壁均套接安装有紧固管,并且两组所述紧固管的相向端分别与两组所述固定板的远离端紧密接触,两组所述紧固管的内部侧壁设置有内螺纹,两组所述形变弹簧钢带的相向端均设置有锯齿。
[0014]进一步的,两组所述内螺纹与两组所述螺纹管相互啮合。
[0015]进一步的,所述全角度晃动板与环状安装板的相向面均设置有第二环状T型滑槽,两组所述第二环状T型滑槽的相向端均设置有两组操作孔,所述铁片抖液管的两端分别位于两组所述第二环状T型滑槽的内部,所述铁片抖液管的两端侧壁分别设置有两组内置凸型槽,且四组所述内置凸型槽的内部端部均固定安装有复位弹簧,并且四组所述复位弹簧的一端均固定安装有抵触杆,四组所述抵触杆的一端均固定安装有抵触板,四组所述抵触板的一端分别与两组所述第二环状T型滑槽的内部侧壁接触。
[0016]进一步的,四组所述复位弹簧均处于压缩状态。
[0017]进一步的,两组所述第二环状T型滑槽均位于同一垂直线上。
[0018]进一步的,所述环状安装板的上部设置有四组安装孔。
[0019](三)有益效果
[0020]与现有技术相比,本专利技术提供了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置,具备以下有益效果:
[0021](1)、本专利技术通过全角度晃动板,当电机开始工作时,带动转动轴、支撑杆和套板做同步运动,旋转的套板使两组拉绳发生形变,当套板接触两组限位板时,会扯动全角度晃动板旋转,旋转的全角度晃动板会使两组抵触头发生碰撞,此时利用球窝和球头,会使全角度晃动板纵向晃动,此时四组伸缩弹簧会发生形变,四组伸缩弹簧受自身弹力作用,带动全角度晃动板进行复位,当两组抵触头再次发生碰撞,使全角度晃动板继续纵向旋转晃动,重复旋转使用时,全角度晃动板始终带动花篮晃动,四组伸缩软管防止四组伸缩弹簧接触液体,环状T型滑板与第一环状T型滑槽不妨碍四组伸缩弹簧跟随全角度晃动板旋转,若干组所述内置球槽和若干组所述滚球,便于环状T型滑板旋转使用,通过设置的全角度晃动板,可配合使用一组电机,完成花篮的全角度晃动,为用于硅片清洗的花篮晃动装置的晃动使用带来资源的浪费。
[0022](2)、本专利技术通过形变弹簧钢带,当需要安装花篮时,调节两组伸缩杆,当两组固定板移动到预期位置时,将花篮放置两组形变弹簧钢带之间,再利用两组内螺纹与两组螺纹管相互啮合,顺时针旋转两组螺纹管,当两组紧固管的相向端分别与两组固定板的远离端紧密接触,两组形变弹簧钢带的侧壁会与花篮的外部侧壁紧密接触,两组锯齿增大两组形变弹簧钢带与花篮之间的摩擦力,通过设置的形变弹簧钢带,使同种连接结构可适应多种规格花篮的连接,为用于硅片清洗的花篮晃动装置的连接使用带来便利。
[0023](3)、本专利技术通过铁片抖液管,当需要安装铁片抖液管时,相向移动四组抵触板,四组伸缩复位弹簧处于压缩状态,当四组抵触板分别位于四组内置凸型槽的内部时,将铁片抖液管的两端分别插入两组第二环状T型滑槽的内部,当插入完毕时,四组伸缩复位弹簧受自身弹力作用,抵住四组抵触杆移动,当四组抵触板与两组第二环状T型滑槽的内部侧壁紧密接触时,停止运动,铁片抖液管会跟随全角度晃动板旋转晃动,其表面沾染的清洁剂,会被震动脱离,当需要卸下铁片抖液管时,利用四组操作孔,再次将四组抵触板塞入四组内置凸型槽的内部,可抽出铁片抖液管,通过设置的铁本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片清洗的花篮晃动装置,其特征在于,包括外壳(1),所述外壳(1)的内部底面固定安装有电机(2),且电机(2)的输出端卡接安装有转动轴(3),所述外壳(1)的开口处固定安装有密封板(4),所述转动轴(3)的一端贯穿密封板(4),所述密封板(4)的上方安装有全角度晃动板(6),且全角度晃动板(6)的上方安装有两组形变弹簧钢带(7),所述外壳(1)的下端侧壁固定套接安装有环状安装板(8),所述全角度晃动板(6)与环状安装板(8)之间安装有铁片抖液管(9)。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置,其特征在于,所述全角度晃动板(6)的下部设置有球窝(12)和四组伸缩弹簧(14),所述球窝(12)的内部滚动安装有球头(13),且球头(13)的侧壁固定安装有支撑杆(5),并且支撑杆(5)的一端与转动轴(3)的一端固定连接,四组所述伸缩弹簧(14)的外部侧壁均套接安装有伸缩软管(15),四组所述伸缩弹簧(14)和四组所述伸缩软管(15)的一端安装有环状T型滑板(16),且环状T型滑板(16)的下部设置有若干组内置球槽(17),并且若干组所述内置球槽(17)的内部均滚动安装有滚球(18),所述密封板(4)的上部设置有第一环状T型滑槽(19),所述环状T型滑板(16)位于第一环状T型滑槽(19)的内部,所述密封板(4)与全角度晃动板(6)的相向面均固定安装有抵触头(20),所述支撑杆(5)的侧壁固定套接安装有套板(31),且套板(31)的上部贯穿安装有两组拉绳(32),并且两组所述拉绳(32)的一端与全角度晃动板(6)的下部固定连接,两组所述拉绳(32)的另一端均固定安装有限位板(33)。3.根据权利要求2所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置,其特征在于,所述球窝(12)开口处的横截面尺寸小于球头(13)的最大横截面尺寸。4.根据权利要求2所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置,其特征在于,四组所述伸缩弹簧(14)的最大横截面长度小于四组所述伸缩软管(15)的最小...

【专利技术属性】
技术研发人员:许玉雷
申请(专利权)人:江西舜源电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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