一种基于压电陶瓷的相机控制系统及方法技术方案

本申请公开了一种基于压电陶瓷的相机控制系统，包括相机驱动控制器、压电陶瓷驱动器、相机拍摄控制器和相机，所述相机驱动控制器用于产生物距调节信号，所述物距调节信号被分为同步的第一路信号和第二路信号，所述第一路信号传递给所述压电陶瓷驱动器，所述第二路信号传递给所述相机拍摄控制器；所述压电陶瓷驱动器用于根据所述第一路信号驱动压电陶瓷产生形变，以调节所述相机的物距；所述相机拍摄控制器用于根据所述第二路信号生成相机拍摄信号，将所述相机拍摄信号传递给所述相机；所述相机用于根据所述相机拍摄信号拍摄。此外，基于该系统还提供了一种基于压电陶瓷的相机控制方法，该系统和方法能够提高相机拍摄的清晰度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于压电陶瓷的相机控制系统及方法


[0001]本申请涉及工业控制
，具体涉及一种基于压电陶瓷的相机控制系统及方法。

技术介绍

[0002]传统技术中需要利用高速工业相机对晶圆进行缺陷检测。可通过高速工业相机对所检晶圆形貌进行拍照，然后对获取到的晶圆形貌特征进行分析以确定是否存在缺陷。
[0003]传统技术中的高速工业相机的控制包括两部分，第一部分是通过控制压电陶瓷的形变来驱动高速工业相机移动，以调整高速工业相机与待检晶圆之间的距离(物距)，使工业相机进行自动聚焦，另一部分是通过PLC信号控制高速工业相机按照特定地时序拍照。然而该两部分控制在传统技术中是分开的，只能通过时钟进行同步，但PLC信号可能会发生阻塞，进而产生不可控的延迟，这就造成相机在随压电陶瓷形变而移动的过程中可能会出现漏拍，因此传统技术中的高速工业相机的控制方法存在拍摄和调焦不同步，进而使得相机采集的拍摄画面不清晰的问题。

技术实现思路

[0004]为解决上述传统技术中的高速工业相机的控制方法存在拍摄和调焦不同步，进而使得相机采集的拍摄画面不清晰的问题，本申请特提供了一种能提高清晰度的基于压电陶瓷的相机控制系统。
[0005]一种基于压电陶瓷的相机控制系统，包括相机驱动控制器、压电陶瓷驱动器、相机拍摄控制器和相机；
[0006]所述相机驱动控制器用于产生物距调节信号，所述物距调节信号被分为同步的第一路信号和第二路信号，所述第一路信号传递给所述压电陶瓷驱动器，所述第二路信号传递给所述相机拍摄控制器；
>[0007]所述压电陶瓷驱动器用于根据所述第一路信号驱动压电陶瓷产生形变，以调节所述相机的物距；
[0008]所述相机拍摄控制器用于根据所述第二路信号生成相机拍摄信号，将所述相机拍摄信号传递给所述相机；
[0009]所述相机用于根据所述相机拍摄信号拍摄。
[0010]在其中一个实施例中，所述相机拍摄控制器用于在检测到所述第二路信号的上升沿时，生成所述相机拍摄信号。
[0011]在其中一个实施例中，所述相机拍摄控制器包括编码器和调制器，所述编码器用于产生原始控制信号，所述调制器用于将所述原始控制信号与所述第二路信号调制成所述相机拍摄信号。
[0012]在其中一个实施例中，所述调制器用于将所述原始控制信号与所述第二路信号进行与操作产生相机拍摄信号。
[0013]在其中一个实施例中，所述相机拍摄控制器还包括放大器，所述放大器用于将所述第二路信号放大至与所述原始控制信号匹配。
[0014]在其中一个实施例中，所述相机拍摄控制器还包括延迟电路，所述延迟电路用于将所述相机拍摄信号延迟预设时长。
[0015]在其中一个实施例中，所述相机用于在检测到所述相机拍摄信号的上升沿/下降沿时拍摄。
[0016]在其中一个实施例中，所述相机还用于根据所述相机拍摄信号的信号强度和/或占空比设置拍摄参数，所述拍摄参数包括快门速度、曝光时长中的至少一种。
[0017]在其中一个实施例中，所述系统还包括X轴位置监测模块，用于在检测到所述相机移动至预设位置时，向所述相机拍摄控制器发送反馈信号，以使所述相机拍摄控制器根据反馈信号产生所述相机拍摄信号。
[0018]在其中一个实施例中，所述相机拍摄信号为方波信号、三角波信号或正弦信号，以及所述相机拍摄信号为电压信号或电流信号。
[0019]此外，为解决上述传统技术中的高速工业相机的控制方法存在拍摄和调焦不同步，进而使得相机采集的拍摄画面不清晰的问题，本申请特提供了一种基于前述系统，能提高清晰度的基于压电陶瓷的相机控制方法。
[0020]一种基于压电陶瓷的相机控制方法，基于前述系统，包括：
[0021]相机驱动控制器产生物距调节信号，所述物距调节信号被分为同步的第一路信号和第二路信号后，将所述第一路信号传递给压电陶瓷驱动器，将所述第二路信号传递给相机拍摄控制器；
[0022]所述压电陶瓷驱动器根据所述第一路信号驱动压电陶瓷产生形变，以调节所述相机的物距；
[0023]所述相机拍摄控制器根据所述第二路信号产生相机拍摄信号，将所述相机拍摄信号传递给所述相机；
[0024]所述相机根据所述相机拍摄信号拍摄。
[0025]采用了上述基于压电陶瓷的相机控制系统及方法之后，用于调节相机物距进而实现调焦的相机驱动控制器和用于控制相机拍摄的相机拍摄控制器实现了同步控制，相机驱动控制器产生的物距调节信号的上升沿在同一时刻既控制了压电陶瓷产生形变以调节相机物距，又在该时刻触发相机拍摄控制器向相机传递相机拍摄信号，以控制相机开始进行拍摄，这就使得，相机的拍摄过程总是在相机物距调节后，也就是相机调焦完成后，从而使得相机拍摄的照片更加清晰。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：
[0027]图1为传统技术中的相机控制系统示意图；
[0028]图2为一个实施例中的基于压电陶瓷的相机控制系统的示意图；
[0029]图3为一个实施例中的物距调节信号、第一路信号、第二路信号和相机拍摄信号的时序关系图；
[0030]图4为一个实施例中的物距调节信号、第一路信号、第二路信号和相机拍摄信号的时序关系图；
[0031]图5为一个实施例中根据第二路信号和原始控制信号合成相机拍摄信号的时序关系图；
[0032]图6为多形态的相机拍摄信号的波形图；
[0033]图7为另一个实施例中的基于压电陶瓷的相机控制系统的示意图；
[0034]图8为一个实施例中一种基于压电陶瓷的相机控制方法的流程图。
具体实施方式
[0035]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本申请保护的范围。
[0036]需要说明，若本申请实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后，X轴、Y轴
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0037]另外，若本申请实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于压电陶瓷的相机控制系统，包括相机驱动控制器、压电陶瓷驱动器、相机拍摄控制器和相机，其特征在于，所述相机驱动控制器用于产生物距调节信号，所述物距调节信号被分为同步的第一路信号和第二路信号，所述第一路信号传递给所述压电陶瓷驱动器，所述第二路信号传递给所述相机拍摄控制器；所述压电陶瓷驱动器用于根据所述第一路信号驱动压电陶瓷产生形变，以调节所述相机的物距；所述相机拍摄控制器用于根据所述第二路信号生成相机拍摄信号，将所述相机拍摄信号传递给所述相机；所述相机用于根据所述相机拍摄信号拍摄。2.根据权利要求1所述的基于压电陶瓷的相机控制系统，其特征在于，所述相机拍摄控制器用于在检测到所述第二路信号的上升沿时，生成所述相机拍摄信号。3.根据权利要求1所述的基于压电陶瓷的相机控制系统，其特征在于，所述相机拍摄控制器包括编码器和调制器，所述编码器用于产生原始控制信号，所述调制器用于将所述原始控制信号与所述第二路信号调制成所述相机拍摄信号。4.根据权利要求3所述的基于压电陶瓷的相机控制系统，其特征在于，所述调制器用于将所述原始控制信号与所述第二路信号进行与操作产生相机拍摄信号。5.根据权利要求3所述的基于压电陶瓷的相机控制系统，其特征在于，所述相机拍摄控制器还包括放大器，所述放大器用于将所述第二路信号放大至与所述原始控制信号匹配。6.根据权利要求1所述的基于压电陶瓷的相机控制系统，其特征在于，所述相机拍摄控制器还包括延迟电路，所述延...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，郭亚英，马砚忠，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：