电镀设备制造技术

本发明专利技术揭示了一种电镀设备，包括工艺腔体和工艺腔体内的两个电镀模块，所述电镀模块包括驱动马达、电镀腔、托盘、供液系统和排气系统，所述每个电镀模块的上方设有独立的风机过滤机组。本发明专利技术通过在两个电镀模块的上方分别设置独立的风机过滤组，保证了工艺腔体内无尘的工艺环境和气流的均匀分布，本发明专利技术的电镀设备在两个电镀模块之间还设有一个可拆卸的隔板，不仅保证了两个电镀模块的环境氛围的独立，也增大对电镀模块维修操作时的空间。也增大对电镀模块维修操作时的空间。也增大对电镀模块维修操作时的空间。

【技术实现步骤摘要】
电镀设备


[0001]本专利技术涉及一种半导体制造领域，尤其涉及一种电镀设备。

技术介绍

[0002]电镀工艺是将所需金属利用电化学的方式沉积在阴极晶圆上。现有电镀设备有两个电镀模块组成，两个电镀模块的上方设有一个风机过滤机组，用于保证腔内无尘的工艺环境。在实际操作中，电镀模块运行时，一个风机过滤机组很难控制调整配合两个模块的工艺条件，大大影响到工艺结果。
[0003]此外，在前道电镀工艺中会涉及多种化学药剂，尤其是在去边时需要用到双氧水，双氧水具有挥发性，进入到电镀腔，会使镀液报废，现有的这种一个工艺腔内有两个电镀模块的电镀设备在工艺过程中会很容易交叉污染；其次，在一个电镀模块出故障需要保养维修，另一边必须一起停止工艺，会影响到整个机台的运行，严重影响到电镀效率。

技术实现思路

[0004]针对现有电镀设备风机过滤机组难以控制，以及容易交叉污染、效率低的问题，本专利技术提出一种电镀设备。本专利技术所采用的技术方案具体是这样实现的：
[0005]本专利技术提供了一种电镀设备，包括工艺腔体和工艺腔体内的两个电镀模块，所述电镀模块包括驱动马达、电镀腔、托盘、供液系统和排气系统，所述每个电镀模块的上方设有独立的风机过滤机组。
[0006]为了进一步保证两个电镀模块在独立的环境氛围下进行电镀工艺，所述两个电镀模块之间设有隔板。
[0007]为了增大对电镀模块维修操作时的空间，所述隔板可拆卸。
[0008]为了便于风机过滤机组吹出的气体直接从排气系统排出，进而保证电镀腔内气体的均匀性，所述风机过滤机组与排气系统相对。
[0009]为了两个电镀模块可以独立进行电镀工艺，所述每个电镀模块设有独立的供液管道与供液系统相连。
[0010]为了两个电镀模块可以独立进行电镀工艺，所述每个电镀模块设有独立的排气系统。
[0011]为了便于两个电镀模块同时进行电镀工艺，所述每个电镀模块设有独立的驱动马达，所述驱动马达位于工艺腔体的两侧，且两个驱动马达呈轴对称分布，优选地，以隔板为中心轴对称分布。这种驱动马达两侧分布的布局方式不仅便于将整个电镀腔的走线集成在一起，而且在维修操作时将中间的隔板拆除，在维修工艺腔体中一半腔体时，可以借用另一半腔体的空间，这样可以获得更大的维修空间。
[0012]为了便于电镀工艺过程中漏液的回收，所述两个电镀模块共用一个用于盛放漏液的托盘，且托盘与外部漏液回收装置相连。
[0013]本专利技术通过在两个电镀模块的上方分别设置独立的风机过滤组，保证了工艺腔体
内无尘的工艺环境和气流的均匀分布，本专利技术的电镀设备在两个电镀模块之间还设有一个可拆卸的隔板，不仅保证了两个电镀模块的环境氛围的独立，也增大对电镀模块维修操作时的空间。
附图说明
[0014]图1揭示了根据本专利技术的一实施例的电镀设备的结构示意图。
[0015]图2揭示了根据本专利技术的另一实施例的电镀设备的结构示意图。
具体实施方式
[0016]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明，使本专利技术的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。并未刻意按比例绘制附图，重点在于示出本专利技术的主旨。
[0017]图1所示为本专利技术的电镀设备的一种具体实施方式的结构示意图。电镀腔包括工艺腔体100和两个电镀模块200，两个电镀模块200放置在工艺腔体100内。两个电镀模块200的正上方分别设有一个风机过滤机组300，通过调节风速，使风机过滤机组300的风向一直朝下，用于保证工艺腔体100内无尘的工艺环境。由于两个电镀模块200的上方分别设有一个相应的风机过滤机组300，在工艺过程中，根据不同的操作要求，可以调节到最优的参数，提高工艺效果。为了便于排气系统将风机过滤机组300吹下来的风直接抽走，进而使工艺腔体100内的气流均匀，风机过滤机组300的位置与电镀模块的排气系统206相对。电镀模块200包括驱动马达201、卡盘202、电镀腔203、托盘204、供液系统205和排气系统206。两个电镀模块200分别设有独立的驱动马达201，两个驱动马达201位于工艺腔体100的两侧，与工艺腔体100的中心轴对称分布。两个驱动马达201分别驱动两个电镀模块200的卡盘202，解决了现有电镀模块200即使只有一边需要镀铜，另一边也需要用假片空跑工艺的问题，以及在进行设备维修时，必须暂停工艺的问题，大大提高了工艺效率。两个电镀模块200共用一个托盘204，用于漏液的回收。电镀模块200的左侧接有供液系统205，右侧接有排气系统206，两个电镀模块200设有独立的供液管道与同一个供液系统205相连，只需要一个供液系统205给两个电镀模块200供液。两个电镀模块200分别设有排气系统206，用于两个电镀腔203分别排出工艺气体。
[0018]图2所示为本专利技术的电镀设备的另一种具体实施方式的布局图。电镀腔包括工艺腔体100和两个电镀模块200，两个电镀模块200放置在工艺腔体100内。两个电镀模块200的正上方分别设有一个风机过滤机组300，工艺腔体100内还设有一块可拆卸的隔板101，隔板101将工艺腔体100分隔成两个独立的子工艺腔体，以使两个电镀模块200位于相对独立的环境氛围内，这样可以有效减少一个子工艺腔体内挥发性化学药剂对另一个子工艺腔体的污染，保持独立的工艺环境。此外，在对其中一个子工艺腔体进行维修保养时，可以将隔板101拿开，增大维修保养空间，其他的子工艺腔体还可以照常运行。这种布局还可以防止一个电镀腔出现问题时，影响另一个电镀腔甚至整个机台的运行。
[0019]综上所述，本专利技术通过上述实施方式及相关图式说明，己具体、详实的揭露了相关技术，使本领域的技术人员可以据以实施。而以上所述实施例只是用来说明本专利技术，而不是用来限制本专利技术的，本专利技术的权利范围，应由本专利技术的权利要求来界定。至于本文中所述元
件数目的改变或等效元件的代替等仍都应属于本专利技术的权利范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电镀设备，其特征在于，包括工艺腔体和工艺腔体内的两个电镀模块，所述电镀模块包括驱动马达、电镀腔、托盘、供液系统和排气系统，所述每个电镀模块的上方设有独立的风机过滤机组。2.根据权利要求1所述的一种电镀设备，其特征在于，所述两个电镀模块之间设有隔板使每个电镀模块的环境氛围独立。3.根据权利要求2所述的一种电镀设备，其特征在于，所述隔板可拆卸。4.根据权利要求1所述的一种电镀设备，其特征在于，所述风机过滤机组与排气系统相对。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴勐，金一诺，王坚，王晖，
申请(专利权)人：盛美半导体设备上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：