写入装置及写入方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种在诸如用于电子显示器件诸如ＬＣＤ的玻璃片和／或塑料片的工件上写入图案。可以使用大于大约１５００ｍｍ的工件。可以使用具有多个写入单元的光学写入头。工件和写入头相对彼此移动，以提供倾斜的写入。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种写入图案的写入装置和写入方法。
技术介绍
用于构图大型工件的常规图案生成系统也产生条状、带状或矩形的图 案。它们之间的边界产生在最终图案中可以看见不需要的伪像，边界一般称为界限或拼接边界。美国专利No.5,495279解释了用于曝光衬底的常规方法 和装置，其全部内容在此并入作为参考。非常高的产量，例如，在大约0.05mVs-大约0.2m2/3范围内，结合大 尺寸的工件(例如，在大约5m2-101112范围内，和平均20rr^或更大)，高 光学分辨率(例如，在大约3微米-5微米范围内，平均低至1微米)和对 "Mura，，(可见条紋或条带)瑕疯的灵敏度需要将一定的误差控制到50nm 或更小。然而，常规的图案发生器做不到，因为仅仅按比例增大常规的图案 产生技术无法实现要求的误差控制。图1D - 1F分别图示在美国专利No.6,542,178 、美国专利公开 No.2004/0081499和2005/0104953公开的常规图案发生器的实例，每一个专 利的全部内容在此并入作为参考。图1D图示在美国专利No.6，542,178中公开的鼓形绘图机。如图1D所 示，鼓形绘图机包括在沿鼓的轴线移动的同时在旋转的鼓上光学写入的单写 入单元。然而，在图1D的鼓形绘图机中，只有保持工件的鼓能够旋转，而 单写入单元不能旋转。而且图1D的鼓形绘图机仅仅包括单曝光头，鼓和单 写入单元的每一个只能够单一形式的运动。即，鼓只能旋转，而单写入单元 只能够线性平移。图1E图示美国专利7>开No.2004/0081499中所4皮露的光学系统，用于 对LCD产品在玻璃衬底上热转印。如图1E所示，光学系统也包括沿旋转的 圓形工件支架的轴线移动的单光学写入单元。然而，在图1E的光学系统中， 只有圓形工件能够旋转，而单光学写入单元不能旋转。而且，图1E的光学 系统仅仅包括单曝光头，圆形工件和单光学写入单元的每一个只能够单一类 型的运动。即，圓形工件只能旋转，而单光学写入单元只能够线性平移。图IF图示在旋转鼓上光学写入的系统，其利用光纤与单写入单元连接 的多个光源，并具有针对单检测器校准的光源功率，如美国专利公开No.2005/0104953所披露。如图1F所示，光学系统也包括沿旋转鼓的轴线移 动的单写入单元。在图1F的光学系统中，如图1D和IE的光学系统，只有 圆形工件能够旋转，而单光学写入单元不能旋转。而且，图IF的光学系统 只包括单曝光头，圓形工件和单光学写入单元的每一个只能够单一形式的运 动。即，圓形工件只能够旋转，而单光学写入单元只能够线性平移。图IF的光学系统还包括用于检测从单光学写入单元发射的光量的光电 检测器。然而，该光电检测器只检测单光学写入单元的光量。而且，在图1D-1F的每个图中，旋转方向平行于图案和工件的一个轴， 同时垂直于图案和工件的另一个轴。图12A表示由图案发生器诸如上面讨论的那些产生的移动对齐的实例。 参照图12A,存在三个不同的坐标系。第一坐标系是图案的坐标系。在这个 实例中，图案是在工件玻璃上形成的显示器件1210、 1220、 1230和1240。 第二坐标系是写入机构1260的坐标系。在这个实例中，写入机构1260是 SLM。第三坐标系是由写入结构1260的移动方向1250形成。在图12A中， 三个坐标系相互对齐。箭头1250指示工件相对写入机构1260的图像的旋转 方向。在图12A所示的实例中，旋转方向平行于写入机构(例如，SLM芯 片)的侧面。利用常规图案发生器曝光液晶显示器(LCD)工件的常规技术直接写入 机器具有大约24小时(一天)的时间。在这些常规的图案发生器中，写入 宽度可以增加，以减少写入时间。然而，这样需要更多数量的光通道和/或透 镜，这样会增加图案发生器的成本和/或复杂性。移动台架的速度也会增加。 然而，随着台架速度增加，控制机械运动和/或振动会更困难。例如，速度和 量的增加连同应用时间的减少导致在机械结构中更大的振动和/或更高频率 的共鸣。此外，控制和/或机械系统在写入新条紋之前没有正确地安放。而且， 增加的速度、振动和/或光通道的数量会增加常规图案发生器的成本和/或复 杂性。
技术实现思路
举例的实施例描述机械、光学和/或校准方法和装置，其可以单独或同时 组合提供较大(例如，大、非常大或相当大)工件的增加的(例如，高或相 对高)产量，分辨率和/或图像质量。举例实施例涉及构图工件的方法和装置，例如，用于构图多种工件的增 加的产量和/或较高精度的图案发生器。型的显示器(例如，OLED、 SED、 FED、"电子纸"等)。在应用中所示的 工件是切片，而且也可以是玻璃、塑料、金属、陶瓷等的连续薄片。 一些举 例实施例还可以用于处理太阳能电池板。在此举例实施例相对标准光刻例如抗蚀剂的曝光来讨论；但是，至少一 些举例实施例还应用于通过激光销蚀、热图案转印和/或其它光感应表面变型 的构图。在至少一些举例实施例中，常规的"扫描和回扫，，方法可以用根据举例 实施例的旋转扫描来代替。此外，或另外，包括转子扫描器的图案发生器可 以代替扫描和回扫图案发生器。根据至少一些举例实施例，转子扫描器图案 发生器的旋转可以具有比用常规"扫描和回扫，，方法的扫描速度更高的不变 速度。多个(例如，至少两个)光学写入单元例如可以设置在转盘或转环的 边缘上，可以沿径向发射射束。在至少一些举例实施例中，保持工件的至少一个支架和至少一个写入头可以旋转。至少一个写入头包括多个曝光光束并且可以沿径向辐射，曝光光 束具有用于曝光覆盖至少部分工件表面的电磁辐射敏感材料层的波长。至少 一个支架和至少一个写入头可以平移，使得至少一个写入头和支架相对彼此 移动，形成工件曝光区域的轨道。至少一些举例实施例提供包括适于保持至少一个工件的支架的图案发生器。至少一个写入头可以包括多个曝光光束，曝光光束具有用于曝光覆盖 至少部分工件表面的电磁辐射敏感材料层的波长。至少一个支架和至少一个写入头适于平移，使得支架和至少一个写入头相对彼此移动。至少一个支架 和至少一个写入头适于相对彼此移动，使得支架和至少一个写入头相对彼此平移，可以形成至少一个工件的曝光区域的轨道。在至少一些举例实施例中，每个光学写入单元可以写入单像素、非干涉像素的阵列，或它们的组合。在至少一些举例实施例中， 一个或多个光学写入单元包括具有至少在大约1000至大约1，000,000元素之间、包括大约1000和大约1,000,000元素的 SLM。根据至少一些举例实施例，工件可以固定，在工件上的第一图案的可以 测量。写入图案可以调整到与第一图案的变形匹配。在工件上上的第一图案 的变形可以测量，所述第一图案的变形可以用于形成匹配的连续位图。在工 件上写入的图案包括至少两种不同尺寸的显示器件。在工件上写入的图案具 有比四分之一玻璃尺寸更大面积的一个显示器。在至少一些举例实施例中，至少一个写入头的旋转可以在工件上形成螺旋图案或螺旋形轨道。在至少一些举例实施例中，工件可以至少部分地巻绕写入头。至少一个举例实施例提供在工件上形成图案的方法。该方法包括在形成像素栅格的工件表面上扫描至少一个光学写入单元，像素栅格相对图案特征的轴线成一角度设置，该角度不同于0。、 45°或90°本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在工件上形成图案的方法，该方法包括：　在形成像素栅格的工件表面上扫描至少一个光学写入单元，像素栅格相对图案特征的轴线成一角度设置，该角度不同于０°、４５°或９０°。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：托布乔恩桑德斯特罗姆，
申请(专利权)人：麦克罗尼克激光系统公司，
类型：发明
国别省市：SE[瑞典]