一种流体输送装置及压电泵制造方法及图纸

技术编号:27411108 阅读:30 留言:0更新日期:2021-02-21 14:26
本实用新型专利技术属于流体输送设备技术领域,具体涉及一种流体输送装置及压电泵。一种流体输送装置,包括:致动器,所述致动器包括振动板和设置在所述振动板上的至少一个压电元件;共振板,所述共振板层叠设置在所述致动器的一侧,通过连接部与所述振动板连接;连接部,所述连接部的第一端连接于所述共振板,所述连接部的第二端连接于所述振动板。一种压电泵,包括上述的流体输送装置。解决了现有技术中流体输送装置及压电泵缩小体积会导致输出能力大幅降低的问题。低的问题。低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种流体输送装置及压电泵


[0001]本技术属于流体输送设备
,具体涉及一种流体输送装置及压电泵。

技术介绍

[0002]微型流体泵在医药生物、精细化工、航空航天、微机电系统等领域有着广泛的应用需求。现今随着应用目标的电子产品通常都具有小型化的趋势,这也要求微型流体泵在保证其输出能力(输出压力和输出流量)的同时更加小型化。
[0003]现有技术中,在驱动条件一定的前提下,缩小微型泵的体积会导致其输出能力(输出压力和输出流量)大幅降低。如公开号为CN102597520B的专利文件公开了一种流体泵,并具体公开了:振动板和振动支承框之间为环状梁,环状梁通过两个连接部分别连接到振动板和振动支承框上,振动板粘接压电陶瓷,振动板产生弯曲形变。该方案提供了一种减小泵体积的方案,但是仍存在外框或者支承框分布在产生弯曲形变区域的外围,近似同平面分布,增大了外围尺寸,使减小的泵的体积存在限度。
[0004]本技术的目的在于提供一种小型且泵送能力高的流体输送装置及压电泵。

技术实现思路

[0005]为了解决现有技术中流体输送装置及压电泵缩小体积会导致输出能力大幅降低的技术问题,本技术提供了一种流体输送装置及压电泵,在保证输出能力的同时,进一步减小压电泵的体积。
[0006]本技术为解决技术问题所采用的技术方案是:
[0007]本技术提供了一种流体输送装置,包括:致动器,所述致动器包括振动板和设置在所述振动板上的至少一个压电元件;共振板,所述共振板层叠设置在所述致动器的一侧,通过连接部与所述振动板连接;连接部,所述连接部的第一端连接于所述共振板,所述连接部的第二端连接于所述振动板。
[0008]进一步地,所述共振板的远离所述致动器的一侧形成有凸起,所述凸起与所述共振板一体成型或固定设置在所述共振板上。
[0009]进一步地,所述连接部包括悬臂梁,所述悬臂梁的第一端连接于所述共振板,所述悬臂梁的第二端连接于所述振动板。
[0010]进一步地,所述悬臂梁包括至少一个曲形梁,所述曲形梁形成为单构件梁结构或多个所述曲形梁形成为组合梁结构。
[0011]进一步地,所述悬臂梁包括过渡梁,所述过渡梁沿共振板的周向呈直线或曲线布置,所述过渡梁的第一侧延伸出至少一个第一连接臂,所述过渡梁的第二侧延伸出至少一个第二连接臂,所述第一连接臂和第二连接臂分别连接所述共振板和所述振动板。
[0012]进一步地,所述悬臂梁的第二端一体成型或固定连接有连接件,所述连接件连接于所述振动板。
[0013]进一步地,所述连接件为连续式连接板或者离散式连接板,所述连接件与振动板
的连接为离散连接或者连续连接。
[0014]进一步地,所述连接部为弹性连接部,所述连接部与所述振动板的任意位置连接;或者,所述连接部为刚性连接部,所述连接部与所述振动板的波节或波节附近无振动或振动很小的位置连接。
[0015]进一步地,所述共振板的中心或中心附近形成至少一个流质入口,所述凸起内周设有与所述流质入口连通的凹陷部,所述连接部上形成有流质出口,所述流质出口为设置在多个所述悬臂梁之间的第一流质出口。
[0016]进一步地,所述振动板朝向所述共振板的面上形成凹部,所述凹部与所述悬臂梁位置相对。
[0017]进一步地,所述共振板的中心或中心附近形成至少一个流质入口,所述凸起内周设有与所述流质入口连通的凹陷部,所述振动板朝向所述共振板的面上形成凹部且与所述悬臂梁位置相对,所述凹部的周向上形成至少一个流质出口。
[0018]进一步地,所述流质出口包括配置于所述凹部的侧壁上的第三流质出口和/或靠近侧壁的内凹面上的第二流质出口。
[0019]本技术的另一方面还提供一种压电泵,包括上述的流体输送装置。
[0020]进一步地,还包括泵体,所述泵体内形成泵腔,所述流体输送装置通过所述凸起与泵体连接。
[0021]进一步地,所述泵体上设置有与所述泵腔连通的进口和出口,所述进口通过所述凸起内周设置的凹陷部与流质入口连通,流质出口经泵腔连通于所述出口,同时所述共振板的凸起对所述流质入口和流质出口形成隔离。
[0022]进一步地,还包括电极组件,所述电极组件包括绝缘板和两个设置在所述绝缘板上的电极板,两个所述电极板之间彼此绝缘,所述电极组件的两个电极分别形成在两个所述电极板上,所述两个电极的至少一部分伸出所述泵腔形成外接端子,所述两个电极的至少一部分设置在泵腔内与所述压电元件电连接。
[0023]进一步地,所述压电元件包括基板和设置于基板上的第一导电电极和第二导电电极,所述第一导电电极设置在基板的第一侧并形成连接端,所述第二导电电极设置在所述基板的第二侧,同时所述第二导电电极的一端翻折至所述基板的第一侧并形成连接端。
[0024]基于上述技术方案,本技术所能实现的技术效果为:
[0025]1.本技术的流体输送装置及压电泵,通过连接部将振动板和共振板连接在一起可形成整体结构,共振板的远离致动器的一侧形成有凸起,凸起可与外部的支撑结构进行连接,进而大大减少了或省去了连接部和支承部的结构,缩小了整体结构的周向尺寸,有利于流体输送装置及压电泵的微型化;
[0026]2.本技术的流体输送装置及压电泵,连接部可为多种形式,流质出口可呈多种形式设置在连接部和/或振动板上,只要流体输送装置可实现单向输送流质即可。此外,当连接部为弹性连接部时,连接部可随致动器振动变形,其与致动器的连接位置可不作要求,但连接位置优选为致动器的波节或波节附近无振动或振动很小的位置;当连接部为刚性连接部时,连接部无法随致动器振动变形,其与致动器的连接位置需在致动器的波节或波节附近无振动或振动很小的位置,如此不影响致动器和共振板的振动变形;
[0027]3.本技术的压电泵,凸起可直接与泵体连接,由于凸起的设置,共振板与泵体
内壁之间存有间隙,可为共振板的振动变形预留空间。
附图说明
[0028]图1为本技术实施例一的流体输送装置的剖面图;
[0029]图2为共振板及其上的连接部的结构示意图;
[0030]图3-8为共振板及其上的连接部的替换方案的结构示意图;
[0031]图9为振动板的结构示意图;
[0032]图10-13为振动板的替换方案的结构示意图;
[0033]图14-17为不同的共振板及振动板进行配合的结构示意图;
[0034]图18为压电元件的结构示意图;
[0035]图19为压电元件的俯视图;
[0036]图20为图19的A-A截面图;
[0037]图21为本技术流体输送装置吸入介质时的状态图;
[0038]图22为本技术流体输送装置排出介质时的状态图;
[0039]图23为压电泵的结构示意图;
[0040]图24为压电泵的剖面图;
[0041]图25-26为不同视角下,压电泵的爆炸图本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种流体输送装置,其特征在于,包括:致动器(1),所述致动器(1)包括振动板(11)和设置在所述振动板(11)上的至少一个压电元件(12);共振板(2),所述共振板(2)层叠设置在所述致动器(1)的一侧,通过连接部(3)与所述振动板(11)连接;连接部(3),所述连接部(3)的第一端连接于所述共振板(2),所述连接部(3)的第二端连接于所述振动板(11)。2.根据权利要求1所述的流体输送装置,其特征在于,所述共振板(2)的远离所述致动器(1)的一侧形成有凸起(21),所述凸起(21)与所述共振板(2)一体成型或固定设置在所述共振板(2)上。3.根据权利要求2所述的流体输送装置,其特征在于,所述连接部(3)包括悬臂梁(31),所述悬臂梁(31)的第一端连接于所述共振板(2),所述悬臂梁(31)的第二端连接于所述振动板(11)。4.根据权利要求3所述的流体输送装置,其特征在于,所述悬臂梁(31)包括至少一个曲形梁,所述曲形梁形成为单构件梁结构或多个所述曲形梁形成为组合梁结构。5.根据权利要求3所述的流体输送装置,其特征在于,所述悬臂梁(31)包括过渡梁,所述过渡梁沿共振板(2)的周向呈直线或曲线布置,所述过渡梁的第一侧延伸出至少一个第一连接臂,所述过渡梁的第二侧延伸出至少一个第二连接臂,所述第一连接臂和第二连接臂分别连接所述共振板(2)和所述振动板(11)。6.根据权利要求3所述的流体输送装置,其特征在于,所述悬臂梁(31)的第二端一体成型或固定连接有连接件(32),所述连接件(32)连接于所述振动板(11)。7.根据权利要求6所述的流体输送装置,其特征在于,所述连接件(32)为连续式连接板或者离散式连接板,所述连接件(32)与振动板(11)的连接为离散连接或者连续连接。8.根据权利要求2-7任一项所述的流体输送装置,其特征在于,所述连接部(3)为弹性连接部,所述连接部(3)与所述振动板(11)的任意位置连接;或者,所述连接部(3)为刚性连接部,所述连接部(3)与所述振动板(11)的波节或波节附近无振动或振动很小的位置连接。9.根据权利要求3所述的流体输送装置,其特征在于,所述共振板(2)的中心或中心附近形成至少一个流质入口(22),所述凸起(21)内周设有与所述流质入口(22)连通的凹陷部(23),所述连接部(3)上形成有流质出口,所述流质出口为设置在多个所述悬臂梁(31)之间的第一流质出口(...

【专利技术属性】
技术研发人员:ꢀ七四专利代理机构
申请(专利权)人:常州威图流体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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