贴膜台制造技术

本申请公开了一种贴膜台，包括固定机构、滑动安装于固定机构的升降机构，以及安装于固定机构与升降机构之间且用于驱动升降机构相对固定机构滑动的第一升降驱动机构；固定机构包括固定架，以及安装于固定架的固定台，固定台上开设有供升降机构通过的第一让位孔；升降机构包括与第一升降驱动机构的输出端相连的升降架，以及安装于升降架且位于第一让位孔内的贴膜盘。对于某一厚度的晶圆，放置于贴膜台后，第一升降驱动机构带动升降机构上升或下降一定的高度，使得晶圆的上表面与固定台的上表面平齐，进行下一步的贴膜操作。因此，本申请实施例提供的贴膜台，可以适配不同厚度的晶圆。可以适配不同厚度的晶圆。可以适配不同厚度的晶圆。

【技术实现步骤摘要】
贴膜台


[0001]本申请涉及贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜台。

技术介绍

[0002]晶圆等产品在生产过程中需要进行贴膜处理，以实现对晶圆等产品的保护。而晶圆等产品的厚度随着需求会实时改变，为了满足不同厚度的晶圆的贴膜需求，现有的方式为更换不同的贴膜设备或者不同的贴膜台。这种方式的成本高，且使得贴膜的效率大大降低。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种贴膜台，旨在解决现有技术中，贴膜台无法满足不同厚度的晶圆的贴膜需求的问题。
[0004]为达此目的，本申请实施例采用以下技术方案：
[0005]贴膜台，包括固定机构、滑动安装于所述固定机构的升降机构，以及安装于所述固定机构与所述升降机构之间且用于驱动所述升降机构相对所述固定机构滑动的第一升降驱动机构；所述固定机构包括固定架，以及安装于所述固定架的固定台，所述固定台上开设有供所述升降机构通过的第一让位孔；所述升降机构包括与所述第一升降驱动机构的输出端相连的升降架，以及安装于所述升降架且位于所述第一让位孔内的贴膜盘。
[0006]在一个实施例中，所述固定台的表面开设有多个凹槽。
[0007]在一个实施例中，所述固定台的表面开设有多个真空孔，所述贴膜台还包括与所述真空孔相通的真空泵。
[0008]在一个实施例中，所述升降机构还包括与所述升降架可拆卸连接的第一快拆板，以及与所述第一快拆板的远离所述升降架的一侧可拆卸连接的第二快拆板；所述贴膜盘可拆卸连接于所述第二快拆板的远离所述第一快拆板的一侧。
[0009]在一个实施例中，所述第一升降驱动机构包括安装于所述固定架的驱动电机、安装于所述升降架的丝杠螺母，以及与所述丝杠螺母相配合且与所述驱动电机的输出轴相连的丝杠轴。
[0010]在一个实施例中，所述固定架包括位于所述升降架的远离所述贴膜盘的一侧的固定底板，以及与所述固定底板相连的两块固定立板；两块所述固定立板相对且间隔设置；所述升降架位于两块所述固定立板之间。
[0011]在一个实施例中，所述固定立板与所述升降架相对的表面设有滑轨，所述升降架上设有与所述滑轨相配合的滑块。
[0012]在一个实施例中，所述升降架包括与所述贴膜盘相连的两块升降立板，以及连接于两块所述升降立板之间的升降底板；两块所述升降立板相对且间隔设置。
[0013]在一个实施例中，所述贴膜盘上开设有第二让位孔，所述第二让位孔内设有升降杆，所述升降杆与所述升降底板之间设有第二升降驱动机构。
[0014]在一个实施例中，所述第二升降驱动机构包括第一升降气缸、设于所述第一升降气缸的活动端的第一连接板、安装于所述第一连接板的第二升降气缸，以及设于所述第二升降气缸的活动端的第二连接板；所述升降杆与所述第二连接板固定连接。
[0015]本申请实施例的有益效果：对于某一厚度的晶圆，放置于贴膜台后，若晶圆的上表面高于固定台的上表面，则第一升降驱动机构带动升降机构下降一定的高度，使得晶圆的上表面与固定台的上表面平齐，进行下一步的贴膜操作。若晶圆的上表面低于固定台的上表面，则第一升降驱动机构带动升降机构上升一定的高度，使得晶圆的上表面与固定台的上表面平齐，进行下一步的贴膜操作。因此，本申请实施例提供的贴膜台，可以适配不同厚度的晶圆，无需更换不同的贴膜台对不同厚度的晶圆进行贴膜操作，降低了贴膜成本，并加快了贴膜的效率。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本申请的实施例中贴膜台的结构示意图；
[0018]图2为本申请的实施例中升降机构的结构示意图；
[0019]图中：
[0020]1、固定机构；101、固定架；1011、固定底板；1012、固定立板；1013、滑轨；102、固定台；1021、第一让位孔；1022、凹槽；1023、真空孔；
[0021]2、第一升降驱动机构；201、驱动电机；202、丝杠螺母；203、丝杠轴；
[0022]3、升降机构；301、升降架；3011、升降立板；3012、升降底板；3013、滑块；302、贴膜盘；3021、第二让位孔；303、第一快拆板；304、第二快拆板；305、升降杆；306、第二升降驱动机构；3061、第一升降气缸；3062、第一连接板；3063、第二升降气缸；3064、第二连接板。
具体实施方式
[0023]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0024]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0025]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0026]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者
隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0027]以下结合具体实施例对本申请的实现进行详细的描述。
[0028]如图1-图2所示，本申请实施例提出了一种贴膜台，包括固定机构1、滑动安装于固定机构1的升降机构3，以及安装于固定机构1与升降机构3之间且用于驱动升降机构3相对固定机构1滑动的第一升降驱动机构2；固定机构1包括固定架101，以及安装于固定架101的固定台102，固定台102上开设有供升降机构3通过的第一让位孔1021；升降机构3包括与第一升降驱动机构2的输出端相连的升降架301，以及安装于升降架301且位于第一让位孔1021内的贴膜盘302。
[0029]在本申请的实施例中，利用贴膜台对晶圆等产品进行贴膜的过程为：将晶圆放置于贴膜盘302上，膜覆盖固定台102及贴膜盘302，为了保证贴膜的效果，需要将晶圆的上表面与固定台102的上表面平齐。对于某一厚度的晶圆，放置于贴膜台后，若晶圆的上表面高于固定台102的上表面，则第一升降驱动机构2带动升降机构3下降一定的高度，使得晶圆的上表面与固定台102的上表面平齐，进行下一步的贴膜操作。若晶圆的上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.贴膜台，其特征在于，包括固定机构、滑动安装于所述固定机构的升降机构，以及安装于所述固定机构与所述升降机构之间且用于驱动所述升降机构相对所述固定机构滑动的第一升降驱动机构；所述固定机构包括固定架，以及安装于所述固定架的固定台，所述固定台上开设有供所述升降机构通过的第一让位孔；所述升降机构包括与所述第一升降驱动机构的输出端相连的升降架，以及安装于所述升降架且位于所述第一让位孔内的贴膜盘。2.根据权利要求1所述的贴膜台，其特征在于，所述固定台的表面开设有多个凹槽。3.根据权利要求1所述的贴膜台，其特征在于，所述固定台的表面开设有多个真空孔，所述贴膜台还包括与所述真空孔相通的真空泵。4.根据权利要求1所述的贴膜台，其特征在于，所述升降机构还包括与所述升降架可拆卸连接的第一快拆板，以及与所述第一快拆板的远离所述升降架的一侧可拆卸连接的第二快拆板；所述贴膜盘可拆卸连接于所述第二快拆板的远离所述第一快拆板的一侧。5.根据权利要求1所述的贴膜台，其特征在于，所述第一升降驱动机构包括安装于所述固定架的驱动电机、安装于所述升降架的丝杠螺母，以及与所述丝杠螺母相配合...

【专利技术属性】
技术研发人员：程彦，张成宣，胡丽兰，胡龙，
申请(专利权)人：东莞思沃智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：