贴膜装置制造方法及图纸

本申请公开了一种贴膜装置，包括第一立板、与第一立板相对且间隔设置的第二立板、滑动安装于第一立板的第一连接架、用于驱动第一连接架滑动的第一驱动件、滑动安装于第二立板的第二连接架、用于驱动第二连接架滑动的第二驱动件、转动安装于第一连接架与第二连接架之间的压膜辊，以及安装于第一连接架与第一立板之间的第一压力传感器。由于第一连接架滑动安装于第一立板上，因此第一立板与第一连接架之间的第一压力传感器可检测到第一驱动件通过第一连接架对压膜辊施加的压力，也即检测到压膜辊对晶圆施加的压力，因此压膜辊对晶圆的压力可实时监测，操作人员可实时得到压力信息。操作人员可实时得到压力信息。操作人员可实时得到压力信息。

【技术实现步骤摘要】
贴膜装置


[0001]本申请涉及贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜装置。

技术介绍

[0002]晶圆等产品在生产过程中，需要在晶圆的表面贴覆保护膜。晶圆属于较为精密且易坏的产品，受压力过大时容易损坏，而贴膜过程中需要将保护膜压覆于晶圆的表面。现有的方式为预先调节压膜机构的压紧力，但是在压膜过程中，由于结构等容易轻微变化的原因，或者装配精度的问题，压膜的压力无法实时监测，使得压膜机构的压力容易超出预设值，导致晶圆被压坏，或者压力远小于预设值，导致贴膜不充分。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种贴膜装置，旨在解决现有技术中，贴膜时的压力不可测的问题。
[0004]为达此目的，本申请实施例采用以下技术方案：
[0005]贴膜装置，包括第一立板、与所述第一立板相对且间隔设置的第二立板、滑动安装于所述第一立板的第一连接架、用于驱动所述第一连接架滑动的第一驱动件、滑动安装于所述第二立板的第二连接架、用于驱动所述第二连接架滑动的第二驱动件、转动安装于所述第一连接架与所述第二连接架之间的压膜辊，以及安装于所述第一连接架与所述第一立板之间的第一压力传感器。
[0006]在一个实施例中，所述贴膜装置还包括安装于所述第二连接架与所述第二立板之间的第二压力传感器。
[0007]在一个实施例中，所述第一连接架包括与所述第一立板滑动连接的第一滑动板，以及与所述第一滑动板相连且与所述第一驱动件的输出端相连的第一连接板；所述压膜辊与所述第一滑动板转动连接。
[0008]在一个实施例中，所述第一驱动件为第一气缸，所述第一气缸安装于所述第一立板上；所述第一气缸与所述第一滑动板分别位于所述第一立板的相对的两侧；所述第一连接板上开设有第一让位孔，所述第一立板贯穿所述第一让位孔。
[0009]在一个实施例中，所述第一立板上设有第一安装板，以及与所述第一安装板相对且间隔设置的第二安装板；所述第一气缸安装于所述第一安装板与所述第二安装板之间；所述第一压力传感器位于所述第一安装板与所述第一连接板之间。
[0010]在一个实施例中，所述第一立板上设有第一滑轨，所述滑动板上设有第一滑块，所述第一滑块滑动安装于所述第一滑轨上。
[0011]在一个实施例中，所述第二连接架包括与所述第二立板滑动连接的第二滑动板，以及与所述第二滑动板相连且与所述第二驱动件的输出端相连的第二连接板；所述压膜辊与所述第二滑动板转动连接。
[0012]在一个实施例中，所述第二驱动件为第二气缸，所述第二气缸安装于所述第二立
板上；所述第二气缸与所述第二滑动板分别位于所述第二立板的相对的两侧；所述第二连接板上开设有第二让位孔，所述第二立板贯穿所述第二让位孔。
[0013]在一个实施例中，所述第二立板上设有第三安装板，以及与所述第三安装板相对且间隔设置的第四安装板；所述第二气缸安装于所述第三安装板与所述第四安装板之间；所述第二压力传感器位于所述第三安装板与所述第二连接板之间。
[0014]在一个实施例中，所述第二立板上设有第二滑轨，所述第二滑动板上设有第二滑块，所述第二滑块滑动安装于所述第二滑轨上。
[0015]本申请实施例的有益效果：由于第一连接架滑动安装于第一立板上，因此第一立板与第一连接架之间的第一压力传感器可检测到第一驱动件通过第一连接架对压膜辊施加的压力，也即检测到压膜辊对晶圆施加的压力，因此压膜辊对晶圆的压力可实时监测，操作人员可实时得到压力信息，一旦该压力与预设值偏差过大时，需要立马停止贴膜，进行检修工作。避免贴膜装置对晶圆施加的压力值，与预设值偏差过大时也持续性的完成贴膜工作，避免将晶圆压坏，也可避免膜与晶圆之间贴膜不紧密。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本申请的实施例中贴膜装置的第一视角的结构示意图；
[0018]图2为本申请的实施例中贴膜装置的第二视角的结构示意图；
[0019]图中：
[0020]1、第一立板；11、第一安装板；12、第二安装板；13、第一滑轨；
[0021]2、第二立板；21、第三安装板；22、第四安装板；23、第二滑轨；
[0022]3、第一连接架；31、第一滑动板；311、第一滑块；32、第一连接板；321、第一让位孔；
[0023]4、第一驱动件；41、第一气缸；
[0024]5、第二连接架；51、第二滑动板；511、第二滑块；52、第二连接板；521、第二让位孔；
[0025]6、第二驱动件；61、第二气缸；
[0026]7、压膜辊；8、第一压力传感器；9、第二压力传感器。
具体实施方式
[0027]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0028]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0029]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关
系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0030]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0031]以下结合具体实施例对本申请的实现进行详细的描述。
[0032]如图1-图2所示，本申请实施例提出了一种贴膜装置，包括第一立板1、与第一立板1相对且间隔设置的第二立板2、滑动安装于第一立板1的第一连接架3、用于驱动第一连接架3滑动的第一驱动件4、滑动安装于第二立板2的第二连接架5、用于驱动第二连接架5滑动的第二驱动件6、转动安装于第一连接架3与第二连接架5之间的压膜辊7，以及安装于第一连接架3与第一立板1之间的第一压力传感器8。
[0033]在本申请的实施例中，贴膜装置贴膜时，第一驱动件4与第二驱动件6同时动作，于压膜辊7的相对的两端带动第一连接架3及第二连接架5向靠近晶圆的方向运动，进而带动压膜辊7压持于晶圆及膜的表面，压膜辊7对晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.贴膜装置，其特征在于，包括第一立板、与所述第一立板相对且间隔设置的第二立板、滑动安装于所述第一立板的第一连接架、用于驱动所述第一连接架滑动的第一驱动件、滑动安装于所述第二立板的第二连接架、用于驱动所述第二连接架滑动的第二驱动件、转动安装于所述第一连接架与所述第二连接架之间的压膜辊，以及安装于所述第一连接架与所述第一立板之间的第一压力传感器。2.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述贴膜装置还包括安装于所述第二连接架与所述第二立板之间的第二压力传感器。3.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一连接架包括与所述第一立板滑动连接的第一滑动板，以及与所述第一滑动板相连且与所述第一驱动件的输出端相连的第一连接板；所述压膜辊与所述第一滑动板转动连接。4.根据权利要求3所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一驱动件为第一气缸，所述第一气缸安装于所述第一立板上；所述第一气缸与所述第一滑动板分别位于所述第一立板的相对的两侧；所述第一连接板上开设有第一让位孔，所述第一立板贯穿所述第一让位孔。5.根据权利要求4所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一立板上设有第一安装板，以及与所述第一安装板相对且间隔设置的第二安装板；所述第一气缸安装于所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨冬，程彦，黄文浩，
申请(专利权)人：东莞思沃智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：