真空蒸镀用承载结构制造技术

本实用新型专利技术提出一种真空蒸镀用承载结构，包括外卡体和内卡体；内卡体包括圆形的盖板和上围板，盖板上临近上围板的两个自由端分别设有一个通孔，盖板上密布上透气孔；外卡体包括圆形的承载板和下围板，下围板的两个自由端上分别设置一卡条，卡条包括第一垂直段、水平段和第二垂直段，承载板上密布下透气孔；内卡体置于外卡体内时，第二垂直段穿设于通孔内，盖板底面紧贴水平段上表面设置，上围板紧贴下围板内壁设置，第二垂直段紧贴上围板内壁设置，第一垂直段的左右两端中一端与下围板固定连接、另一端延伸后向外卡体内弯曲形成夹持端，承载板上设有下通槽。本实用新型专利技术有助于蒸镀粉末均匀装配，而且装配快速、简单。简单。简单。

【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀用承载结构


[0001]本技术涉及真空蒸镀
，特别是指一种真空蒸镀用承载结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀是一种用于沉积薄膜的技术。原材料在真空腔中被电子束或电阻丝加热蒸发成气态，气态的源材料会直接粘附于基材表面。现有技术多采用坩埚放置蒸发源，蒸发源置于坩埚底部，蒸发源上方通过承载架放置有用于过滤蒸发源中杂质的过滤颗粒物，现有技术采用如说明书附图1所示的承载架，该承载架包括上卡环1、盖面2、装粉支架3和下卡环4，装粉支架3包括承载面31及设置于其上的支撑架32，盖面2与承载面31上设置有挥发孔，使用时先装入下卡环4，之后将装粉支架3装入下卡环4上并在装粉支架3的承载面31上装过滤颗粒物，然后装配盖面2并用上卡环1对盖面2进行定位。该承载架零部件多，装配时间长、装配速度慢，影响工作效率。

技术实现思路

[0003]为解决以上现有技术的不足，本技术提出了一种结构简单、设计合理、便于装配的真空蒸镀用承载结构。
[0004]本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种真空蒸镀用承载结构，包括外卡体和设置于外卡体内的内卡体；内卡体包括圆形的盖板和环绕盖板外周不闭合设置的上围板，盖板上临近上围板的两个自由端分别设有一个通孔，盖板上密布上透气孔；外卡体包括圆形的承载板和环绕承载板外周不闭合设置的下围板，下围板的两个自由端上分别设置一卡条，卡条包括第一垂直段、水平段和第二垂直段，承载板上密布下透气孔；内卡体置于外卡体内时，第二垂直段穿设于通孔内，盖板底面紧贴水平段上表面设置，上围板紧贴下围板内壁设置，第二垂直段紧贴上围板内壁设置，第一垂直段的左右两端中一端与下围板固定连接、另一端延伸后向外卡体内弯曲形成夹持端，承载板上设有自承载板的圆周面开始向承载板的圆心方向延伸的下通槽。
[0006]优选的，第一垂直段、夹持端与下围板为一体化结构，第一垂直段、水平段和第二垂直段一体成形。
[0007]进一步优选的，下通槽经过承载板的中心且长度介于承载板的半径与直径之间。
[0008]更为优选的，下通槽的下方设有与承载板底面固定连接的防漏板，所述防漏板上密布透气微孔。
[0009]最为优选的，上透气孔、下透气孔及透气微孔均为正方形的透气孔。
[0010]与现有技术相比，本技术结构简单、设计科学、生产成本低，有助于过滤物颗粒均匀装配，而且装配快速、简单。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例
或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1为现有技术的结构示意图；
[0013]图2为本技术的结构示意图。
[0014]图中：1、上卡环；2、盖面；3、装粉支架；31、承载面；32、支撑架；4、下卡环；5、内卡体；51、上围板；52、盖板；521、通孔；522、上透气孔；6、外卡体；61、下围板；611、第一垂直段；612、水平段；613、第二垂直段；614、夹持端；62、承载板；621、下通槽；622、下透气孔。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]如图2所示：一种真空蒸镀用承载结构，包括外卡体6和设置于外卡体6内的内卡体5，内卡体5的外径略小于外卡体6的内径；内卡体5包括圆形的盖板52和环绕盖板52外周不闭合设置的上围板51，盖板52上临近上围板51的两个自由端分别设有一个通孔521，盖板52上密布上透气孔522；外卡体6包括圆形的承载板62和环绕承载板62外周不闭合设置的下围板61，下围板61的两个自由端上分别设置一卡条，卡条包括第一垂直段611、水平段612和第二垂直段613，承载板62上密布下透气孔622；内卡体5置于外卡体6内时，第二垂直段613穿设于通孔521内，盖板52底面紧贴水平段612上表面设置，上围板51紧贴下围板61内壁设置，第二垂直段613紧贴上围板51内壁设置，第一垂直段611的左右两端中一端与下围板61固定连接、另一端延伸后向外卡体6内弯曲形成夹持端614，承载板62上设有自承载板62的圆周面开始向承载板62的圆心方向延伸的下通槽621。使用时，将过滤颗粒物置于承载板62上，两个手指捏住夹持端614将外卡体6置于坩埚内，松开夹持端614后外卡体6紧贴坩埚内壁设置，之后将内卡体5通过第二垂直段613插入通孔521实现盖板52置于承载板的水平段612上，第二垂直段613紧贴内上围板51的内壁，上围板51的外壁紧贴下围板61内壁。
[0017]为了方便加工，第一垂直段611、夹持端614与下围板61为一体化结构，第一垂直段611、水平段612和第二垂直段613一体成形。加工时，临近外卡体6自由端的一定距离处由上往下进行切割，切割出一定长度之后，将切割形成的自由段的底部先向内水平弯曲形成水平段612、再向上垂直弯曲形成第二垂直段613，第一垂直段611为下围板61自由端的一部分，第一垂直段611的右端或左端继续延伸并向外卡体6内弯曲形成夹持端614。
[0018]为了使外卡体6较为紧固地设置于坩埚内，下通槽621经过承载板62的中心且长度介于承载板62的半径与直径之间，双指相对捏住两个夹持端614时，下通槽621被挤压、下围板61外径缩小，将其置于坩埚内后，松开双指则外卡体6的外周紧贴坩埚内壁。
[0019]下通槽621的下方设有与承载板62底面固定连接的防漏板(图中未示出)，防漏板上密布透气微孔，防漏板的一端与承载板62固定，另一端为自由端，因此随着下通槽621的收缩有一定的活动量，当手指捏住两个夹持端614将外卡体6放入坩埚时，防漏板可以接住从下通槽621掉落的过滤颗粒物，防止其落入坩埚底部的蒸发源中。上透气孔522、下透气孔
622及透气微孔均为正方形的透气孔。
[0020]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀用承载结构，其特征在于：包括外卡体(6)和设置于外卡体(6)内的内卡体(5)；内卡体(5)包括圆形的盖板(52)和环绕盖板(52)外周不闭合设置的上围板(51)，盖板(52)上临近上围板(51)的两个自由端分别设有一个通孔(521)，盖板(52)上密布上透气孔(522)；外卡体(6)包括圆形的承载板(62)和环绕承载板(62)外周不闭合设置的下围板(61)，下围板(61)的两个自由端上分别设置一卡条，所述卡条包括第一垂直段(611)、水平段(612)和第二垂直段(613)，承载板(62)上密布下透气孔(622)；内卡体(5)置于外卡体(6)内时，第二垂直段(613)穿设于通孔(521)内，盖板(52)底面紧贴水平段(612)上表面设置，上围板(51)紧贴下围板(61)内壁设置，第二垂直段(613)紧贴上围板(51)内壁设置，第一垂直段(611)的左右两端中一端与下围板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：周磊，窦沛静，段琳琳，丁媛，
申请(专利权)人：明德润和机械制造天津有限公司，
类型：新型
国别省市：