一种可自动翻面的行星架样品台制造技术

一种可自动翻面的行星架样品台，包括支撑台和行星架，行星架上包括有多组支架以及多组翻转台，各组翻转台的一侧均与对应的支架转动连接，另一侧均设有传动组件，传动组件包括连接轴、翻面锥齿、主动锥齿以及从动锥齿，连接轴上套设有通过轴承转动连接的轴套，翻面锥齿固定连接在轴套上，翻转台包括外环和内环，内环上放置有膜片，翻面锥齿与第一驱动锥齿啮合，第一旋转电机驱动第一驱动锥齿转动以使外环在竖直面上翻转，内环的底面设有与从动锥齿啮合的齿盘，主动锥齿与第二驱动锥齿啮合，第二旋转电机驱动第二驱动锥齿转动以使内环上的膜片在水平面上转动；本实用新型专利技术优点在于：能自动将载有的膜片进行翻面使得膜片的双面能均匀对称的进行镀膜。均匀对称的进行镀膜。均匀对称的进行镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种可自动翻面的行星架样品台


[0001]本技术涉及镀膜设备的
，尤其是一种可自动翻面的行星架样品台。

技术介绍

[0002]本技术中的行星架样品台主要应用在镀膜设备中，由于镀膜的应用比较广泛，而本技术针对的是小型膜片镀膜，如常用的相机镜头、近视、远视、老花镜等矫正眼镜的镜片，而薄膜均匀性取决于蒸发源的蒸发特性、基片的几何形状、基片与蒸发源的相对位置等因素；常采用基片和蒸发源相对运动的原理，基片旋转是最实用化的获得均匀薄膜的方法，对于基片双面镀膜，目前的镀膜设备均是采用水平转动膜座以使单面镀膜，当镀完一面膜片之后停止镀膜设备的运行，打开镀膜设备的安全门，手动将膜座上的膜片翻转换面，这种人工进行手动对膜片进行翻面的操作为采用停止镀膜，更换所镀的表面，很难保证基片两个表面膜层的均匀性和对称性；且降低了镀膜的效率；因此本技术设计这种能自动将膜片进行翻面镀膜的行星架样品台。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种能自动将载有的膜片进行翻面使得膜片的双面能均匀对称的进行镀膜的行星架样品台。
[0004]本技术解决其技术问题是采取以下技术方案实现的：
[0005]该种可自动翻面的行星架样品台，包括支撑台和行星架，所述支撑台上包括有第一旋转机构，所述第一旋转机构包括第一旋转电机、第一驱动轴以及第一驱动锥齿，所述第一驱动锥齿套设在所述第一驱动轴上，所述行星架下方设有第二旋转机构，所述第二旋转机构包括第二旋转电机、第二驱动轴以及第二驱动锥齿，所述第二驱动锥齿套设在所述第二驱动轴上，所述行星架上包括有多组支架以及多组翻转台，各组所述翻转台的一侧均与对应的支架转动连接，另一侧均设有传动组件，所述传动组件包括连接轴、翻面锥齿、主动锥齿以及从动锥齿，所述连接轴一端穿过所述支架，所述主动锥齿与所述从动锥齿分别设置在连接轴两端，所述连接轴上套设有通过轴承转动连接的轴套，所述翻面锥齿固定连接在轴套上，所述翻转台包括外环和内环，所述外环与所述内环转动连接，所述内环上放置有膜片，所述轴套的一端固定连接在外环上，所述翻面锥齿与所述第一驱动锥齿啮合，所述第一旋转电机驱动所述第一驱动锥齿转动以使所述外环在竖直面上翻转，所述内环的底面设有与从动锥齿啮合的齿盘，所述主动锥齿与所述第二驱动锥齿啮合，所述第二旋转电机驱动所述第二驱动锥齿转动以使所述内环上的膜片在水平面上转动。
[0006]优选的，所述第一驱动锥齿的直径大于第二驱动锥齿的直径，所述翻面锥齿的直径大于主动锥齿的直径。
[0007]优选的，所述支撑台上还设有升降机构，所述行星架还包括有圆盘，各组所述支架均固定连接在圆盘的底面，所述升降机构包括框架、第三旋转电机、移动板、螺杆以及导杆，所述第三旋转电机位于框架上，所述螺杆一端与第三旋转电机连接，另一端通过轴承转动
连接在框架底面上，所述导杆位于框架上，所述移动板套设在螺杆和导杆上，所述移动板与所述螺杆螺纹连接，所述第一驱动轴外套设有管套，所述管套穿过支撑台连接在圆盘上，所述管套外还套设有穿过支撑台的外套，所述外套与管套之间通过轴承连接，所述移动板固定连接在外套上。
[0008]优选的，所述支撑台上还设有第三旋转机构，所述第三旋转机构包括支撑架、第四旋转电机、齿轴以及转动齿轮，所述第四旋转电机位于支撑架上，所述第四旋转电机通过皮带带动齿轴转动，所述转动齿轮套设在齿轴上，所述圆盘与所述支撑台之间的管套上固定套设有传动齿轮，所述转动齿轮与所述传动齿轮啮合。
[0009]优选的，所述支撑台与移动板之间的外套上套设有波纹管。
[0010]优选的，所述内环与所述外环之间设有轴承，所述内环上设有圆环，所述圆环上部设有台阶，所述圆环的台阶卡设在轴承的内圈上，所述圆环与所述外环之间具有高度差，且形成一个放置槽。
[0011]优选的，所述外环的两侧壁上均设有橡胶垫。
[0012]优选的，所述外环一侧设有转轴，所述转轴穿过所述支架，所述转轴与支架之间设有轴承。
[0013]本技术的优点和积极效果是：通过第一旋转电机驱动第一驱动轴转动，第一驱动轴带动第一驱动锥齿转动，而行星架内的各组翻转台通过翻面锥齿与第一驱动锥齿啮合，翻面锥齿通过轴套固定连接在翻转台上，轴套通过轴承转动连接在支架上，翻转台的另一侧通过轴承转动连接在支架上，通过第一驱动锥齿的传动翻面锥齿的转动以实现各个翻转台在支架上翻转，解决了无需停止镀膜，手动更换所镀的表面，以此保证膜片的两个表面膜层的均匀性和对称性；通过第二旋转电机驱动第二驱动轴转动，第二驱动轴带动第二驱动锥齿转动，而第二驱动锥齿直径小于第一驱动锥齿，且第二驱动锥齿位于第一驱动锥齿下方，通过传动组件中的主动锥齿与第二驱动锥齿的啮合，以及连接轴的转动以使从动锥齿与主动锥齿的同轴转动配合翻转套底部的齿盘，以实现翻转台内的内环及内环上的圆环在水平面上转动，确保镀膜时膜片一个面上均匀性。
附图说明
[0014]图1是本技术的整体结构示意图；
[0015]图2是本技术中行星架的结构图；
[0016]图3是图2中A处放大图；
[0017]图4是本技术中支架及翻转台的整体剖视图；
[0018]图5是本技术中传动组件的结构图。
[0019]图中：1、支撑台；2、行星架；3、第一旋转机构；31、第一旋转电机；32、第一驱动轴；33、第一驱动锥齿；41、第二驱动轴；42、第二驱动锥齿；5、支架；6、翻转台；61、外环；62、内环；7、传动组件；71、连接轴；72、翻面锥齿；73、主动锥齿；74、从动锥齿；75、轴套；8、齿盘；9、圆盘；10、框架；11、第三旋转电机；12、移动板；13、螺杆；14、导杆；15、管套；16、支撑架；17、第四旋转电机；18、齿轴；19、转动齿轮；20、传动齿轮；21、波纹管；22、圆环；221、台阶；23、放置槽；24、橡胶垫；25、转轴；26、外套。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0022]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可自动翻面的行星架样品台，其特征在于：包括支撑台(1)和行星架(2)，所述支撑台(1)上包括有第一旋转机构(3)，所述第一旋转机构(3)包括第一旋转电机(31)、第一驱动轴(32)以及第一驱动锥齿(33)，所述第一驱动锥齿(33)套设在所述第一驱动轴(32)上，所述行星架(2)下方设有第二旋转机构，所述第二旋转机构包括第二旋转电机、第二驱动轴(41)以及第二驱动锥齿(42)，所述第二驱动锥齿(42)套设在所述第二驱动轴(41)上，所述行星架(2)上包括有多组支架(5)以及多组翻转台(6)，各组所述翻转台(6)的一侧均与对应的支架(5)转动连接，另一侧均设有传动组件(7)，所述传动组件(7)包括连接轴(71)、翻面锥齿(72)、主动锥齿(73)以及从动锥齿(74)，所述连接轴(71)一端穿过所述支架(5)，所述主动锥齿(73)与所述从动锥齿(74)分别设置在连接轴(71)两端，所述连接轴(71)上套设有通过轴承转动连接的轴套(75)，所述翻面锥齿(72)固定连接在轴套(75)上，所述翻转台(6)包括外环(61)和内环(62)，所述外环(61)与所述内环(62)转动连接，所述内环(62)上放置有膜片，所述轴套(75)的一端固定连接在外环(61)上，所述翻面锥齿(72)与所述第一驱动锥齿(33)啮合，所述第一旋转电机(31)驱动所述第一驱动锥齿(33)转动以使所述外环(61)在竖直面上翻转，所述内环(62)的底面设有与从动锥齿(74)啮合的齿盘(8)，所述主动锥齿(73)与所述第二驱动锥齿(42)啮合，所述第二旋转电机驱动所述第二驱动锥齿(42)转动以使所述内环(62)上的膜片在水平面上转动。2.根据权利要求1所述一种可自动翻面的行星架样品台，其特征在于：所述第一驱动锥齿(33)的直径大于第二驱动锥齿(42)的直径，所述翻面锥齿(72)的直径大于主动锥齿(73)的直径。3.根据权利要求1所述一种可自动翻面的行星架样品台，其特征在于：所述支撑台(1)上还设有升降机构，所述行星架(2)还包括有圆盘(9)，各组所述支架(5)均固定连接在圆盘(9)的底面，所述升降机构包括框架(10)、第三旋转电...

【专利技术属性】
技术研发人员：金炯，姜琼，王丙利，
申请(专利权)人：浙江赛威科光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：