一种在基板上形成选择性发射极的制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在基板上形成选择性发射极的制造装置，包括：激光发射部、光转换部、偏光镜、光束扩大部、控制器、箱体和架体。激光发射部发射激光束；光转换部将激光束转换成相应的偏光；偏光镜允许未经偏光的激光束和经过偏光的激光束中的一种透射通过；光束扩大部将经由偏光镜透射的激光束扩大至设定倍数；熔融激光发出器接受扩大后的激光束并发射出熔融激光束至基板上设定位置；控制器与光转换部电性连接；其中上述各元器件的底座均安装在所述架体上，控制器控制光转换部开启或关闭，以使熔融激光束在到达预设选择性发射极以外区域时关闭，在到达预设选择性发射极区域时开启。本发明专利技术制造装置，不需要掩膜即可形成选择性发射极。极。极。

【技术实现步骤摘要】
一种在基板上形成选择性发射极的制造装置


[0001]本专利技术涉及激光制造领域，特别是一种在基板上形成选择性发射极的制造装置。

技术介绍

[0002]选择性发射极电池被认为是改善太阳能电池的效率的有效方式，“选择性发射极 (selective emitter)”是为了减少正面电极和发射器层之间的接触电阻，而在与正面电极相接的区域设置相对较厚发射器层的发射极结构，这种选择性发射极结构可以实现电极下面的横向结，减少少数载流子空穴在此电极区域的复合，还可以降低金属与半导体的接触电阻所以制作选择性发射极太阳能电池，可以大幅度提高太阳能电池的转换效率。
[0003]现有选择性发射极的制作多采用激光熔融加工，使熔融激光发出器发出的激光束沿着预设选择性发射极位置照射，使掺杂源层的掺杂物向下侧扩散，形成比低浓度发射器层浓度更高的选择性发射极层。然而用于形成选择性发射极的激光束通常采用连续波 (continuous wave)激光束或准连续波(quasi continuous wave)激光束。但是，在多个预设选择性发射极线条之间移动时，有必要使激光束不能照射预设选择性发射极之外的区域。如果与选择性发射极无关的基板的区域受到损伤，则会影响整体太阳能电池产品的性能。但是对于连续波激光发射部的情况，其内部没有安装控制激光束的输出的开关，因此在选择性发射极的加工过程中难以进行开/关转换。因此，现有技术中，多在基板上侧布置掩膜以保护非选择性发射极区域，但是，掩膜的引用大大需要附加的工艺以对齐掩膜和基板，使得工艺的生产效率下降。因此需要提供一种可以进行自动开关的在基板上形成选择性发射极的制造装置，来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种在基板上形成选择性发射极的制造装置，用于解决现有在基板上形成选择性发射极的制造装置，无法自主实现激光束在选择性发射极区域与非选择性发射极区域的启闭切换，以保护非选择性发射极区域免收损害的问题。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种在基板上形成选择性发射极的制造装置，包括：
[0006]激光发射部，所述激光发射部发射出连续波或准连续波激光束；
[0007]光转换部，所述光转换部将所述激光束转换成相应的第一偏光或第二偏光；
[0008]偏光镜，所述偏光镜允许未经偏光的所述激光束和经过偏光的激光束中的一种透射通过，并同时阻止另一种通过；
[0009]光束扩大部，所述光束扩大部将经由所述偏光镜透射的激光束扩大至设定倍数；
[0010]熔融激光发出器，所述熔融激光发出器接受扩大后的激光束并发射出熔融激光束至基板上设定位置；
[0011]控制器，所述控制器与所述光转换部电性连接；
[0012]箱体，所述箱体上设置有冷却空气进口和出口；
[0013]架体，所述架体卡装在所述箱体内的阻尼条之间并与所述阻尼条通过减震螺栓相连接；
[0014]其中，所述激光发射部、光转换部、偏光镜、光束扩大部、熔融激光发出器的底座均安装在架体上，所述控制器控制所述光转换部开启或关闭，以使所述熔融激光束在到达预设选择性发射极以外区域时关闭，在到达预设选择性发射极区域时开启。
[0015]在本专利技术一示例中，所述制造装置还包括挡光部件和驱动装置，所述驱动装置驱动所述挡光部件动作，以切断或放行所述激光发射部和所述光转换部之间的激光束。
[0016]在本专利技术一示例中，所述熔融激光发出器包括扫描振镜和聚光透镜。
[0017]在本专利技术一示例中，所述光束扩大部包括变倍扩束镜。
[0018]在本专利技术一示例中，所述制造装置还包括箱体，所述箱体上设置有冷却空气进口和出口。
[0019]在本专利技术一示例中，所述激光发射部、光转换部、偏光镜、光束扩大部、熔融激光发出器的底座安装在同一架体上，所述架体卡装在所述箱体内的阻尼条之间并与所述阻尼条通过减震螺栓相连接。
[0020]在本专利技术一示例中，所述架体上设置有两个相平行第一立板和第二立板，所述激光发射部、光转换部、偏光镜、光束扩大部、熔融激光发出器的底座两端均通过调节式卡槽安装在所述第一立板和所述第二立板上。
[0021]在本专利技术一示例中，所述调节式卡槽包括：卡槽本体、阻尼件和至少两个调节体，所述阻尼件安装在所述卡槽本体的卡槽内，所述底座定位安装在所述阻尼件内，所述至少两个调节体从上往下抵靠压紧在所述底座上。
[0022]在本专利技术一示例中，所述底座上与所述调节体相对应的位置设置有凹槽，所述凹槽内安装有阻尼板，所述调节体螺纹连接安装在所述卡槽本体上，且端部顶紧在所述阻尼板上。
[0023]在本专利技术一示例中，所述熔融激光束的线宽大于10μm，且小于20μm。
[0024]如上所述，本专利技术在基板上形成选择性发射极的制造装置，使激光束照射到基板上预定形成选择性发射极的区域，而不会照射到基板上预定选择性发射极之外的区域，不需要掩膜即可形成选择性发射极，可以改善生产收率，显著节省装置的维持费用。另外本专利技术在基板上形成选择性发射极的制造装置通过光转换部、偏光镜和控制器来整体实现激光束的启闭，不仅可以控制激光束以较高的效率传送，而且通过偏光镜可以过滤掉一部分杂光，可以使照射到基板上的激光束质量均匀稳定，提高了选择性发射极的可靠性。
附图说明
[0025]图1为本专利技术在基板上形成选择性发射极的制造装置一实施例的剖切示意图；
[0026]图2为图1中的A-A向剖视图；
[0027]图3为本专利技术在基板上形成选择性发射极的制造装置一实施例中底座的安装示意图；
[0028]图4为图3中的I区域局部放大图。
[0029]图中：
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在基板上形成选择性发射极的制造装置
[0031]100
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激光发射部
[0032]101
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激光发射部的底座
[0033]200
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光转换部
[0034]201
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光转换部的底座
[0035]300
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偏光镜
[0036]301
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偏光镜的底座
[0037]400
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光束扩大部
[0038]401
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光束扩大部的底座
[0039]500
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熔融激光发出器
[0040]501
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熔融激光发出器的底座
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在基板上形成选择性发射极的制造装置，其特征在于，包括：激光发射部，所述激光发射部发射出连续波或准连续波激光束；光转换部，所述光转换部将所述激光束转换成相应的第一偏光或第二偏光；偏光镜，所述偏光镜允许未经偏光的所述激光束和经过偏光的激光束中的一种透射通过，并同时阻止另一种通过；光束扩大部，所述光束扩大部将经由所述偏光镜透射的激光束扩大至设定倍数；熔融激光发出器，所述熔融激光发出器接受扩大后的激光束并发射出熔融激光束至基板上设定位置；控制器，所述控制器与所述光转换部电性连接；箱体，所述箱体上设置有冷却空气进口和出口；架体，所述架体卡装在所述箱体内的阻尼条之间并与所述阻尼条通过减震螺栓相连接；其中，所述激光发射部、光转换部、偏光镜、光束扩大部、熔融激光发出器的底座均安装在架体上，所述控制器控制所述光转换部开启或关闭，以使所述熔融激光束在到达预设选择性发射极以外区域时关闭，在到达预设选择性发射极区域时开启。2.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，所述制造装置还包括挡光部件和驱动装置，所述驱动装置驱动所述挡光部件动作，以...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌步军，朱鹏程，袁明峰，吕金鹏，赵有伟，滕宇，孙月飞，冷志斌，冯高俊，
申请(专利权)人：江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：