本实用新型专利技术涉及靶材生产的技术领域，特别是涉及一种靶材塑封用抽真空装置，其使靶材在有真空塑封的条件下保持良好的状态，便于后续运输等操作，提高可靠性；包括真空机框架、真空工作槽、盖板合页、盖板、盖板把手架、压块、分隔块、间隙块、热塑块、抽气头、抽气管、抽气气泵、排气泵和排气栅，真空机框架顶端设置有真空工作槽，盖板内端的压块两侧分别与一组分隔块内端相连接，真空工作槽底端中后部与热塑块底端相连接，真空工作槽底端后部与抽气头顶端相接，抽气头底端与抽气管顶端相连通，抽气气泵底端与真空机框架内部底端后侧相连接，真空机框架后端下部与排气栅内端相连接，排气泵输出端与排气栅相连通。端与排气栅相连通。端与排气栅相连通。
【技术实现步骤摘要】
一种靶材塑封用抽真空装置
[0001]本技术涉及靶材生产的
，特别是涉及一种靶材塑封用抽真空装置。
技术介绍
[0002]众所周知，一种靶材塑封用抽真空装置是一种用于成品靶材进行塑封过程中抽真空的辅助装置，其在靶材生产的领域中得到了广泛的使用；镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。所以其成品对于表面保护要求较高，需要进行塑封保护处理。
技术实现思路
[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种使靶材在有真空塑封的条件下保持良好的状态，便于后续运输等操作，提高可靠性的一种靶材塑封用抽真空装置。
[0004]本技术的一种靶材塑封用抽真空装置，包括真空机框架、真空工作槽、盖板合页、盖板、盖板把手架、压块、分隔块、间隙块、热塑块、抽气头、抽气管、抽气气泵、排气泵和排气栅，真空机框架顶端设置有真空工作槽，真空工作槽底端中后侧与热塑块底端相连接，真空机框架顶端的真空工作槽后侧与盖板合页一端相连接，盖板合页另一端与盖板下侧端中部相连接，盖板外端上部中侧与盖板把手架内端相连接，盖板把手架上设置有盖板把手套，盖板内端下部中侧与压块内端相连接，压块外端与间隙块内端可滑动相连接，盖板内端的压块两侧分别与一组分隔块内端相连接，真空工作槽底端中后部与热塑块底端相连接，真空工作槽底端后部与抽气头顶端相接，抽气头底端与抽气管顶端相连通，抽气气泵底端与真空机框架内部底端后侧相连接，抽气管输出端与抽气气泵输入端相连接，抽气气泵输出端与排气泵输入端相连接，真空机框架后端下部与排气栅内端相连接，排气泵输出端与排气栅相连通。
[0005]本技术的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括盖板玻璃，盖板外端下部与盖板玻璃内端相连接。
[0006]本技术的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括照明灯，真空工作槽内部左右侧前端分别与一组照明灯内端相连接。
[0007]本技术的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括门板合页、门板、门把杆和把球，真空机框架右端下部设置有开口，开口前端与门板合页一端相连接，门板合页另一端与门板左侧端中部相连接，门板前端中上部与门把杆内端相连接，门把杆外端与把球内端相连接。
[0008]本技术的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括锁孔环、锁轴和锁片，锁孔环内端与门板前端中下部可转动相连接，锁轴前端与门板后端中下部可转动相连接，锁轴后端与锁片前端左侧相连接。
[0009]本技术的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括转轴、轮盒和滚轮，真空机框架底端四个角侧分别与一组转轴顶端相连接，每组转轴底端分别与一组轮盒顶端中部可转动相连接，每组轮盒内端分别与一组滚轮两端可转动相连接。
[0010]本技术的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括刹车片和踩片，后侧两组刹车片顶端分别与一组轮盒内端上部活动相连接，刹车片后端与踩片前端中部相连接。
[0011]本技术的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括把手架和把手杆，真空机框架后端上部左右侧分别与一组把手架前端相连接，两组把手架后端分别与把手杆前端左右侧相连接。
[0012]与现有技术相比本技术的有益效果为：首先将靶材放置在塑料包装袋里，之后将其放置在真空工作槽内端的前腔内，并使封口置在热塑块顶端，然后使间隙块处于伸出状态，然后握持盖板把手架将盖板在盖板合页的约束下下压，使间隙块接触到热塑块顶端，跟塑封口留出部分间隙，并使分隔块咬合热塑块两端，将前后腔完全分开，之后启动抽气气泵，将靶材包装袋内的空气由抽气管到抽气气泵的顺序，最后由排气栅排出，使内部形成真空后，间隙块缩回，热塑块加热将袋口塑封，使靶材在有真空塑封的条件下保持良好的状态，便于后续运输等操作，提高可靠性。
附图说明
[0013]图1是本技术的结构示意图轴视图；
[0014]图2是本技术的结构示意图前视图；
[0015]图3是本技术的结构示意图右视图；
[0016]图4是本技术的结构示意图右剖视图；
[0017]附图中标记：1、真空机框架；2、真空工作槽；3、盖板合页；4、盖板；5、盖板把手架；6、盖板把手套；7、压块；8、分隔块；9、间隙块；10、热塑块；11、抽气头；12、抽气管；13、抽气气泵；14、排气管；15、排气栅；16、盖板玻璃；17、照明灯；18、门板合页；19、门板；20、门把杆；21、把球；22、锁孔环；23、锁轴；24、锁片；25、转轴；26、轮盒；27、滚轮；28、刹车片；29、踩片；30、把手架；31、把手杆。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0019]如图1至图4所示，本技术的一种靶材塑封用抽真空装置，包括真空机框架1、真空工作槽2、盖板合页3、盖板4、盖板把手架5、压块7、分隔块8、间隙块9、热塑块10、抽气头11、抽气管12、抽气气泵13、排气泵14和排气栅15，真空机框架1顶端设置有真空工作槽2，真空工作槽2底端中后侧与热塑块10底端相连接，真空机框架1顶端的真空工作槽2后侧与盖板合页3一端相连接，盖板合页3另一端与盖板4下侧端中部相连接，盖板4外端上部中侧与盖板把手架5内端相连接，盖板把手架5上设置有盖板把手套6，盖板4内端下部中侧与压块7内端相连接，压块7外端与间隙块9内端可滑动相连接，盖板4内端的压块7两侧分别与一组分隔块8内端相连接，真空工作槽2底端中后部与热塑块10底端相连接，真空工作槽2底端后部与抽气头11顶端相接，抽气头11底端与抽气管12顶端相连通，抽气气泵13底端与真空机
框架1内部底端后侧相连接，抽气管12输出端与抽气气泵13输入端相连接，抽气气泵13输出端与排气泵14输入端相连接，真空机框架1后端下部与排气栅15内端相连接，排气泵14输出端与排气栅15相连通；首先将靶材放置在塑料包装袋里，之后将其放置在真空工作槽2内端的前腔内，并使封口置在热塑块10顶端，然后使间隙块9处于伸出状态，然后握持盖板把手架5将盖板4在盖板合页3的约束下下压，使间隙块9接触到热塑块10顶端，跟塑封口留出部分间隙，并使分隔块8咬合热塑块10两端，将前后腔完全分开，之后启动抽气气泵13，将靶材包装袋内的空气由抽气管12到抽气气泵13的顺序，最后由排气栅15排出，使内部形成真空后，间隙块9缩回，热塑块10加热将袋口塑封，使靶材在有真空塑封的条件下保持良好的状态，便于后续运输等操作，提高可靠性。
[0020]本技术的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括盖板玻璃16，盖板4外端下部与盖板玻璃16内端相连接；通过盖板玻璃16方便观察内部情况，判断塑封质量，提高便利性。
[0021]本技术的一种靶本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种靶材塑封用抽真空装置，其特征在于，包括真空机框架(1)、真空工作槽(2)、盖板合页(3)、盖板(4)、盖板把手架(5)、压块(7)、分隔块(8)、间隙块(9)、热塑块(10)、抽气头(11)、抽气管(12)、抽气气泵(13)、排气泵(14)和排气栅(15)，真空机框架(1)顶端设置有真空工作槽(2)，真空工作槽(2)底端中后侧与热塑块(10)底端相连接，真空机框架(1)顶端的真空工作槽(2)后侧与盖板合页(3)一端相连接，盖板合页(3)另一端与盖板(4)下侧端中部相连接，盖板(4)外端上部中侧与盖板把手架(5)内端相连接，盖板把手架(5)上设置有盖板把手套(6)，盖板(4)内端下部中侧与压块(7)内端相连接，压块(7)外端与间隙块(9)内端可滑动相连接，盖板(4)内端的压块(7)两侧分别与一组分隔块(8)内端相连接，真空工作槽(2)底端中后部与热塑块(10)底端相连接，真空工作槽(2)底端后部与抽气头(11)顶端相接，抽气头(11)底端与抽气管(12)顶端相连通，抽气气泵(13)底端与真空机框架(1)内部底端后侧相连接，抽气管(12)输出端与抽气气泵(13)输入端相连接，抽气气泵(13)输出端与排气泵(14)输入端相连接，真空机框架(1)后端下部与排气栅(15)内端相连接，排气泵(14)输出端与排气栅(15)相连通。2.如权利要求1所述的一种靶材塑封用抽真空装置，其特征在于，还包括盖板玻璃(16)，盖板(4)外端下部与盖板玻璃(16)内端相连接。3.如权利要求2所述的一种靶材塑封用抽真空装置，其特征在于，还包括照明灯(17)，真空工作槽(2)内部左右侧前端分别...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜海，唐培新，吕晓明，姜慧，王瑞刚，许凤志，
申请(专利权)人：河北宏靶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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