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本实用新型涉及靶材生产的技术领域，特别是涉及一种靶材塑封用抽真空装置，其使靶材在有真空塑封的条件下保持良好的状态，便于后续运输等操作，提高可靠性；包括真空机框架、真空工作槽、盖板合页、盖板、盖板把手架、压块、分隔块、间隙块、热塑块、抽气头、...
该专利属于河北宏靶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北宏靶科技有限公司授权不得商用。

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