本实用新型专利技术公开了一种用于气相沉积炉的尾气清理装置，包括底座，所述底座的顶部安装有罐体，所述罐体的顶部开设有进气口，所述罐体的一侧安装有观察窗，所述罐体的内壁顶部安装有水溶处理室，所述水溶处理室的一侧安装有尾气管，所述水溶处理室的底部安装有横板，且尾气管贯穿横板，所述横板的底部安装有水箱，所述水箱的底部安装有若干个喷淋管，且若干个喷淋管贯穿在水箱的底部，所述罐体的内壁两侧均安装有基座，所述罐体的内壁靠近基座的下端安装有过滤板一，所述底座的内部安装有过滤室，且污水管贯穿连接在过滤室的内部；本实用新型专利技术能够对相沉积炉的尾气进行有效的过滤，同时有效的降低了尾气对环境的污染。时有效的降低了尾气对环境的污染。时有效的降低了尾气对环境的污染。
【技术实现步骤摘要】
一种用于气相沉积炉的尾气清理装置
[0001]本技术属于尾气清理领域，具体为一种用于气相沉积炉的尾气清理装置。
技术介绍
[0002]气相沉积炉在使用过程中会产生尾气，所以需要制造出一种对气相沉积炉尾气进行处理的装置，气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。气相沉积技术按照成膜机理，可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积，通过尾气清理装置对尾气进行处理，避免直接排放到大气中对环境造成污染。
[0003]现有的气相沉积炉的尾气清理装置在使用时存在一定的弊端，现有的气相沉积炉的尾气清理装置在使用时不能够对尾气进行充分处理，直接排放对环境造成污染；现有的气相沉积炉的尾气清理装置在使用时不能有效的对过滤尾气产生的污水进行过滤，直接将污水到外面对周围环境造成污染。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种用于气相沉积炉的尾气清理装置，本技术有效的解决了现有的气相沉积炉的尾气清理装置在使用时不能够对尾气进行充分处理，直接排放对环境造成污染；现有的气相沉积炉的尾气清理装置在使用时不能有效的对过滤尾气产生的污水进行过滤，直接将污水到外面对周围环境造成污染的技术问题。
[0005]本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0006]一种用于气相沉积炉的尾气清理装置，包括底座，所述底座的顶部安装有罐体，所述罐体的顶部开设有进气口，所述罐体的一侧安装有观察窗，所述罐体的内壁顶部安装有水溶处理室，所述水溶处理室的一侧安装有尾气管，所述水溶处理室的底部安装有横板，且尾气管的一端贯穿横板的底部，所述横板的底部安装有水箱，所述水箱的底部安装有若干个喷淋管，且若干个喷淋管贯穿在水箱的底部，所述罐体的内壁两侧均安装有基座，所述罐体的内壁靠近基座的下端安装有过滤板一，所述罐体的底部安装有污水阀，且污水阀的前端安装有污水管，所述底座的内部安装有过滤室，且污水管贯穿连接在过滤室的内部；
[0007]所述底座的内壁安装有过滤板二，所述过滤板二的一侧安装有固定块，所述过滤板二的侧壁开设有过滤孔。
[0008]作为本技术的进一步方案，所述底座的顶部开设有卡接凹槽，罐体的底部卡入到底座的内侧当中。
[0009]作为本技术的进一步方案，所述水溶处理室的内部存放有尾气处理液，且水溶处理室呈矩形设置。
[0010]作为本技术的进一步方案，底座的底部四角均安装有支脚，四组所述支脚的底部均安装有橡胶垫，且四组支脚在底座的底部平行设置。
[0011]作为本技术的进一步方案，所述过滤板二通过固定块固定安装在过滤室的内
壁。
[0012]作为本技术的进一步方案，两组所述基座的一侧均安装有驱动电机，且驱动电机的前端安装有扇叶，水箱的内部安装有水泵，且水泵与喷淋管相连接。
[0013]作为本技术的进一步方案，若干组所述喷淋管的前端安装有喷淋头，且喷淋头呈圆形设置。
[0014]本技术的有益效果：
[0015]本技术通过在罐体的内部安装水溶处理室，在水溶处理室内存放尾气处理液，使尾气进入到水溶处理室内进行初步净化，之后初步净化的尾气通过水溶处理室一侧的尾气管排放至横板的底部，随后启动水箱内部安装的水泵，使水泵带动水箱内的尾气处理液从喷淋管前端的喷淋头流出，从而对气相沉积炉产生的尾气更好的净化；
[0016]通过在底座的内部安装过滤室，在过滤室内安装过滤板二，有效的对尾气和污水进行过滤。
附图说明
[0017]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0018]图1为本技术的整体结构示意图。
[0019]图2为本技术的整体结构的剖视图。
[0020]图3为本技术的过滤板二的侧视图。
[0021]图中：1、底座；2、罐体；3、进气口；4、观察窗；5、水溶处理室；6、尾气管；7、横板；8、水箱；9、喷淋管；10、基座；11、过滤板一；12、污水阀；13、过滤室；14、过滤板二；15、固定块；16、过滤孔。
具体实施方式
[0022]下面将结合实施例对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]如图1-3所示，一种用于气相沉积炉的尾气清理装置，包括底座1，底座1的顶部安装有罐体2，罐体2的顶部开设有进气口3，罐体2的一侧安装有观察窗4，罐体2的内壁顶部安装有水溶处理室5，水溶处理室5的一侧安装有尾气管6，水溶处理室5的底部安装有横板7，且尾气管6的一端贯穿横板7的底部，横板7的底部安装有水箱8，水箱8的底部安装有若干个喷淋管9，且若干个喷淋管9贯穿在水箱8的底部，罐体2的内壁两侧均安装有基座10，罐体2的内壁靠近基座10的下端安装有过滤板一11，罐体2的底部安装有污水阀12，且污水阀12的前端安装有污水管，底座1的内部安装有过滤室13，且污水管贯穿连接在过滤室13的内部；
[0024]底座1的内壁安装有过滤板二14，过滤板二14的一侧安装有固定块15，过滤板二14的侧壁开设有过滤孔16。
[0025]底座1的顶部开设有卡接凹槽，罐体2的底部卡入到底座1的内侧当中。
[0026]水溶处理室5的内部存放有尾气处理液，且水溶处理室5呈矩形设置。
[0027]底座1的底部四角均安装有支脚，四组支脚的底部均安装有橡胶垫，且四组支脚在
底座1的底部平行设置，通过设置四组支脚，从而使底座1具有更好的稳定性。
[0028]过滤板二14通过固定块15固定安装在过滤室13的内壁。
[0029]两组基座10的一侧均安装有驱动电机，且驱动电机的前端安装有扇叶，水箱8的内部安装有水泵，且水泵与喷淋管9相连接，通过在基座10的一侧安装驱动电机和扇叶，从而有效的对尾气进行搅动。
[0030]若干组喷淋管9的前端安装有喷淋头，且喷淋头呈圆形设置，通过设置喷淋管9与喷头，使水箱8内存放的尾气处理液洒出对尾气进行过滤。
[0031]一种用于气相沉积炉的尾气清理装置，在使用时，首先将罐体2固定在底座1的顶部，然后尾气通过进气口3进入到水溶处理室5的内部，通过在水溶处理室5内存放尾气处理液，使尾气进入到水溶处理室5内进行初步净化，之后初步净化的尾气通过水溶处理室5一侧的尾气管6排放至横板7的底部，随后启动水箱8内部安装的水泵，使水泵带动水箱8内的尾气处理液从喷淋管9前端的喷淋头流出，随后启动安装在基座10一侧的驱动电机，使驱动电机带动扇叶进行转动，使罐体2内部产生流动的气流，从而使初步净化的尾气在扇叶的转动下在罐体2内流动，随后从喷淋头喷出的尾气处理液对初步净化的尾气进行喷淋，更好的对尾气进行二次净化，通过在罐体2一侧的观本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于气相沉积炉的尾气清理装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部安装有罐体（2），所述罐体（2）的顶部开设有进气口（3），所述罐体（2）的一侧安装有观察窗（4），所述罐体（2）的内壁顶部安装有水溶处理室（5），所述水溶处理室（5）的一侧安装有尾气管（6），所述水溶处理室（5）的底部安装有横板（7），且尾气管（6）的一端贯穿横板（7）的底部，所述横板（7）的底部安装有水箱（8），所述水箱（8）的底部安装有若干个喷淋管（9），且若干个喷淋管（9）贯穿在水箱（8）的底部，所述罐体（2）的内壁两侧均安装有基座（10），所述罐体（2）的内壁靠近基座（10）的下端安装有过滤板一（11），所述罐体（2）的底部安装有污水阀（12），且污水阀（12）的前端安装有污水管，所述底座（1）的内部安装有过滤室（13），且污水管贯穿连接在过滤室（13）的内部；所述底座（1）的内壁安装有过滤板二（14），所述过滤板二（14）的一侧安装有固定块（15），所述过滤板二（14）的侧壁开设有过滤孔（16）。2.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨开平，黄军，彭剑捷，
申请(专利权)人：四川巴顿航空设备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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