手套箱动态反馈混气系统技术方案

本实用新型专利技术公开手套箱动态反馈混气系统,包括PLC控制器、在线式气体分析仪、至少两路结构相同的进气组件、手套箱腔体和排气组件，进气组件包括进气管路、气体质量流量控制器和电磁阀；其中，在每路进气组件中：进气管路的首端连通气源，在进气管路上沿气流方向依次设置气体质量流量控制器和电磁阀，进气管路的末端连通手套箱腔体。本实用新型专利技术能按一定比例将一种气体混入并维持腔体该气体浓度的设备，通过气体质量流量控制器与多个电磁阀配合，可将该气体快速混入，并保持在设定的该气体浓度范围内，满足产品工艺需求。满足产品工艺需求。满足产品工艺需求。

【技术实现步骤摘要】
手套箱动态反馈混气系统


[0001]本技术属于气体混配
，具体涉及手套箱动态反馈混气系统。

技术介绍

[0002]现有的混气系统或混气方法比较粗糙，仅仅是将气体按照比例混合，或是按照比例充入混合气体罐内，这种方法非常费时，同时由于不同气体的气压使充气工作非常难。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，有必要提供一种操作简单、精度稳定且能够适应多种气体混配的动态反馈混气系统。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术手段是：
[0005]手套箱动态反馈混气系统,包括PLC控制器、在线式气体分析仪、至少两路结构相同的进气组件、手套箱腔体和排气组件，所述进气组件包括进气管路、气体质量流量控制器和电磁阀；
[0006]其中，在每路进气组件中：所述进气管路的首端连通气源，在所述进气管路上沿气流方向依次设置所述气体质量流量控制器和所述电磁阀，所述进气管路的末端连通所述手套箱腔体；
[0007]所述在线式气体分析仪的进气孔连通所述手套箱腔体，所述在线式气体分析仪的数据处理部件连接所述PLC控制器，所述PLC控制器分别连接两个所述气体质量流量控制器的控制电路，在线式气体分析仪对手套箱腔体内的气体浓度实时监测，PLC控制器根据实时监测的气体浓度信息，分别控制两个气体质量流量控制器对气体进行补充；
[0008]所述排气组件包括出气管路和单向阀，所述出气管路连通所述手套箱腔体，所述单向阀安装于所述出气管路上。
[0009]优选的，每路进气组件中还连通有恒压阀，所述恒压阀位于所述进气管路上气源和所述气体质量流量控制器之间。
[0010]与现有技术相比本技术的有益效果在于：
[0011]1.本技术操作简单，维护便捷；
[0012]2.取代原有设备补气功能可按设定要求进行混气；
[0013]3.本技术能按一定比例将一种气体混入并维持腔体该气体浓度的设备，通过气体质量流量控制器与多个电磁阀配合，可将该气体快速混入，并保持在设定的该气体浓度范围内，满足产品工艺需求。
附图说明
[0014]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术使用状态参考图。
具体实施方式
[0017]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0018]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0019]如图1所示，在一较佳实施例中，手套箱动态反馈混气系统,包括PLC控制器、在线式气体分析仪、至少两路结构相同的进气组件、手套箱腔体和排气组件，所述进气组件包括进气管路、气体质量流量控制器和电磁阀；
[0020]其中，在每路进气组件中：所述进气管路的首端连通气源，在所述进气管路上沿气流方向依次设置所述气体质量流量控制器和所述电磁阀，所述进气管路的末端连通所述手套箱腔体；
[0021]所述在线式气体分析仪的进气孔连通所述手套箱腔体，所述在线式气体分析仪的数据处理部件连接所述PLC控制器，所述PLC控制器分别连接两个所述气体质量流量控制器的控制电路，在线式气体分析仪对手套箱腔体内的气体浓度实时监测，PLC控制器根据实时监测的气体浓度信息，分别控制两个气体质量流量控制器对气体进行补充；
[0022]所述排气组件包括出气管路和单向阀，所述出气管路连通所述手套箱腔体，所述单向阀安装于所述出气管路上。
[0023]每路进气组件中还连通有恒压阀，所述恒压阀位于所述进气管路上气源和所述气体质量流量控制器之间。
[0024]如图2所述另一实施例中，其中一个气源为氦气，另一个气源为氮气，每个气源分别连通一路进气组件，另外，为了提高充气效率还在手套箱腔体连通有设有电磁阀的氮气快速充气管路，
[0025]氦气混合系统技术指标：
[0026]1.混和气体最大流量：200sml
[0027]2.He占比浓度：0％～10％vol
[0028]3.He分辨率：0.01％vol
[0029]4.He准确度：≤
±
3％FS
[0030]以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进、部件拆分或组合等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.手套箱动态反馈混气系统,其特征在于，包括PLC控制器、在线式气体分析仪、至少两路结构相同的进气组件、手套箱腔体和排气组件，所述进气组件包括进气管路、气体质量流量控制器和电磁阀；其中，在每路进气组件中：所述进气管路的首端连通气源，在所述进气管路上沿气流方向依次设置所述气体质量流量控制器和所述电磁阀，所述进气管路的末端连通所述手套箱腔体；所述在线式气体分析仪的进气孔连通所述手套箱腔体，所述在线式气体分析仪的数据处理部件连接所述PLC控制器，所述PL...

【专利技术属性】
技术研发人员：任思岩，杨凯骏，尹卫东，
申请(专利权)人：山西斯米咖科技有限公司，
类型：新型
国别省市：