一种多平台联动提效机构制造技术

本发明专利技术提供了一种多平台联动提效机构，包括探针台、至少两台测试机和控制系统；其中，所述控制系统包括一信号配置单元和一路径规划单元，所述信号配置单元独立设置，且分别与所述探针台和所述测试机之间通过GPIB连接，实现所述探针台与所述测试机之间的信号传输。通过设置一个独立的信号配置单元，使用GPIB端口将探针台和测试机互相通讯的信号信息收集到主控制板上，由主控芯片的程序模块将信号进行拆分和合并，可以更灵活的使用测试机配置；路径规划单元能够生成控制承载所述待测晶圆的所述探针台移动路径有关的路径策略，以控制所述探针台的载台执行所述路径策略，完成所述待测晶圆在不同位姿下移动，以提高测试的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种多平台联动提效机构
本专利技术涉及半导体测试设备领域，尤其涉及一种探针台信号配置用的多平台联动提效机构。
技术介绍
在集成电路测试中，通常都是一台测试机连接一台探针台进行测试。此时，测试机和探针台直接连接，通过两者原本的通讯协议互相通讯，测试机问一条信息，探针台回答一条信息，只能一对一访问。这种测试方式极大地限制了测试机的使用效率，且在测试时间和探针卡的布局上造成极大浪费。由于一台测试机配置的最大量是固定的，导致它所能支持的测试通道也是固定的，可是探针卡的测试端数量也相应的被限制，没有办法达到需求的最大数量。为了实现资源和配置的最大利用，某些特定测试机厂商会通过自己内部的程序改进和修正，实现厂商内部的某些特定型号测试机可以两台测试机连接在同一台探针台上。但这种方式的使用局限性很大，一般来说这种操作都是测试机厂商针对自己的相关型号测试实现的特殊配置，针对性较强，与其他测试机没有共同性，使用性比较局限。比如在授权公告号为CN103777131B的专利中，其公开了一种集成电路测试系统，其通过在一台探针台对应多台测试机的情况下，设置一分信号电路，分信号电路与测试机连接，传输探针台的测试信号；该专利中由探针台发出的信号为多路信号，而其公开的技术方案中分信号电路是通过反相器传输至译码器，然后通过译码器同时形成多个输出信号，并同时传输至测试机。由于最终传输至所述测试机的测试信号都是通过所述译码器形成的，且形成的测试信号的种类相同，因此，该专利中的所述集成电路测试系统往往只能用于相同配置的多台测试机的配合使用。换句话说，如果利用授权公告号为CN103777131B的技术方案，通过多台测试机同时对待测晶圆进行测试，则需要多台测试机的配置相同。此外，由于电导通所述待测晶圆于所述测试机的探针的位置无法移动，且所述待测晶圆上需要被测试的晶粒的数量远远大于所述探针的数量，因此，在测试的过程中，所述探针台上的载台需要带着所述待测晶圆不断地移动。而每台测试机在测试过程时，需要所述待测晶圆的保持的位姿是各不相同的，因此，承载所述待测晶圆的载台将待测晶圆从一个测试机的需要的位姿转换至另一个测试机所需要的测试位姿所需要的时间，决定着最终完成待测晶圆所需要的测试时间，也影响着测试的效率。授权公告号为CN103777131B的专利中虽然一台探针台能够连接多台测试机，但是探针台的载台在移动的过程中移动路径与探针台和单台测试机连接时的路径相同。其节约的时间仅仅是节约了所述待测晶圆在多台所述测试机上检测的上料时间。因此，基于上述技术问题，本领域技术人员致力于提供一种探针台信号配置用多平台联动提效机构，以解决前述问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种多平台联动提效机构，通过设置独立的信号转换系统将探针台与多台测试机的信号进行拆分、整合，以实现一探针台连接多台测试机。本专利技术还要解决的技术问题是提供一种多平台联动提效机构，其中所述多平台提效机构被设置能够提高待测晶圆的检测效率。本专利技术还要解决的技术问题是提供一种多平台联动提效机构，其中所述多平台提效机构还能够在多台测试机互联而对待测晶圆进行测试时，自动地规划承载所述待测晶圆的探针台移动的路径，以提高检测效率。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种多平台联动提效机构，包括一台探针台、至少两台测试机和控制系统；其中，所述控制系统包括一信号配置单元和一路径规划单元；其中所述信号配置单元独立设置，且分别与所述探针台和所述测试机之间通过GPIB连接，实现所述探针台与所述测试机之间的信号传输；其中所述路径规划单元包括一信息采集模块、一分析模块、一路径策略生成模块以及一控制模块；其中所述信息采集模块可被通信连接于所述信号配置单元、所述测试机和所述探针台，以采集需要为所述待测晶圆进行测试的所述测试机的数量、测试项和所述待测晶圆有关的数据，所述分析模块被可通信地连接于所述信息采集模块，用以接收所述信息采集模块采集的数据，形成有关确定各所述测试机的测试项中所共同需要的所述晶粒坐标、单独需要测试的所述晶粒的坐标与探针台的探针卡坐标位置有关的分析结果，所述路径策略生成模块被设置成根据所述分析模块形成的分析结果和预设的一阈值，生成控制承载所述待测晶圆的所述探针台移动路径有关的路径策略，所述控制模块被可通信地连接于所述测试机、所述探针台和所述路径策略生成模块，以控制所述探针台的载台执行所述路径策略生成模块生成的路径策略完成所述待测晶圆在不同位姿下移动，并控制所述测试机测试。进一步的，一个所述多平台联动提效机构中所述测试机的型号相同。进一步的，所述信号配置单元至少包括主控制板和所述GPIB端口，所述主控制板上设置有主控芯片，所述主控芯片与所述GPIB端口连接，控制所述GPIB端口接收和发送来自所述探针台和所述测试机的信号。进一步的，所述主控芯片至少包括信号接收模块、信号发送模块、信号拆分模块和信号整合模块；其中，所述信号接收模块和所述信号发送模块分别与所述GPIB端口连接，实现对来自所述探针台和所述测试机信号的接收和发送；所述信号拆分模块用于实现对来自所述探针台的信号进行拆分；所述信号整合模块用于实现对来自所述测试机的信号进行整合。进一步的，所述GPIB端口的数量至少设置三个，且所述GPIB端口的数量与所述探针台和所述测试机的数量之和相同。进一步的，所述信号拆分模块对来自所述探针台的信号进行拆分时，拆分后对应的每一个信号均相同。进一步的，所述信号拆分模块拆分的信号数量与所述测试机数量相同。进一步的，所述主控制板上还设置有与所述探针台和所述测试机对应的固定地址，以实现信号的发送和接收。进一步的，所述多平台联动提效机构的所述探针台和所述测试机上均设置有与所述信号配置单元上相对应的固定地址，以实现信号的发送和接收。进一步的，所述阈值被实施为所述探针台上承载所述晶圆的载台移动的最小次数。进一步的，所述阈值被实施为所述探针台上承载所述晶圆的载台最小总移动距离和最小总转动角度。通过实施上述本专利技术提供的多平台联动提效机构，具有如下技术效果：本技术方案通过设置一个独立的信号配置单元，使用GPIB端口将探针台和测试机互相通讯的信号信息收集到主控制板上，由主控芯片的程序模块将信号进行拆分和合并，可以更灵活了使用测试机配置；使得探针卡的测试端数量得以提升，更有效的利用的测试机和探针卡；同时测试时间大大缩短，有效的提升了产能。专利技术提供的多平台联动提效机构，还具有如下技术效果：在多台测试机互联为所述待测晶圆进行测试时，通过生成控制所述探针台承载所述待测晶圆的移动路径有关的路径策略，以控制所述探针台移动的路径，进而提高所述待测晶圆的检测效率。附图说明以下将结合附图对本专利技术的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本专利技术的目的、特征和效果。图1为本专利技术实施例中多平台联动提效机构结构示意图；图2是图1中信号拆分示意图。图3是控制系统的结构框图。图中：本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多平台联动提效机构，其特征在于，包括一台探针台、至少两台测试机和控制系统；其中，所述控制系统包括一信号配置单元和一路径规划单元；其中所述信号配置单元独立设置，且分别与所述探针台和所述测试机之间通过GPIB连接，实现所述探针台与所述测试机之间的信号传输；其中所述路径规划单元包括一信息采集模块、一分析模块、一路径策略生成模块以及一控制模块；其中所述信息采集模块可被通信连接于所述信号配置单元、所述测试机和所述探针台，以采集需要为待测晶圆进行测试的所述测试机的数量、测试项和所述待测晶圆有关的数据，所述分析模块被可通信地连接于所述信息采集模块，用以接收所述信息采集模块采集的数据，形成有关确定各所述测试机的测试项中所共同需要的晶粒坐标、单独需要测试的所述晶粒的坐标与探针台的探针卡坐标位置有关的分析结果，所述路径策略生成模块被设置成根据所述分析模块形成的分析结果和预设的一阈值，生成控制承载所述待测晶圆的所述探针台移动路径有关的路径策略，所述控制模块被可通信地连接于所述探针台、所述测试机和所述路径策略生成模块，以控制所述探针台的载台执行所述路径策略生成模块生成的路径策略，完成所述待测晶圆在不同位姿下移动，并控制所述测试机测试。/n...

【技术特征摘要】
1.一种多平台联动提效机构，其特征在于，包括一台探针台、至少两台测试机和控制系统；其中，所述控制系统包括一信号配置单元和一路径规划单元；其中所述信号配置单元独立设置，且分别与所述探针台和所述测试机之间通过GPIB连接，实现所述探针台与所述测试机之间的信号传输；其中所述路径规划单元包括一信息采集模块、一分析模块、一路径策略生成模块以及一控制模块；其中所述信息采集模块可被通信连接于所述信号配置单元、所述测试机和所述探针台，以采集需要为待测晶圆进行测试的所述测试机的数量、测试项和所述待测晶圆有关的数据，所述分析模块被可通信地连接于所述信息采集模块，用以接收所述信息采集模块采集的数据，形成有关确定各所述测试机的测试项中所共同需要的晶粒坐标、单独需要测试的所述晶粒的坐标与探针台的探针卡坐标位置有关的分析结果，所述路径策略生成模块被设置成根据所述分析模块形成的分析结果和预设的一阈值，生成控制承载所述待测晶圆的所述探针台移动路径有关的路径策略，所述控制模块被可通信地连接于所述探针台、所述测试机和所述路径策略生成模块，以控制所述探针台的载台执行所述路径策略生成模块生成的路径策略，完成所述待测晶圆在不同位姿下移动，并控制所述测试机测试。


2.如权利要求1所述的多平台联动提效机构，其特征在于，一个所述多平台联动提效机构中所述测试机的型号相同。


3.如权利要求1所述的多平台联动提效机构，其特征在于，所述信号配置单元至少包括主控制板和所述GPIB端口，所述主控制板上设置有主控芯片，所述主控芯片与所述GPIB端口连接，控制所述GPIB端口接收和发送来自所述探针台和所述测试机的信号。


4.如权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨栓，关姜维，刘栋栋，
申请(专利权)人：上海伟测半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31