本实用新型专利技术揭示了一种冷凝水隔绝装置及降温装置，所述冷凝水隔绝装置包括冷空气出口管道和风刀部件；冷空气出口管道通过连接件与风刀部件相连；风刀部件包括第一零部件和第二零部件；第一零部件与第二零部件相连；第二零部件通过连接件与冷空气出口管道连接；第一零部件上贯穿设有通风口；第二零部件上对应设置有通风口；通风口与冷空气出口管道连通。本实用新型专利技术能够防止冷凝水渗出滴到晶圆载台上，有效保证晶圆品质。效保证晶圆品质。效保证晶圆品质。
【技术实现步骤摘要】
一种冷凝水隔绝装置及降温装置
[0001]本技术涉及半导体设备领域，特别是涉及一种冷凝水隔绝装置及降温装置。
技术介绍
[0002]目前，现有的降温装置在晶圆载台上使用的过程中冷空气出口处通常会有冷凝水渗出，并且冷凝水会滴到晶圆载台上，容易造成晶圆污染，从而造成品质异常。并且，现有的降温装置的风刀部件仅由塑料材质简单构成，为较薄的一层，冷凝水产生的低温容易传导到风刀部件的外部，易结霜。
[0003]为此，亟需提出一种冷凝水隔绝装置及降温装置，以有效解决上述存在的问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提出一种冷凝水隔绝装置及降温装置，能够防止冷凝水渗出滴到晶圆载台上，有效保证晶圆品质。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供冷凝水隔绝装置，包括冷空气出口管道和风刀部件；
[0006]所述冷空气出口管道通过连接件与所述风刀部件相连；
[0007]所述风刀部件包括第一零部件和第二零部件；所述第一零部件与所述第二零部件相连；所述第二零部件通过所述连接件与所述冷空气出口管道连接；
[0008]所述第一零部件上贯穿设有通风口；所述第二零部件上对应设置有所述通风口；所述通风口与所述冷空气出口管道连通。
[0009]进一步的，所述冷空气出口管道的侧壁设有压缩空气入口。
[0010]进一步的，所述冷空气出口管道采用铁氟龙管道。
[0011]进一步的，所述第一零部件和所述第二零部件均采用硅胶材质。
[0012]进一步的，所述第一零部件和第二零部件的截面均为圆形结构。
[0013]进一步的，所述第二零部件的直径尺寸大于所述第一零部件的直径尺寸。
[0014]此外，本技术还提出一种降温装置，包括如上述所述的冷凝水隔绝装置，还包括降温机本体；所述降温机本体一端设有冷空气出口；所述冷空气出口连通冷空气出口管道。
[0015]进一步的，所述降温机本体另一端设有热空气出口。
[0016]进一步的，还包括涡流管；所述涡流管一端与所述冷空气出口管道连通，另一端与所述热空气出口连通。
[0017]进一步的，所述涡流管一端通过可拆卸方式与所述冷空气出口管道连接。
[0018]通过上述技术方案，本技术具有如下有益效果：
[0019]通过冷空气出口管道和风刀部件的设置，以及所述冷空气出口管道通过连接件与所述风刀部件相连；所述风刀部件包括第一零部件和第二零部件；所述第一零部件与所述第二零部件相连；所述第二零部件通过所述连接件与所述冷空气出口管道连接；所述第一
零部件上贯穿设有通风口；所述第二零部件上对应设置有所述通风口；所述通风口与所述冷空气出口管道连通。能够避免冷凝水产生的低温传导至风刀部件的外部，从而避免出现结霜的现象。有效保证装置的稳定性。
[0020]另外，当将冷空气出口管道与降温装置中的冷空气出口连接时，通过冷空气出口管道采用铁氟龙管道。能够防止冷凝水渗出滴到晶圆载台上，有效保证晶圆品质。
附图说明
[0021]图1为本技术一实施例中冷凝水隔绝装置的结构示意图；
[0022]图2为本技术一实施例中降温装置的结构示意图。
具体实施方式
[0023]下面将结合附图对本技术的一种冷凝水隔绝装置及降温装置进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。
[0024]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0025]如图1
‑
图2所示，本技术实施例提出了一种冷凝水隔绝装置，包括冷空气出口管道1和风刀部件。
[0026]具体的，所述冷空气出口管道1通过连接件与所述风刀部件相连。所述冷空气出口管道1采用铁氟龙管道。
[0027]当将冷空气出口管道1与降温装置中的冷空气出口连接时，冷空气出口管道1采用铁氟龙管道。能够防止冷凝水渗出滴到晶圆载台上，有效保证晶圆品质。
[0028]优选的，铁氟龙管道采用管壁较厚的铁氟龙管道，能够更有效防止冷凝水渗出。
[0029]在本实施例中，所述冷空气出口管道1的侧壁设有压缩空气入口21。
[0030]在本实施例中，所述风刀部件包括第一零部件11和第二零部件12。
[0031]具体的，所述第一零部件11与所述第二零部件12相连；所述第一零部件11通过所述连接件与所述冷空气出口管道1连接。所述第一零部件11上贯穿设有通风口14；所述第二零部件12上对应设置有所述通风口14；所述通风口14与所述冷空气出口管道1连通。
[0032]其中，风刀部件为铁氟龙替换风刀，用于形成高强度冲击气流，提高降温效果。另外，第一零部件11与所述第二零部件12上均设有多个孔位13，保证气流的有效形成。
[0033]另外，在本实施例中，所述第一零部件11采用硅胶材质。以及所述第二零部件12采用硅胶材质，有利于吸附连接件。
[0034]通过第一零部件11和第二零部件12的设置，能够避免冷凝水产生的低温传导至风刀部件的外部，从而避免出现结霜的现象。有效保证装置的稳定性。
[0035]当铁氟龙管道采用截面为圆形结构的管道时，所述第一零部件11和第二零部件12的截面均为圆形结构。使得第二零部件12的侧壁更有效的贴紧连接件。
[0036]其中，所述第二零部件12的直径尺寸大于所述第一零部件11的直径尺寸。
[0037]此外，本实施例还提出一种降温装置，可继续参考图2所示，包括如上述所述的冷凝水隔绝装置，还包括降温机本体。
[0038]具体的，所述降温机本体一端设有冷空气出口；所述冷空气出口连通冷空气出口管道1。
[0039]在本实施例中，所述降温机本体另一端设有热空气出口2。
[0040]另外，在本实施例中，还包括涡流管20。具体的，所述涡流管20一端与所述冷空气出口管道1连通，另一端与所述热空气出口2连通。
[0041]进一步的，所述涡流管20一端通过可拆卸方式与所述冷空气出口管道1连接。扩大装置的适用范围。
[0042]在一具体示例中，可拆卸方式可以为螺丝22连接，本领域技术人员可知晓的是，在达到同样效果下，可拆卸方式还可以为本实施例以外的任一实施例。
[0043]在本实施方式中，当压缩空气由压缩空气入口21进入分解为冷热两种空气，热空气由上，冷空气由下，冷空气最低可到
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10度左右，冷空气从风刀部件导向晶圆载台，从而对晶圆载台上的晶圆进行降温操作。
[0044]综上所述，本技术提出的一种冷凝水隔绝装置及降本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷凝水隔绝装置，其特征在于，包括冷空气出口管道和风刀部件；所述冷空气出口管道通过连接件与所述风刀部件相连；所述风刀部件包括第一零部件和第二零部件；所述第一零部件与所述第二零部件相连；所述第二零部件通过所述连接件与所述冷空气出口管道连接；所述第一零部件上贯穿设有通风口；所述第二零部件上对应设置有所述通风口；所述通风口与所述冷空气出口管道连通。2.如权利要求1所述的冷凝水隔绝装置，其特征在于，所述冷空气出口管道的侧壁设有压缩空气入口。3.如权利要求1所述的冷凝水隔绝装置，其特征在于，所述冷空气出口管道采用铁氟龙管道。4.如权利要求1所述的冷凝水隔绝装置，其特征在于，所述第一零部件和所述第二零部件均采用硅胶材质。5.如权利要求1所述的冷凝水隔绝装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔帅涛，
申请(专利权)人：上海伟测半导体科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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