一种半导体测试机防呆装置制造方法及图纸

技术编号:39700820 阅读:9 留言:0更新日期:2023-12-14 20:34
本实用新型专利技术揭示了一种半导体测试机防呆装置,包括底部框架、对接把手、连杆结构、运动模块、固定模块以及防误碰固件。本实用新型专利技术通过设置防误碰固件,当测试机台正常工作时,通过把手拉动滑杆,使得滑杆向上运动,将把手旋转一定角度,使得卡块与卡槽错位,松开手,把手固定在螺纹管上,运动模块在固定模块上来回滑动,当测试机台停止工作时,轻轻拉动把手并旋转,使得卡块与卡槽的位置相对应,松开手,螺纹管内部弹簧的弹力将滑杆弹回固定装置上的固定槽内,此时,即使误触到对接把手,运动模块与固定模块无法发生相对运动,锁定整个装置,避免由于误触以及误操作机台的对接装置,造成测试针痕异常和跪针的问题。试针痕异常和跪针的问题。试针痕异常和跪针的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体测试机防呆装置


[0001]本技术涉及半导体领域,特别是涉及一种半导体测试机防呆装置。

技术介绍

[0002]半导体测试设备主要包括探针台、分选机、测试机等,其中测试功能由测试机实现。半导体测试机测试半导体器件的电路功能和电性能参数,具体参数涵盖直流参数(电压、电流)、交流参数(时间、占空比、总谐波失真、频率等)以及功能测试等。具体测试工作方式为:通过对芯片施加输入信号,采集被检测芯片的输出信号与预期值进行比较,从而判断芯片在不同工作条件下参数和功能的有效性。半导体测试机正常运作时,需要转动对接把手,通过测试机内部原理,使得测试头上测试针和针卡接触,进而对半导体芯片测试。在正常运行的测试机上,测试针和针卡接触后,对接把手停止转动,且在在机台无异常的情况下,对接把手应该一直处于锁定状态,不能转动。
[0003]在人员经过机台或工作人员修机时,容易出现误触对接把手或者错误地操作正在正常作业的机台,改变对接把手的位置,从而造成针卡跪针以及测试针痕异常等问题。
[0004]因此,亟需一种半导体测试机防误碰装置来解决以上问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于,提供一种半导体测试机防呆装置,以避免由于误触以及误操作机台的对接装置造成测试针痕异常和跪针等问题。为解决上述技术问题,本技术提供一种半导体测试机防呆装置,包括底部框架、对接把手、连杆结构、运动模块、固定模块以及防误碰固件;
[0006]所述对接把手与所述连杆结构的一端连接,所述连杆结构的另一端与所述运动模块连接,所述对接把手通过所述连杆结构带动所述运动模块运动;
[0007]所述运动模块包括滑板以及安装在所述滑板底部的滑块,所述滑板上开设有螺纹槽;
[0008]所述固定模块安装在所述运动模块的底部,所述固定模块的上开设有固定槽;
[0009]所述防误碰固件通过所述螺纹槽与所述固定槽活动安装在所述固定模块以及所述运动模块上,所述防误碰固件用于对所述运动模块进行锁紧以及解锁;
[0010]所述对接把手、所述连杆结构、所述运动模块、所述固定模块以及所述防误碰固件均安装在所述底部框架上。
[0011]进一步的,所述防误碰固件包括拉帽、滑杆以及螺纹管;
[0012]所述拉帽的底部安装有卡块;
[0013]所述螺纹管为中空结构,所述螺纹管的顶部开设有卡槽,所述卡槽的尺寸与所述卡块相适配;
[0014]所述滑杆安装于所述拉帽的底部,所述滑杆滑动安装在所述螺纹管的内部。
[0015]进一步的,所述防误碰固件还包括弹簧;所述弹簧的上端固定在所述螺纹管的内
部,所述弹簧的底端固定在所述滑杆上。
[0016]进一步的,所述弹簧位于所述螺纹管与所述滑杆之间间隙内。
[0017]进一步的,所述固定槽与所述滑杆底部大小相适配。
[0018]进一步的,所述螺纹槽与所述螺纹管相适配。
[0019]进一步的,所述连杆结构包括第一圆盘、第一连杆、第二圆盘以及第二连杆;
[0020]所述第一连杆的一端与所述第一圆盘连接,所述第一圆盘的另一端与所述第二圆盘连接,所述第二连杆的一端与所述第二圆盘连接,所述第二连杆的另一端与所述运动模块连接。
[0021]进一步的,所述对接把手安装于所述第一圆盘上。
[0022]进一步的,所述底部框架包括上层框架竖梁以及下层框架,所述竖梁安装于所述上层框架的底部,且安装于所述下层框架上,所述上层框架与所述下层框架通过所述竖梁连接。
[0023]进一步的,所述对接把手、所述连杆结构、所述运动模块、所述固定模块以及所述防误碰固件均安装在所述下层框架上。
[0024]相比于现有技术,本技术至少具有以下有益效果:
[0025]通过设置防误碰固件,首先利用防误碰固件上的螺纹管将防误碰固件固定在运动模块上,当测试机台正常工作时,通过把手拉动滑杆,使得滑杆向上运动,滑杆底部离开固定槽的同时,卡块离开卡槽,将把手旋转一定角度,使得卡块与卡槽错位,松开手,把手固定在螺纹管上,运动模块在固定模块上来回滑动,当测试机台停止工作时,轻轻拉动把手,将把手旋转一定角度,使得卡块与卡槽的位置相对应,松开手,螺纹管内部弹簧的弹力将滑杆弹回固定装置上的固定槽内,此时,及时误触到对接把手,运动模块与固定模块无法发生相对运动,锁定整个装置,避免由于误触以及误操作机台的对接装置,造成测试针痕异常和跪针的问题。
附图说明
[0026]图1为本技术测试机台整体的结构示意图;
[0027]图2为本技术测试机台运动模块的结构示意图;
[0028]图3为本技术测试机台固定模块的结构示意图;
[0029]图4为本技术半导体测试机防呆装置中防误碰固件锁紧时的结构示意图;
[0030]图5为本技术半导体测试机防呆装置中防误碰固件解锁时的结构示意图。
具体实施方式
[0031]下面将结合示意图对本技术的半导体测试机防呆装置进行更详细的描述,其中表示了本技术的优选实施例,应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术,而仍然实现本技术的有利效果。因此,下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道,而并不作为对本技术的限制。
[0032]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书,本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0033]半导体测试机正常运作时,需要转动对接把手,通过测试机内部原理,使得测试头上测试针(Tower pin)和针卡接触,进而对半导体芯片测试。在正常运行的测试机上,测试针和针卡接触后,对接把手停止转动,且在在机台无异常的情况下,对接把手应该一直处于锁定状态,不转动。然而在工作车间内,人员经过机台或工作人员修机时,容易出现误触对接把手或者错误地操作正在正常作业的机台,改变对接把手的位置,从而造成针卡跪针以及测试针痕异常等问题。
[0034]如图1

5所示,本技术实施例提出了一种半导体测试机防呆装置,包括底部框架5、对接把手4、连杆结构6、运动模块2、固定模块1以及防误碰固件3;所述对接把手4与所述连杆结构6的一端连接,所述连杆结构6的另一端与所述运动模块2连接,所述对接把手4通过所述连杆结构6带动所述运动模块2运动;所述运动模块2包括滑板6以及安装在所述滑板6底部的滑块7,所述滑板6上开设有螺纹槽8;所述固定模块1安装在所述运动模块2的底部,所述固定模块1的上开设有固定槽15。
[0035]所述防误碰固件3通过所述螺纹槽8与所述固定槽15活动安装在所述固定模块1以及所述运动模块2上,所述防误碰固件3用于对所述运动模块2进行锁紧以及解锁;所述对接把手4、所述连杆结构6、所述运动模块2、所述固定模块1以及所述防误碰固件3均安本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体测试机防呆装置,其特征在于,包括底部框架、对接把手、连杆结构、运动模块、固定模块以及防误碰固件;所述对接把手与所述连杆结构的一端连接,所述连杆结构的另一端与所述运动模块连接,所述对接把手通过所述连杆结构带动所述运动模块运动;所述运动模块包括滑板以及安装在所述滑板底部的滑块,所述滑板上开设有螺纹槽;所述固定模块安装在所述运动模块的底部,所述固定模块的上开设有固定槽;所述防误碰固件通过所述螺纹槽与所述固定槽活动安装在所述固定模块以及所述运动模块上,所述防误碰固件用于对所述运动模块进行锁紧以及解锁;所述对接把手、所述连杆结构、所述运动模块、所述固定模块以及所述防误碰固件均安装在所述底部框架上。2.如权利要求1所述的半导体测试机防呆装置,其特征在于,所述防误碰固件包括拉帽、滑杆以及螺纹管;所述拉帽的底部安装有卡块;所述螺纹管为中空结构,所述螺纹管的顶部开设有卡槽,所述卡槽的尺寸与所述卡块相适配;所述滑杆安装于所述拉帽的底部,所述滑杆滑动安装在所述螺纹管的内部。3.如权利要求2所述的半导体测试机防呆装置,其特征在于,所述防误碰固件还包括弹簧;所述弹簧的上端固定在所述螺纹管的内部,所述弹簧的底端固定在...

【专利技术属性】
技术研发人员:邢涛
申请(专利权)人:上海伟测半导体科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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