真空泵、定子柱、基部及真空泵的排气系统技术方案

提供高精度且以低成本测定旋转部的温度的真空泵、真空泵的定子柱、基部及真空泵的排气系统。本实施方式的真空泵在冲洗气体的流路，在温度传感器单元的下游侧设置使冲洗气体的一部分向温度传感器单元侧逆流的螺纹槽式密封件，提高温度传感器单元附近的冲洗气体的压力。通过这样地设置，借助少量的冲洗气体，能够使温度传感器单元周围的气体压力为中间流或粘性流，能够抑制供给的冲洗气体的总量，结果，能够有助于成本下降。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵、定子柱、基部及真空泵的排气系统
本专利技术涉及真空泵、真空泵的定子柱、基部及真空泵的排气系统，更详细地，涉及将真空泵的旋转部的温度高精度且低成本地测定的构造。
技术介绍
真空泵的排气系统中，通过使旋转部高速旋转来进行排气。该真空泵的旋转部继续进行高速旋转，所以有其温度到达超过100度的高温的情况。这样旋转部呈高温的状态下，若使高速旋转进一步继续，则引起蠕变现象，旋转部的耐久性成为问题。从将这样的蠕变状态防范于未然的观点出发，需要将旋转部的温度测定・监视。此外，旋转部高速旋转，所以需要使用非接触式的温度传感器(温度传感器单元)来测定温度。图10是用于说明以往的真空泵的排气系统2000的图。以往的真空泵的排气系统2000具备的真空泵中，在定子柱2020的下游侧的外径部配设温度传感器单元2019来计量旋转圆筒体10的内径部的温度。专利文献1：WO2010/021307。专利文献2：日本特开平11-37087号。专利文献3：日本特许3201348号。专利文献1中记载了配设多个温度传感器来从各个温度传感器的温度差推定旋转翼(旋转部)的温度的方法。更详细地说，公开了如下方法：在形成于真空泵(涡轮分子泵)的旋转翼的内侧的冲洗气体的路径将温度传感器设置于两个部位，根据经由冲洗气体传递的热量所产生的温度差，推测旋转翼的温度。该测定方法的情况下，为了高精度地测定温度，温度传感器的周围的氛围希望冲洗气体为100%。这里，一般地，冲洗气体的流量为20sccm(1分钟20cc)左右，所以冲洗气体流动的速度(流速)小。例如，旋转翼的内径为200mm、冲洗气体的流路的宽度为5mm、压力为2Torr的情况下，冲洗气体的平均速度以每秒4cm左右的非常慢的流速流动。因此，在半导体制造装置等中使用的、热传导不好的工艺气体逆流的情况下，冲洗气体无法将该工艺气体推走(推回)。结果，有工艺气体混入温度传感器周围的情况。该情况下，气体的组成变化，由此，有基于温度传感器的测定误差增加的问题。另一方面，上述的半导体制造时那样地不将大量的气体用真空泵排气而像蒸镀作业时那样地气体的流量非常少的情况下，温度传感器周围的气体压力较低。该情况下，若温度传感器周围的冲洗气体的压力低，则不呈希望的粘性流而是中间流、分子流的状态。因此，有充分的热量未被传递而温度传感器的测定误差增加的问题。专利文献2中记载了如下技术：为了在气体的流量少所以气体压力低的情况下也得到传热量，通过表面涂层等提高被测定对象即旋转翼和温度传感器的一部分即受热部的双方的辐射率。但是，旋转翼的温度上升至最高150℃左右，但仅通过辐射传热无法得到充分的热量。结果，有温度传感器的测定精度变低的问题。此外，专利文献3中记载了如下技术：在旋转翼的下端设置旋转翼和固定部的间隙小的部分，通过向该间隙供给冲洗气体，防止工艺气体的侵入轴承附近。但是，该技术以防止工艺气体向轴承附近侵入为目的，关于温度传感器周围的气体成分的管理、使温度传感器的精度提高完全没有提及。但是，为了供给冲洗气体，需要继续使一定量的冲洗气体从冲洗气体供给装置流动。不得不购买的气体自身的价格及该气体的供给、控制的运转成本成为使用者的负担。
技术实现思路
因此，本专利技术中，目的在于将高精度地测定旋转部(旋转翼)的温度的真空泵、真空泵的定子柱、基部及真空泵的排气系统以低成本实现。技术方案1记载的专利技术中，提供一种真空泵，其特征在于，前述真空泵从连接的冲洗气体供给装置接受冲洗气体的供给，在被供给的冲洗气体的流路，配设有测定旋转部的温度的温度传感器单元，其特征在于，在配设有前述温度传感器单元的冲洗气体流路的下游侧，具备使前述冲洗气体的至少一部分向温度传感器单元侧逆流的螺纹槽式密封件。技术方案2记载的专利技术中，提供技术方案1所述的真空泵，其特征在于，前述真空泵具备容纳使前述旋转部旋转的电装部的定子柱、固定前述定子柱的基部，前述定子柱在前述冲洗气体流路的比前述温度传感器单元靠下游侧的至少一部分，具备比前述基部外径大而将冲洗气体的流路控制成一个方向的缩颈部。技术方案3记载的专利技术中，提供技术方案1所述的真空泵，其特征在于，前述真空泵具备容纳使前述旋转部旋转的电装部的定子柱、固定前述定子柱的基部，前述基部在前述冲洗气体流路的比前述温度传感器单元靠下游侧的至少一部分，具备比前述定子柱外径大而将冲洗气体的流路控制成一个方向的缩颈部。技术方案4记载的专利技术中，提供一种定子柱，其特征在于，前述定子柱是技术方案1所述的真空泵中容纳使前述旋转部旋转的电装部的定子柱，具备前述螺纹槽式密封件和将前述冲洗气体的流路控制成一个方向的缩颈部的某一方或双方。技术方案5记载的专利技术中，提供一种基部，其特征在于，前述基部是技术方案1所述的真空泵中将容纳使前述旋转部旋转的电装部的定子柱固定的基部，具备前述螺纹槽式密封件和将前述冲洗气体的流路控制成一个方向的缩颈部的某一方或双方。技术方案6记载的专利技术中，提供一种真空泵的排气系统，其特征在于，前述真空泵的排气系统具备真空泵、冲洗气体储存装置、冲洗气体供给装置，前述真空泵在冲洗气体流路配设测定旋转部的温度的温度传感器单元，在配设有前述温度传感器单元的冲洗气体流路的下游侧，具备使冲洗气体的至少一部分向温度传感器单元侧逆流的螺纹槽式密封件，前述冲洗气体储存装置储存由前述真空泵利用的冲洗气体，前述冲洗气体供给装置将储存于前述冲洗气体储存装置的前述冲洗气体向前述真空泵供给，至少在前述温度传感器单元测定前述旋转部的前述温度时，将前述冲洗气体向前述真空泵供给，前述冲洗气体满足在比前述温度传感器单元靠下游侧的至少一部分与由前述真空泵排出的排出气体逆流的流速相比前述冲洗气体的流速变快的量、或在前述温度传感器单元周围前述冲洗气体的压力为中间流或粘性流的量的某一方的条件。专利技术效果根据本专利技术，通过调整温度测定时供给的冲洗气体，能够将旋转部(旋转翼)的温度以低成本、高精度地测定。附图说明图1是用于说明本专利技术的各实施方式的真空泵的排气系统的图。图2是表示本专利技术的实施方式1的真空泵的概略结构例的图。图3是本专利技术的实施方式的螺纹槽式密封件的立体图。图4是表示本专利技术的实施方式2的真空泵的概略结构例的图。图5是表示本专利技术的实施方式3的真空泵的概略结构例的图。图6是表示本专利技术的实施方式4的真空泵的概略结构例的图。图7是用于说明配设于本专利技术的实施方式的真空泵的排气系统的冲洗气体供给装置的图。图8是用于说明配设于本专利技术的实施方式的真空泵的排气系统的冲洗气体供给装置的图。图9是用于关于本专利技术的实施方式的逆流速度进行说明的图。图10是用于说明现有技术的真空泵的图。具体实施方式(i)实施方式的概要在本实施方式中，真空泵的排气系统为，真空泵具有如以下(1)至(3)说明的那样的能够调整冲洗气体的流量的冲洗气体调整机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，从连接的冲洗气体供给装置接受冲洗气体的供给，在被供给的冲洗气体的流路，配设有测定旋转部的温度的温度传感器单元，其特征在于，/n在配设有前述温度传感器单元的冲洗气体流路的下游侧，具备使前述冲洗气体的至少一部分向温度传感器单元侧逆流的螺纹槽式密封件。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180627 JP 2018-1217631.一种真空泵，从连接的冲洗气体供给装置接受冲洗气体的供给，在被供给的冲洗气体的流路，配设有测定旋转部的温度的温度传感器单元，其特征在于，
在配设有前述温度传感器单元的冲洗气体流路的下游侧，具备使前述冲洗气体的至少一部分向温度传感器单元侧逆流的螺纹槽式密封件。


2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
具备容纳使前述旋转部旋转的电装部的定子柱、固定前述定子柱的基部，
前述定子柱在前述冲洗气体流路的比前述温度传感器单元靠下游侧的至少一部分，具备比前述基部外径大而将冲洗气体的流路控制成一个方向的缩颈部。


3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
具备容纳使前述旋转部旋转的电装部的定子柱、固定前述定子柱的基部，
前述基部在前述冲洗气体流路的比前述温度传感器单元靠下游侧的至少一部分，具备比前述定子柱外径大而将冲洗气体的流路控制成一个方向的缩颈部。


4.一种定子柱，其特征在于，
是权利要求1所述的真空泵中容纳使前述旋转部旋转的电装部的定子柱，
具备前述...

【专利技术属性】
技术研发人员：桦泽刚志，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP