涡轮分子泵和包括该分子泵的复合分子泵制造技术

本发明专利技术提供一种涡轮分子泵和包括该分子泵的复合分子泵，所述涡轮分子泵包括：壳体；定子部件，定子部件包括定子本体及在定子本体上间隔设置有环形的定子叶片排，且定子叶片排中叶片的第一端倾斜设置；转子部件，转子部件包括旋转轴、安装在旋转轴上的转子本体及在转子本体上间隔设置有环形的转子叶片排，转子叶片排中的叶片和定子叶片排中的叶片沿径向方式交替排布并具有一定间隙以形成压缩气体的第一排气通道，朝向定子叶片排的转子本体表面沿径向方向向上倾斜；驱动部件，驱动部件的输出端与旋转轴连接以驱动转子本体转动。该涡轮分子泵在具有较高的压缩比和可靠性的同时，其结构紧凑以满足小型化的需求。

【技术实现步骤摘要】
涡轮分子泵和包括该分子泵的复合分子泵
本专利技术涉及分子泵
，尤其涉及一种涡轮分子泵和包括该分子泵的复合分子泵。
技术介绍
涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵，并且在工程实践中得到广泛的应用，例如航天航空、医疗设备、仪器仪表等。中国专利申请号为CN200880128619.3、专利技术名称为《涡轮分子泵》中记载，该涡轮分子泵包括交替地布置的转子和定子的多个节段，转子包括多个从旋转体呈放射状地延伸的叶片，定子包括多个朝旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片，其中，设置在转子或定子中的至少一个上的叶片形成为扭转叶片，通过其中将从旋转轴的半径作为变量的方程式来设定叶片的叶片角，并且叶片角的方程式包括第一方程式和第二方程式，所第一方程式为位于预定半径外的每个叶片提供最佳角度，第二方程式提供抑制气体分子在所预定半径内的反流的叶片角。在该涡轮分子泵中，扭转叶片外周的叶片角度在最佳的同时，也可以改善对叶片的内周处的气体分子的反流的抑制。然而，上述涡轮分子泵受到加工、装配精度等限制，其转子上的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涡轮分子泵，其特征在于，所述涡轮分子泵包括：/n壳体，所述壳体具有进气口和排气口；/n定子部件，设置在所述壳体内，所述定子部件包括定子本体及间隔设置在所述定子本体上的环形定子叶片排，且所述定子叶片排中叶片的第一端倾斜设置；/n转子部件，设置在所述壳体内，所述转子部件包括旋转轴、安装在所述旋转轴上的转子本体及间隔设置在所述转子本体上的环形转子叶片排，所述转子叶片排中的叶片和所述定子叶片排中的叶片沿径向方式交替排布并具有一定间隙以形成压缩气体的第一排气通道，朝向所述定子叶片排的所述转子本体表面沿径向方向向上倾斜；/n驱动部件，所述驱动部件的输出端与所述旋转轴连接以驱动所述转子本体转动。/n

【技术特征摘要】
1.一种涡轮分子泵，其特征在于，所述涡轮分子泵包括：
壳体，所述壳体具有进气口和排气口；
定子部件，设置在所述壳体内，所述定子部件包括定子本体及间隔设置在所述定子本体上的环形定子叶片排，且所述定子叶片排中叶片的第一端倾斜设置；
转子部件，设置在所述壳体内，所述转子部件包括旋转轴、安装在所述旋转轴上的转子本体及间隔设置在所述转子本体上的环形转子叶片排，所述转子叶片排中的叶片和所述定子叶片排中的叶片沿径向方式交替排布并具有一定间隙以形成压缩气体的第一排气通道，朝向所述定子叶片排的所述转子本体表面沿径向方向向上倾斜；
驱动部件，所述驱动部件的输出端与所述旋转轴连接以驱动所述转子本体转动。


2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述转子叶片排中的叶片在所述转子本体上具有20°-40°的倾角，且该倾角角度沿所述转子本体的径向方向逐渐减少。


3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述转子叶片排中叶片的弦长为1-2mm。


4.根据权利要求1-3任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述转子叶片排中叶片的第一端水平设置，且所述转子叶片排中的叶片长度沿所述转子本体的径向方向逐渐减小。


5.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述转子本体表...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢元华，谢天意，刘坤，郝明，陈树雷，
申请(专利权)人：东北大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21