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本发明提供一种涡轮分子泵和包括该分子泵的复合分子泵，所述涡轮分子泵包括：壳体；定子部件，定子部件包括定子本体及在定子本体上间隔设置有环形的定子叶片排，且定子叶片排中叶片的第一端倾斜设置；转子部件，转子部件包括旋转轴、安装在旋转轴上的转子本体...
该专利属于东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北大学授权不得商用。

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