真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子技术

提供能够提高真空泵的排气性能的真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子。一种真空泵的制造方法，对金属板实施切断加工及弯折加工，一体地形成定子（41），前述定子（41）具有位于外周侧端的外周边缘（45）、位于内周侧端的内周边缘（44）、位于外周边缘（45）及内周边缘（44）之间的定子翼（43）。定子翼（43）相对于外周边缘（45）的倾斜角度（θ）从定子翼（43）的内周侧端至外周侧端恒定，位于定子翼（43）的上游侧的定子翼侧端部（53C）的上游侧棱线（54）从定子翼（43）的内周侧端至外周侧端为直线，并且相对于配置与上游侧棱线（54）相向的转子翼（32）的下游侧端部的面（P1），轴向上的间隙（S）恒定。

【技术实现步骤摘要】
真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子
本专利技术涉及真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子。
技术介绍
半导体制造装置、液晶制造装置、电子显微镜、表面分析装置或微细加工装置等需要使装置内的环境为高度的真空状态。为了使这些装置的内部为高度的真空状态而使用真空泵。真空泵能够通过使转子翼相对于定子翼相对地旋转来将气体向外部排出，将上述的装置内保持为高真空。例如专利文献1中记载了如下方法：在板状的盘实施打孔来形成沿周向排列的定子翼，通过将定子翼立起的弯折加工来形成定子翼。专利文献1：日本特开2006-348935号公报。专利文献1所述的方法中，定子翼向轴向立起的长度(相当于尺寸T)为定子翼的内周侧与外周侧不同。因此，沿轴向排列的转子翼与定子翼之间的间隙在内周侧与外周侧不同。转子翼与定子翼之间的轴向上的间隙大的情况下，转子翼与定子翼之间发生气体的逆流，成为排气性能下降的要因。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而作出的，目的在于提供能够提高真空泵的排气性能的真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子。实现上述目的的本专利技术的真空泵的制造方法的一方案为，一种真空泵的制造方法，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，前述第1罩具有吸气口，前述第2罩具有排气口，前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，前述多个转子翼固定于前述转子的外周面或与前述转子的外周面一体地形成，前述定子在前述轴的轴向上与前述转子翼交替地配置，前述驱动部将前述轴旋转驱动，前述轴承将前述轴能够旋转地支承，前述真空泵的制造方法的特征在于，具有如下步骤：对金属板实施切断加工，由此将位于前述定子的外周侧端位置的外周边缘、位于前述定子的内周侧端的内周边缘、位于前述外周边缘及前述内周边缘之间的定子翼一体地形成，并且将作为前述定子的周向上的前述定子翼的端部的定子翼侧端部从前述定子翼的内周侧端至外周侧端直线状地形成；对前述金属板实施弯折加工，由此将前述定子翼弯折，使得前述定子翼相对于前述外周边缘的倾斜角度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为恒定；配置成，使位于前述定子翼的上游侧的前述定子翼侧端部的上游侧棱线从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为直线，且相对于配置与该上游侧棱线相向的前述转子翼的下游侧端部的面，前述轴向上的间隙为恒定。实现上述目的的本专利技术的真空泵的制造方法的其他方案为，一种真空泵的制造方法，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，前述第1罩具有吸气口，前述第2罩具有排气口，前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，前述多个转子翼固定于前述转子的外周面或与前述转子的外周面一体地形成，前述定子在前述轴的轴向上与前述转子翼交替地配置，前述驱动部将前述轴旋转驱动，前述轴承将前述轴能够旋转地支承，前述真空泵的制造方法的特征在于，具有如下步骤：对金属板实施切断加工，由此将位于前述定子的外周侧端位置的外周边缘、位于前述定子的内周侧端的内周边缘、位于前述外周边缘及前述内周边缘之间的定子翼一体地形成，并且将作为前述定子的周向上的前述定子翼的端部的定子翼侧端部从前述定子翼的内周侧端至外周侧端直线状或曲线状地形成；对前述金属板实施弯折加工，由此将前述定子翼弯折，使得前述定子翼相对于前述外周边缘的倾斜角度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端变化；配置成，使位于前述定子翼的上游侧的前述定子翼侧端部的上游侧棱线从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为曲线，且相对于配置与该上游侧棱线相向的前述转子翼的下游侧端部的面，前述轴向上的间隙为恒定。实现上述目的的本专利技术的真空泵的一方案为，一种真空泵，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，前述第1罩具有吸气口，前述第2罩具有排气口，前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，前述多个转子翼固定于前述转子的外周面或与前述转子的外周面一体地形成，前述定子在前述轴的轴向上与前述转子翼交替地配置，前述驱动部将前述轴旋转驱动，前述轴承将前述轴能够旋转地支承，前述真空泵的特征在于，前述定子具有位于前述定子的外周侧端的外周边缘、位于前述定子的内周侧端的内周边缘、位于前述外周边缘及前述内周边缘之间的定子翼，前述外周边缘、前述内周边缘及前述定子翼由金属板一体地形成，前述定子翼相对于前述外周边缘的倾斜角度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端恒定，位于前述定子翼的上游侧的定子翼侧端部的上游侧棱线从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为直线，并且相对于配置与该上游侧棱线相向的前述转子翼的下游侧端部的面，前述轴向上的间隙是恒定的。实现上述目的的本专利技术的真空泵的其他方案为，一种真空泵，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，前述第1罩具有吸气口，前述第2罩具有排气口，前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，前述多个转子翼固定于前述转子的外周面或与前述转子的外周面一体地形成，前述定子在前述轴的轴向上与前述转子翼交替地配置，前述驱动部将前述轴旋转驱动，前述轴承将前述轴能够旋转地支承，前述真空泵的特征在于，前述定子具有位于前述定子的外周侧端的外周边缘、位于前述定子的内周侧端的内周边缘、位于前述外周边缘及前述内周边缘之间的定子翼，前述外周边缘、前述内周边缘及前述定子翼由金属板一体地形成，前述定子翼相对于前述外周边缘的倾斜角度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端变化，位于前述定子翼的上游侧的定子翼侧端部的上游侧棱线从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为曲线，并且相对于配置与该上游侧棱线相向的前述转子翼的下游侧端部的面，前述轴向上的间隙是恒定的。实现上述目的的本专利技术的真空泵用的定子的一方案为，一种定子，前述定子用于真空泵，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，前述第1罩具有吸气口，前述第2罩具有排气口，前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，前述多个转子翼固定于前述转子的外周面或与前述转子的外周面一体地形成，前述定子在前述轴的轴向上与前述转子翼交替地配置，前述驱动部将前述轴旋转驱动，前述轴承将前述轴能够旋转地支承，前述定子的特征在于，前述定子具有位于前述定子的外周侧端的外周边缘、位于前述定子的内周侧端的内周边缘、位于前述外周边缘及前述内周边缘之间的定子翼，前述外周边缘、前述内周边缘及前述定子翼由金属板一体地形成，前述定子翼相对于前述外周边缘的倾斜角度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端恒定，位于前述定子翼的上游侧的定子翼侧端部的上游侧棱线从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为直线，并且相对于配置与该上游侧棱线相向的前述转子翼的下游侧端部的面，前述轴向上的间隙是恒定的。实现上述目的的本专利技术的真空泵用的定子的其他方案为，一种定子，前述定子用于真空泵，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，前述第1罩具有吸气口，前述第2罩具有排气口，前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，前述多个转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵的制造方法，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，/n前述第1罩具有吸气口，/n前述第2罩具有排气口，/n前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，/n前述多个转子翼固定于前述转子的外周面或与前述转子的外周面一体地形成，/n前述定子在前述轴的轴向上与前述转子翼交替地配置，/n前述驱动部将前述轴旋转驱动，/n前述轴承将前述轴能够旋转地支承，/n前述真空泵的制造方法的特征在于，具有如下步骤：/n对金属板实施切断加工，由此将位于前述定子的外周侧端位置的外周边缘、位于前述定子的内周侧端的内周边缘、位于前述外周边缘及前述内周边缘之间的定子翼一体地形成，并且将作为前述定子的周向上的前述定子翼的端部的定子翼侧端部从前述定子翼的内周侧端至外周侧端直线状地形成；/n对前述金属板实施弯折加工，由此将前述定子翼弯折，使得前述定子翼相对于前述外周边缘的倾斜角度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为恒定；/n配置成，使前述定子翼的位于上游侧的前述定子翼侧端部的上游侧棱线从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为直线，且相对于配置与该上游侧棱线相向的前述转子翼的下游侧端部的面，前述轴向上的间隙为恒定。/n...

【技术特征摘要】
20190710 JP 2019-1287981.一种真空泵的制造方法，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，
前述第1罩具有吸气口，
前述第2罩具有排气口，
前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，
前述多个转子翼固定于前述转子的外周面或与前述转子的外周面一体地形成，
前述定子在前述轴的轴向上与前述转子翼交替地配置，
前述驱动部将前述轴旋转驱动，
前述轴承将前述轴能够旋转地支承，
前述真空泵的制造方法的特征在于，具有如下步骤：
对金属板实施切断加工，由此将位于前述定子的外周侧端位置的外周边缘、位于前述定子的内周侧端的内周边缘、位于前述外周边缘及前述内周边缘之间的定子翼一体地形成，并且将作为前述定子的周向上的前述定子翼的端部的定子翼侧端部从前述定子翼的内周侧端至外周侧端直线状地形成；
对前述金属板实施弯折加工，由此将前述定子翼弯折，使得前述定子翼相对于前述外周边缘的倾斜角度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为恒定；
配置成，使前述定子翼的位于上游侧的前述定子翼侧端部的上游侧棱线从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为直线，且相对于配置与该上游侧棱线相向的前述转子翼的下游侧端部的面，前述轴向上的间隙为恒定。


2.一种真空泵的制造方法，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，
前述第1罩具有吸气口，
前述第2罩具有排气口，
前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，
前述多个转子翼固定于前述转子的外周面或与前述转子的外周面一体地形成，
前述定子在前述轴的轴向上与前述转子翼交替地配置，
前述驱动部将前述轴旋转驱动，
前述轴承将前述轴能够旋转地支承，
前述真空泵的制造方法的特征在于，具有如下步骤：
对金属板实施切断加工，由此将位于前述定子的外周侧端位置的外周边缘、位于前述定子的内周侧端的内周边缘、位于前述外周边缘及前述内周边缘之间的定子翼一体地形成，并且将作为前述定子的周向上的前述定子翼的端部的定子翼侧端部从内周侧端至外周侧端直线状或曲线状地形成；
对前述金属板实施弯折加工，由此将前述定子翼弯折，使得前述定子翼相对于前述外周边缘的倾斜角度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端变化；
配置成，使前述定子翼的位于上游侧的前述定子翼侧端部的上游侧棱线从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为曲线，且相对于配置与该上游侧棱线相向的前述转子翼的下游侧端部的面，前述轴向上的间隙为恒定。


3.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，
通过前述切断加工形成于前述金属板的狭缝孔的长度或宽度为前述金属板的板厚的0.2倍以上。


4.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，
通过前述切断加工形成于前述金属板的狭缝孔的角落部的曲率半径为0.2mm以上。


5.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，
通过前述切断加工形成于前述金属板的狭缝孔的前述定子的周向上的长度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端变大。


6.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，
通过前述切断加工形成于前述金属板的狭缝孔的前述定子的周向上的长度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端相等。


7.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，
通过前述切断加工形成于前述金属板的狭缝孔的前述定子的周向上的长度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端变小。


8.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，
通过前述切断加工形成于前述金属板的与前述外周边缘相邻的狭缝孔的前述定子的径向上的长度比前述外周边缘的前述径向上的长度小。


9.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，
通过前述切断加工形成于前述金属板的与前述内周边缘相邻的狭缝孔的前述定子的径向上的长度比前述内周边缘的前述径向上的长度小。


10.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，
通过前述切断加工形成于前述金属板的前述定子的将前述定子翼与前述外周边缘连结的外侧连结部的、前述定子的径向上的长度比前述外周边缘的前述径向上的长度小。


11.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，
通过前述切...

【专利技术属性】
技术研发人员：大立好伸，前岛靖，高阿田勉，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP