一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构制造技术

本实用新型专利技术涉及真空薄膜制备技术领域，尤其是一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构，其特征在于：所述顶片机构包括至少一个顶片装置，所述顶片装置包括间隔布置的若干顶杆和若干吸盘，其中每个所述顶杆分别连接有凸轮并且每个顶杆可在各自的所述凸轮的驱动下升降，各所述凸轮之间构成传动配合，每个所述吸盘分别连接有弹簧杆，所述弹簧杆可伸缩。本实用新型专利技术的优点是：实现基片安全、高效地揭取，保证基片在揭取操作时的安全性，避免基片发生破损，有效保障基片质量；机构整体结构简单合理，自动化程度高且各机构之间配合协调性好，有利于工业化生产，适于推广。

【技术实现步骤摘要】
一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构
本技术涉及真空薄膜制备
，尤其是一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构。
技术介绍
目前，镀膜设备要求，待成膜基片通过基板盘上的胶带固定贴在基板盘上，送入镀膜设备。成膜时，基片在高真空环境，温度200℃左右，且基片呈垂直状态作圆周运动。因此胶带与基片之间必须有相当的粘结力。成膜后，基板从镀膜设备中送出，此时，需要把基片从基板盘的胶带上揭下来。基片的厚度一般在0.2-1mm之间，易碎，变形量较大，一般揭片方式很难稳定安全地把基片揭取下来，容易在揭片过程中破坏基片。此外，在部分膜系镀膜时，还不允许基片正面与任务物体接触，进而加大了基片的揭取难度。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构，通过吸盘和顶杆的配合动作，实现对基片的稳定安全的揭取操作。本技术目的实现由以下技术方案完成：一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构，其特征在于：所述顶片机构包括至少一个顶片装置，所述顶片装置包括间隔布置的若干顶杆和若干吸盘，其中每个所述顶杆分别本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构，其特征在于：所述顶片机构包括至少一个顶片装置，所述顶片装置包括间隔布置的若干顶杆和若干吸盘，其中每个所述顶杆分别连接有凸轮并且每个顶杆可在各自的所述凸轮的驱动下升降，各所述凸轮之间构成传动配合，每个所述吸盘分别连接有弹簧杆，所述弹簧杆可伸缩。/n

【技术特征摘要】
1.一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构，其特征在于：所述顶片机构包括至少一个顶片装置，所述顶片装置包括间隔布置的若干顶杆和若干吸盘，其中每个所述顶杆分别连接有凸轮并且每个顶杆可在各自的所述凸轮的驱动下升降，各所述凸轮之间构成传动配合，每个所述吸盘分别连接有弹簧杆，所述弹簧杆可伸缩。


2.根据权利要求1所述的一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构，其特征在于：所述顶片装置连接有一驱动装置，所述顶片装置整体可在所述驱动装置的连接驱动下升降。


3.根据权利要求1所述的一种能实现稳定安全揭取基片的顶片机构，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈韶华，余海春，张洪，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31