一种耐高温多弧离子真空镀膜装置及其镀膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种耐高温多弧离子真空镀膜装置及其镀膜方法，包括基座，所述基座的上表面焊接有主壳体，所述主壳体的前表面底部的两侧分别固定连接有第一电机、第二电机，所述第一接轴、第二接轴分别焊接有第一连接杆、第二连接杆，所述第一连接杆的外表面焊接有右旋转壳体，所述第二连接杆的外表面焊接有左旋转壳体，所述主壳体的内侧壁焊接有第三电机，所述第三电机固定连接有转轴；过PLC控制器编程将所有电器元件导通，实现自动化控制与控热；蒸发器的馏分工艺，将镀膜材料在高温蒸汽情况下会产生化学性的热性气体分解成对人体健康无害的不凝气与水再将其排出；内部刀具与托盘配合，在工作过程中由PLC控制器编程定时去除镀膜材料结痂层。

【技术实现步骤摘要】
一种耐高温多弧离子真空镀膜装置及其镀膜方法
本专利技术涉及真空镀膜
，具体为一种耐高温多弧离子真空镀膜装置及其镀膜方法。
技术介绍
多弧离子镀膜器作为物理气相沉积技术的一个分支，是在真空蒸镀和真空溅射的基础上发展起来的一门新型涂层制备技术，也称为真空弧光蒸镀法，它把真空电弧放电用于电弧蒸发源。多弧离子镀膜机是一种高效的离子镀膜设备，具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。因此在材料表面改性领域得到了广泛应用。它既可以应用于涂敷硬质涂层，如切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等；也可以应用于涂敷防护涂层，如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。随着该装置的普及，相关技术问题也接踵而至——镀膜材料蒸汽工艺需要的环境为高温高压，在这种环境下很容易影响内部元件的使用寿命，而镀膜材料在高温蒸汽情况下会产生化学性的热性气体，如果使用简单的散热系统将其排出，容易对周围工作人员的健康造成影响。并且，镀膜材料蒸汽工艺时会将镀膜沉积到被镀物件的外表面，同时也会由于重力与离心力的影响，导致部分材料被溅射，沉积到镀膜机底部，随着时间的增加，机构内部会形成一层越累越厚的镀膜材料结痂层，这对设备的运转造成了影响。并且，现有技术的多弧离子镀膜器需要大量电机互相配合，因此通常需要配置一个配电柜，导致其接线与维修极其繁琐。为此，提出一种新型的耐高温多弧离子真空镀膜装置及其镀膜方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种耐高温多弧离子真空镀膜装置及其镀膜方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种耐高温多弧离子真空镀膜装置，包括基座，所述基座的上表面焊接有主壳体，所述主壳体的前表面底部的两侧分别固定连接有第一电机和第二电机，所述第一电机和第二电机的输出轴分别焊接有第一接轴和第二接轴，所述第一接轴和第二接轴分别焊接有第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆的外表面焊接有右旋转壳体，所述第二连接杆的外表面焊接有左旋转壳体，所述主壳体的内侧壁焊接有第三电机，所述第三电机的输出轴固定连接有转轴，所述主壳体、右旋转壳体和左旋转壳体的内侧壁均涂附有耐高温水性隔热保温涂料，所述主壳体的内侧壁中部固定连接有真空电弧放电器，所述主壳体的后表面焊接有后端盖，所述后端盖的外表面开设有出风口，所述后端盖的内侧壁固定连接有蒸发器。作为本技术方案的进一步优选的：所述基座的上表面固定连接有PLC控制器，所述PLC控制器的电性出端与第一电机、第二电机、第三电机、负压风机与排气扇的电性输入端电性连接。作为本技术方案的进一步优选的：所述第三电机的输出轴焊接有两个刀具连杆，所述刀具连杆的下表面焊接有传动轴，所述传动轴的下表面焊接有刀具基座作为本技术方案的进一步优选的：所述转轴的下表面铰接有第一托盘，所述转轴的下表面远离第一托盘的一侧铰接有第二托盘，所述第二托盘的上表面与下表面插接有刀具基座，所述刀具基座的外表面焊接有刀具。作为本技术方案的进一步优选的：所述主壳体的内侧壁焊接有密封板，所述密封板的前表面固定连接有六个负压风机。作为本技术方案的进一步优选的：所述蒸发器的靠近出风口的一侧固定连接有排气扇，所述蒸发器的进水口与排水口连通有两个冷凝管，所述后端盖的内侧壁固定连接有积水盘，所述积水盘的外表面开设有出水口。本专利技术还提供了一种耐高温多弧离子真空镀膜方法，包括以下步骤：S1、通过PLC控制器启动负压风机与排气扇互相反转，并计时，计时结束后，开始镀膜作业，PLC控制器控制第三电机启动，第三电机带动刀具连杆以及与其配合的传动轴与刀具基座运动，并由刀具贴合第二托盘的上表面进行旋转刮剔，去除镀膜材料结痂层；S2、负压风机由PLC控制器控制为相对于排气扇旋向相斥，加工所产生的高温被蒸发器所吸收，配合隔热涂层将设备形成耐高温的特性；将热性气体送至同时启动的蒸发器内部所开始馏分工艺，蒸发器将热气分解成对人体健康无害的不凝气与水后，不凝气由排气扇排送至出风口排出，水由重力原因低落会被积水盘所接受，并由外界接通水管至出水口，将水排出；S3、在设备不断电的情况下打开其内部并将镀膜件取出：通过PLC控制器进行控制，启动第一电机、第二电机将右旋转壳体和左旋转壳体旋转打开，在第一电机、第二电机启动的同时，PLC控制器将内部所有电器元件断开。作为本技术方案的进一步优选的：当所述设备内部发生故障或镀膜失误，通过PLC控制器进行控制急停，实现设备的整体断电保护。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：一、通过PLC控制器编程将所有电器元件导通形成智能自动化控制，每一次工序加工，负压风机与蒸发器排气扇首先互相反转，将设备内部形成真空状态；镀膜结束后二者旋向由PLC控制器控制为相斥，使得加工所产生的高温被蒸发器所吸收，配合隔热涂层将设备形成耐高温的特性，并且避免了传统镀膜装置需要配置专门配电柜且接线检修极其繁琐的现象，针对不同尺寸的加工件，只需要对程序进行简单调试即可适应。二、通过蒸发器的馏分工艺，将镀膜材料在高温蒸汽情况下会产生化学性的热性气体分解成对人体健康无害的不凝气与水再将其排出。三、通过内部刀具与托盘配合，在工作过程中由PLC控制器编程定时去除镀膜材料结痂层，在不影响工作的情况下消除此技术影响。本专利技术结构简单，满足经济性需求的同时解决了现有技术中的技术缺陷。附图说明图1为本专利技术的左旋转壳体与右旋转壳体展开的立体结构示意图；图2为本专利技术的立体结构示意图；图3为本专利技术的转轴与主壳体配合结构示意图；图4为本专利技术图3中A区局部放大结构示意图；图5为本专利技术图3中B区局部放大结构示意图；图6为本专利技术的密封板与负压风机结构配合示意图；图7为本专利技术的蒸发器与积水盘结构配合示意图；图8为本专利技术的蒸发器结构示意图；图9为本专利技术的另一视角立体结构示意图；图10为本专利技术的PLC控制器编程电路示意图；图11为本专利技术的PLC控制器电路图。图中：1、基座；2、主壳体；201、第一电机；202、第二电机；203、第一接轴；204、第二接轴；3、右旋转壳体；301、第一连接杆；4、转轴；401、刀具基座；402、刀具；403、传动轴；404、第一托盘；405、第三电机；406、第二托盘；407、刀具连杆；5、左旋转壳体；501、第二连接杆；6、负压风机；7、密封板；8、蒸发器；801、冷凝管；802、排气扇；9、后端盖；901、出风口；10、积水盘；1001、出水口；11、PLC控制器；12、耐高温水性隔热保温涂料；13、真空电弧放电器。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种耐高温多弧离子真空镀膜装置，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)的上表面焊接有主壳体(2)，所述主壳体(2)的前表面底部的两侧分别固定连接有第一电机(201)和第二电机(202)，所述第一电机(201)和第二电机(202)的输出轴分别焊接有第一接轴(203)和第二接轴(204)，所述第一接轴(203)和第二接轴(204)分别焊接有第一连接杆(301)和第二连接杆(501)，所述第一连接杆(301)的外表面焊接有右旋转壳体(3)，所述第二连接杆(501)的外表面焊接有左旋转壳体(5)，所述主壳体(2)的内侧壁焊接有第三电机(405)，所述第三电机(405)的输出轴固定连接有转轴(4)，所述主壳体(2)、右旋转壳体(3)和左旋转壳体(5)的内侧壁均涂附有耐高温水性隔热保温涂料(12)，所述主壳体(2)的内侧壁中部固定连接有真空电弧放电器(13)，所述主壳体(2)的后表面焊接有后端盖(9)，所述后端盖(9)的外表面开设有出风口(901)，所述后端盖(9)的内侧壁固定连接有蒸发器(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种耐高温多弧离子真空镀膜装置，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)的上表面焊接有主壳体(2)，所述主壳体(2)的前表面底部的两侧分别固定连接有第一电机(201)和第二电机(202)，所述第一电机(201)和第二电机(202)的输出轴分别焊接有第一接轴(203)和第二接轴(204)，所述第一接轴(203)和第二接轴(204)分别焊接有第一连接杆(301)和第二连接杆(501)，所述第一连接杆(301)的外表面焊接有右旋转壳体(3)，所述第二连接杆(501)的外表面焊接有左旋转壳体(5)，所述主壳体(2)的内侧壁焊接有第三电机(405)，所述第三电机(405)的输出轴固定连接有转轴(4)，所述主壳体(2)、右旋转壳体(3)和左旋转壳体(5)的内侧壁均涂附有耐高温水性隔热保温涂料(12)，所述主壳体(2)的内侧壁中部固定连接有真空电弧放电器(13)，所述主壳体(2)的后表面焊接有后端盖(9)，所述后端盖(9)的外表面开设有出风口(901)，所述后端盖(9)的内侧壁固定连接有蒸发器(8)。


2.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜装置，其特征在于：所述基座(1)的上表面固定连接有PLC控制器(11)。


3.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜装置，其特征在于：所述第三电机(405)的输出轴焊接有两个刀具连杆(407)，所述刀具连杆(407)的下表面焊接有传动轴(403)，所述传动轴(403)的下表面焊接有刀具基座(401)。


4.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜装置，其特征在于：所述转轴(4)的下表面铰接有第一托盘(404)，所述转轴(4)的下表面远离第一托盘(404)的一侧铰接有第二托盘(406)，所述第二托盘(406)的上表面与下表面插接有刀具基座(401)，所述刀具基座(401)的外表面焊接有刀具(402)。


5.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨雪，陈佃华，
申请(专利权)人：杨雪，
类型：发明
国别省市：山西;14