一种高压离子轰击的真空镀膜装置及其镀膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高压离子轰击的真空镀膜装置及其镀膜方法，包括底座，所述底座的上表面固定连接有主壳体，所述第一接轴和第二接轴的外表面分别焊接有第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆的外表面焊接有右旋转壳体，所述第二连接杆的外表面焊接有左旋转壳体，所述主壳体的内侧壁焊接有第三电机，所述第三电机的输出轴固定连接有旋转底座；通过PLC控制器编程将所有电器元件导通，实现自动化控制。通过蒸发器馏分，将镀膜材料产生化学性的热性气体分解成对人体健康无害的不凝气与水再将其排出。其中水可以在外界提炼后循环利用，不凝气由导气管导入进设备内部提供部分热量与压力，作为废物利用。

【技术实现步骤摘要】
一种高压离子轰击的真空镀膜装置及其镀膜方法
本专利技术涉及真空镀膜装置
，具体为一种高压离子轰击的真空镀膜装置及其镀膜方法。
技术介绍
高压离子真空镀膜器作为物理气相沉积技术的一个分支，是在真空蒸镀和真空溅射的基础上发展起来的一门新型涂层制备技术。它是一种高效、无害、无污染的离子镀膜设备，具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。因此在材料表面改性领域得到了广泛应用。它既可以应用于涂敷硬质涂层，如切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等；也可以应用于涂敷防护涂层，如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。随着该装置的普及，相关技术问题也接踵而至——镀膜材料离子真空镀膜工艺需要的环境为高温高压，如果温度变化则可能造成镀膜工艺不良；而镀膜材料在高温蒸汽情况下会产生化学性的热性气体虽然可以满足装置的热量需求，但由于其是有一定毒性的化学性气体，在其产生后就必须将其排出，避免涂敷在镀膜装置上影响人体健康，但是如果使用简单的散热系统将其排出，容易对周围工作人员的健康造成影响。并且，现有技术的高压离子真空镀膜器需本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高压离子轰击的真空镀膜装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有主壳体(2)，所述主壳体(2)的前表面底部的两侧分别固定连接有第一电机(301)和第二电机(1501)，所述第一电机(301)和第二电机(1501)的输出轴分别焊接有第一接轴(303)和第二接轴(1503)，所述第一接轴(303)和第二接轴(1503)的外表面分别焊接有第一连接杆(302)和第二连接杆(1502)，所述第一连接杆(302)的外表面焊接有右旋转壳体(3)，所述第二连接杆(1502)的外表面焊接有左旋转壳体(15)，所述主壳体(2)的内侧壁焊接有第三电机(401)，所述第三电机(401)...

【技术特征摘要】
1.一种高压离子轰击的真空镀膜装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有主壳体(2)，所述主壳体(2)的前表面底部的两侧分别固定连接有第一电机(301)和第二电机(1501)，所述第一电机(301)和第二电机(1501)的输出轴分别焊接有第一接轴(303)和第二接轴(1503)，所述第一接轴(303)和第二接轴(1503)的外表面分别焊接有第一连接杆(302)和第二连接杆(1502)，所述第一连接杆(302)的外表面焊接有右旋转壳体(3)，所述第二连接杆(1502)的外表面焊接有左旋转壳体(15)，所述主壳体(2)的内侧壁焊接有第三电机(401)，所述第三电机(401)的输出轴固定连接有旋转底座(4)，所述旋转底座(4)的上表面开设有三个连接口(402)，所述连接口(402)的内侧壁固定连接有离子冲击棒(11)。


2.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜装置，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有PLC控制器(10)。


3.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜装置，其特征在于：所述离子冲击棒(11)的上表面固定连接有固定盘(12)。


4.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜装置，其特征在于：所述旋转底座(4)的上表面中部焊接有转轴(403)，所述转轴(403)的上表面固定连接有固定盘(12)。


5.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜装置，其特征在于：所述主壳体(2)的内侧壁焊接有风扇底座(6)，所述风扇底座(6)的内侧壁固定连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：张益明，刘宇，其他发明人请求不公开姓名，
申请(专利权)人：张益明，
类型：发明
国别省市：山西;14