一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置制造方法及图纸

技术编号:26961946 阅读:27 留言:0更新日期:2021-01-05 23:41
一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置,涉及人工晶体制备技术领域,本发明专利技术将动力源(1)设置在机械手(5)上,动力源的主轴与挂接在机械手上的旋转主轴(4)通过快接机构连接,这样就可以实现一个动力源驱动多个籽晶旋转盘的技术诉求,即采用一个上轴提拉系统,同时实现拉制多组硅芯的目的,本发明专利技术在修正由于高频线圈拉制孔内温度不一致导致硅芯椭圆,提高成品硅芯合格率的同时,还大大降低了设备的维保成本等,本发明专利技术具有结构简单,操作方便等特点,适合大范围的推广和应用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置
本专利技术涉及人工晶体制备
,尤其涉及一种快速取放装置,具体涉及一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置。
技术介绍
已知的,现有的硅芯炉一次可同时拉制五根硅芯,一炉次拉制三组共计十五根硅芯,即在上炉室的上端面设置料盘旋转电机,所述料盘旋转电机的动力输出轴连接料盘连接轴的上端,料盘连接轴的下端连接料盘,在所述料盘的左侧设有两个取料工位,在料盘的右侧设有两个放料工位,在料盘的前部设有软轴,所述软轴的上端连接设置在上炉室上端面的升降机构,软轴的下端连接机械手,在所述机械手的下面设有籽晶夹头。具体的拉制方法为在拉制前,首先在料盘左侧的取料工位上放置待用的籽晶夹头,在机械手的下面放置籽晶夹头,然后开始对炉室进行抽真空、充氩气、加热原料棒、拉制硅芯等,硅芯在拉制过程中,需要使用籽晶进行引晶,待引晶完成后进行硅芯的拉制;在此过程中,籽晶需要通过籽晶夹头夹持,待高频线圈将原料棒的端头局部融化成液体后,籽晶夹头带动籽晶下降直至穿过高频线圈的拉制孔插入原料棒上端的熔液内,然后通过籽晶夹头带动籽晶上升,此时籽晶带本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置,包括动力源(1)、旋转主轴(4)、机械手(5)、定位块(6)、空心轴(7)和快接机构,其特征是:所述旋转主轴(4)的下端连接籽晶旋转盘(8)的动力输入端,在旋转主轴(4)的外缘面套接空心轴(7),所述空心轴(7)的下端连接籽晶旋转盘(8),在空心轴(7)上端的外缘面设有向外延伸的挂接块(11),在挂接块(11)下方空心轴(7)的外缘面设有定位块(6),挂接块(11)挂接在机械手(5)上,所述机械手(5)的上面设有动力源(1),所述动力源(1)的主轴与旋转主轴(4)的上端通过快接机构连接形成所述的用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置,包括动力源(1)、旋转主轴(4)、机械手(5)、定位块(6)、空心轴(7)和快接机构,其特征是:所述旋转主轴(4)的下端连接籽晶旋转盘(8)的动力输入端,在旋转主轴(4)的外缘面套接空心轴(7),所述空心轴(7)的下端连接籽晶旋转盘(8),在空心轴(7)上端的外缘面设有向外延伸的挂接块(11),在挂接块(11)下方空心轴(7)的外缘面设有定位块(6),挂接块(11)挂接在机械手(5)上,所述机械手(5)的上面设有动力源(1),所述动力源(1)的主轴与旋转主轴(4)的上端通过快接机构连接形成所述的用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置。


2.根据权利要求1所述的用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置,其特征是:所述快接机构包括旋转横杆(3)和横杆传动套(12),所述横杆传动套(12)的上端连接动力源(1)的主轴,旋转横杆(3)设置在旋转主轴(4)的上端,所述旋转横杆(3)卡接在横杆传动套(12)下端头的卡槽内。


3.根据权利要求1所述的用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置,其特征是:所述快接机构的替换结构为快接机构包括传动套(21)和中间传动盘(22),所述传动套(21)的上端连接动力源(1)的主轴,在传动套(21)的外缘面设有中间传动盘穿孔(24),在中间传动盘穿孔(24)的底部设有空心轴穿孔(25),在中间传动盘穿孔(24)的底面设有至少一个主动键(23),中间传动盘(22)设置在旋转主轴(4)的上端,在所述中间传动盘(22)的下面设有至少一个传动键(27),所述传动键(27)与主动键(23)啮合实现动力传递。


4.根据权利要求1所述的用于使籽晶转动的籽晶夹头的快速取放装置,其特征是:所述快接机构的第二替换结构为快接机构包括主动齿轮(28)、从动齿轮(29)、机械手过渡套(30)、下过渡齿轮(31)、齿轮轴(32)和上过渡齿轮(33),在所述机械手过渡套(30)的上面设有动力源(1),在动力源(1)的主轴上套接主动齿轮(28),所述主动齿轮(28)与上过渡齿轮(33),所述上过渡齿轮(33)套接在齿轮轴...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘朝轩蔺红辉邵玮戚振华
申请(专利权)人:洛阳市自动化研究所有限公司
类型:发明
国别省市:河南;41

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