一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备制造技术

一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备，包括：柜体、原料气供应单元，混气配比单元、混气供应单元、控制显示操作单元和报警单元，原料气供应单元设于柜体内，混气配比单元入口端与原料气供应单元连接，混气供应单元与混气配比单元出口端连接，控制显示操作单元和报警单元与柜体连接。本实用新型专利技术与传统的管道直接传导的设备相比，通过现代化的电控手段达到监控、报警的作用，同时避免人工操作，提高生产安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备
本技术涉及一种特殊气体钢瓶充装领域，具体涉及一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备。
技术介绍
由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用许多特殊气体，其中对于一些混气的配比浓度要求较高，所以需要一台浓度精度较高的设备。且一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们特别重视且不可小看的。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备，包括：柜体、原料气供应单元，混气配比单元、混气供应单元、控制显示操作单元和报警单元，所述原料气供应单元设于柜体内，所述混气配比单元入口端与原料气供应单元连接，所述混气供应单元与混气配比单元出口端连接，所述控制显示操作单元和报警单元与柜体连接；其中，所述原料气供应单元，包括：入口隔离阀、调压阀、单向阀、压力表、气动隔离阀、吹扫气动隔离阀、过滤器、吹扫气入口隔离阀、气动微漏阀和入气管道，所述入口隔离阀包括：第一入口隔离阀和第二入口隔离阀，所述调压阀包括：第一调压阀和第二调压阀，所述压力表包括：第一压力表和第二压力表，所述气动隔离阀包括：第一气动隔离阀和第二气动隔离阀，所述吹扫气动隔离阀包括：第一吹扫气动隔离阀和第二吹扫气动隔离阀，所述过滤器包括：第一过滤器和第二过滤器，所述单向阀包括：第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀，所述入气管道包括：1％PH3/H2入气管道和H2入气管道，所述1％PH3/H2入气管道通过第一入口隔离阀与第一调压阀连接，所述H2入气管道通过第二入口隔离阀与第二调压阀连接，所述第一调压阀通过第一单向阀与第一压力表连接，所述第二调压阀与第二压力表连接，所述第一压力表与第一气动隔离阀连接，所述第二压力表与第二气动隔离阀连接，所述第一压力表与第一吹扫气动隔离阀和第一过滤器连接，所述第二压力表与第二吹扫气动隔离阀和第二过滤器连接，所述第一过滤器和第二过滤器与混气配比单元连接，所述第一吹扫气动隔离阀通过第二单向阀与气动微漏阀连接，所述第二吹扫气动隔离阀通过第三单向阀与气动微漏阀连接，所述气动微漏阀与供应单元压力传感器连接，所述气动微漏阀与吹扫气入口隔离阀连接，所述气动微漏阀、吹扫气动隔离阀、气动隔离阀和供应单元压力传感器受控于微处理器；所述混气配比单元包括：混气入口隔离阀、混气压力传感器、浓度分析仪、混气配比气动隔离阀、质量流量控制器、混气配比器、混气配比调压阀、混气出口隔离阀和抽真空隔离阀，所述混气入口隔离阀包括：第一混气入口隔离阀和第二混气入口隔离阀，所述混气压力传感器包括：第一混气压力传感器和第二混气压力传感器，所述混气配比气动隔离阀包括：第一混气配比气动隔离阀、第二混气配比气动隔离阀、第三混气配比气动隔离阀和第四混气配比气动隔离阀，所述质量流量控制器包括：第一质量流量控制器和第二质量流量控制器，所述第一混气入口隔离阀连接第一过滤器和第一混气压力传感器，所述第二混气入口隔离阀连接第二过滤器和第二混气压力传感器，所述浓度分析仪设于第一混气入口隔离阀和第一混气压力传感器之间，所述第一混气压力传感器与第一混气配比气动隔离阀连接，所述第二混气压力传感器与第二混气配比气动隔离阀连接，所述第一混气配比气动隔离阀与第一质量流量控制器连接，所述第二混气配比气动隔离阀与第二质量流量控制器连接，所述第一质量流量控制器与第三混气配比气动隔离阀连接，所述第二质量流量控制器与第四混气配比气动隔离阀连接，所述第三混气配比气动隔离阀和第四混气配比气动隔离阀连接混气配比器和混气配比调压阀，所述混气配比调压阀与混气出口隔离阀和抽真空隔离阀连接，所述混气出口隔离阀与混气供应单元连接，所述浓度分析仪、混气配比气动隔离阀、混气压力传感器、混气配比器受控于微处理器；所述混气供应单元包括：入口气动隔离阀、原料气入口隔离阀、混气供应单元出口隔离阀、备用口隔离阀、混气供应单元压力传感器、真空隔离阀、泵隔离阀、真空管路隔离阀、背压阀、直通隔离阀、真空气动隔离阀和真空发生器，所述入口气动隔离阀一端与混气出口隔离阀连接，所述入口气动隔离阀另一端与混气供应单元压力传感器连接，所述混气供应单元压力传感器与原料气入口隔离阀、混气供应单元出口隔离阀、备用口隔离阀和真空隔离阀连接，所述真空隔离阀与泵隔离阀和真空管路隔离阀连接，所述真空管路隔离阀与真空气动隔离阀、直通隔离阀和背压阀连接，所述直通隔离阀和背压阀与抽真空隔离阀连接，所述真空气动隔离阀与真空发生器连接。进一步，所述柜体包括：门、观察窗、电控箱体、电控箱门、混气配比单元控制器和差压表，所述门设于柜体下部，所述观察窗设于柜体上部，所述电控箱体设于柜体顶部，所述电控箱门与电控箱体连接，所述混气配比单元控制器和差压表设于电控箱体顶端。进一步，所述控制显示操作单元包括：微处理器和触摸屏，所述微处理器设于电控箱体上，所述触摸屏设于电控箱门上。进一步，所述报警单元包括：火焰探测器、差压开关和声光报警器，所述火焰探测器设置在柜体内，所述差压开关设于电控箱体上，所述声光报警器设于电控箱门上。本技术的有益效果：本技术与传统的管道直接传导的设备相比，通过现代化的电控手段达到监控、报警的作用，同时避免人工操作，提高生产安全性。附图说明：图1为本技术的原料气供应单元结构示意图。图2为本技术的混气配比单元结构示意图。图3为本技术的混气供应单元结构示意图。图4为柜体的结构示意图。附图标记：柜体100、门110、观察窗120、电控箱体130、电控箱门140、混气配比单元控制器150和差压表160。原料气供应单元200、入口隔离阀210、第一入口隔离阀211、第二入口隔离阀212、调压阀220、第一调压阀221和第二调压阀222。单向阀230、第一单向阀231、第二单向阀232、第三单向阀233、压力表240、第一压力表241、第二压力表242、气动隔离阀250、第一气动隔离阀251和第二气动隔离阀252。吹扫气动隔离阀260、第一吹扫气动隔离阀261、第二吹扫气动隔离阀262、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备，其特征在于，包括：柜体(100)、原料气供应单元(200)，混气配比单元(300)、混气供应单元(400)、控制显示操作单元(500)和报警单元(600)，所述原料气供应单元(200)设于柜体(100)内，所述混气配比单元(300)入口端与原料气供应单元(200)连接，所述混气供应单元(400)与混气配比单元(300)出口端连接，所述控制显示操作单元(500)和报警单元(600)与柜体(100)连接；/n其中，所述原料气供应单元(200)，包括：入口隔离阀(210)、调压阀(220)、单向阀(230)、压力表(240)、气动隔离阀(250)、吹扫气动隔离阀(260)、过滤器(270)、吹扫气入口隔离阀(280)、气动微漏阀(290)和入气管道(2100)，所述入口隔离阀(210)包括：第一入口隔离阀(211)和第二入口隔离阀(212)，所述调压阀(220)包括：第一调压阀(221)和第二调压阀(222)，所述压力表(240)包括：第一压力表(241)和第二压力表(242)，所述气动隔离阀(250)包括：第一气动隔离阀(251)和第二气动隔离阀(252)，所述吹扫气动隔离阀(260)包括：第一吹扫气动隔离阀(261)和第二吹扫气动隔离阀(262)，所述过滤器(270)包括：第一过滤器(271)和第二过滤器(272)，所述单向阀(230)包括：第一单向阀(231)、第二单向阀(232)和第三单向阀(233)，所述入气管道(2100)包括：1％PH...

【技术特征摘要】
1.一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备，其特征在于，包括：柜体(100)、原料气供应单元(200)，混气配比单元(300)、混气供应单元(400)、控制显示操作单元(500)和报警单元(600)，所述原料气供应单元(200)设于柜体(100)内，所述混气配比单元(300)入口端与原料气供应单元(200)连接，所述混气供应单元(400)与混气配比单元(300)出口端连接，所述控制显示操作单元(500)和报警单元(600)与柜体(100)连接；
其中，所述原料气供应单元(200)，包括：入口隔离阀(210)、调压阀(220)、单向阀(230)、压力表(240)、气动隔离阀(250)、吹扫气动隔离阀(260)、过滤器(270)、吹扫气入口隔离阀(280)、气动微漏阀(290)和入气管道(2100)，所述入口隔离阀(210)包括：第一入口隔离阀(211)和第二入口隔离阀(212)，所述调压阀(220)包括：第一调压阀(221)和第二调压阀(222)，所述压力表(240)包括：第一压力表(241)和第二压力表(242)，所述气动隔离阀(250)包括：第一气动隔离阀(251)和第二气动隔离阀(252)，所述吹扫气动隔离阀(260)包括：第一吹扫气动隔离阀(261)和第二吹扫气动隔离阀(262)，所述过滤器(270)包括：第一过滤器(271)和第二过滤器(272)，所述单向阀(230)包括：第一单向阀(231)、第二单向阀(232)和第三单向阀(233)，所述入气管道(2100)包括：1％PH3/H2入气管道(2101)和H2入气管道(2102)，所述1％PH3/H2入气管道(2101)通过第一入口隔离阀(211)与第一调压阀(221)连接，所述H2入气管道(2102)通过第二入口隔离阀(212)与第二调压阀(222)连接，所述第一调压阀(221)通过第一单向阀(231)与第一压力表(241)连接，所述第二调压阀(222)与第二压力表(242)连接，所述第一压力表(241)与第一气动隔离阀(251)连接，所述第二压力表(242)与第二气动隔离阀(252)连接，所述第一压力表(241)与第一吹扫气动隔离阀(261)和第一过滤器(271)连接，所述第二压力表(242)与第二吹扫气动隔离阀(262)和第二过滤器(272)连接，所述第一过滤器(271)和第二过滤器(272)与混气配比单元(300)连接，所述第一吹扫气动隔离阀(261)通过第二单向阀(232)与气动微漏阀(290)连接，所述第二吹扫气动隔离阀(262)通过第三单向阀(233)与气动微漏阀(290)连接，所述气动微漏阀(290)与供应单元压力传感器(800)连接，所述气动微漏阀(290)与吹扫气入口隔离阀(280)连接，所述气动微漏阀(290)、吹扫气动隔离阀(260)、气动隔离阀(250)和供应单元压力传感器(800)受控于微处理器(510)；
所述混气配比单元(300)包括：混气入口隔离阀(310)、混气压力传感器(320)、浓度分析仪(330)、混气配比气动隔离阀(340)、质量流量控制器(350)、混气配比器(360)、混气配比调压阀(370)、混气出口隔离阀(380)和抽真空隔离阀(390)，所述混气入口隔离阀(310)包括：第一混气入口隔离阀(311)和第二混气入口隔离阀(312)，所述混气压力传感器(320)包括：第一混气压力传感器(321)和第二混气压力传感器(322)，所述混气配比气动隔离阀(340)包括：第一混气配比气动隔离阀(341)、第二混气配比气动隔离阀(342)、第三混气配比气动隔离阀(343)和第四混气配比气动隔离阀(344)，所述质量流量控制器(350)包括：第一质量流量控制器(351)和第二质量流量控制器(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘万，杨欣，江福荣，
申请(专利权)人：上海盛韬半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31