一种用于单晶硅片生产的烤箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体，所述箱体内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆，所述固定杆顶端之间活动设置有移动板，所述移动板顶端固定设置有放置板，所述放置板顶端两侧均固定设置有若干放置架，所述箱体外部右侧中部固定设置有加热机构，所述加热机构在远离箱体的一侧上端固定设置有连接管。本实用新型专利技术在对硅片进行加热烧烤时依次把硅片放置到安装在放置板顶端两侧的放置架之间，再同时启动加热机构和风机把加热机构内部的热量输送进箱体内部进行加热，且再通过滤框、管体把箱体内部的气流输送进风机内部，再通过风机把连接管、加热机构回流到箱体内部即可，这样便于减小箱体内部的热量流失从而减小加热成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅片生产的烤箱
本技术涉及单晶硅片
，具体为一种用于单晶硅片生产的烤箱。
技术介绍
单晶硅片，硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成；传统的一种用于单晶硅片生产的烤箱存在以下不足；目前，在对单晶硅片进行生产的过程中需要使用到烤箱，而现有的烤箱在使用时容易出现热量的流逝，容易增加生产成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于单晶硅片生产的烤箱，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体，所述箱体内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆，所述固定杆顶端之间活动设置有移动板，所述移动板顶端固定设置有放置板，所述放置板顶端两侧均固定设置有若干放置架，所述箱体外部右侧中部固定设置有加热机构，所述加热机构在远离箱体的一侧上端固定设置有连接管，所述连接管顶端固定设置有风机，所述箱体顶端固定设置有滤框，所述滤框顶端与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆（12），所述固定杆（12）顶端之间活动设置有移动板（11），所述移动板（11）顶端固定设置有放置板（10），所述放置板（10）顶端两侧均固定设置有若干放置架（8），所述箱体（1）外部右侧中部固定设置有加热机构（2），所述加热机构（2）在远离箱体（1）的一侧上端固定设置有连接管（3），所述连接管（3）顶端固定设置有风机（4），所述箱体（1）顶端固定设置有滤框（7），所述滤框（7）顶端与风机（4）之间固定设置有管体（5），所述风机（4）和加热机构（2）均配设有开关。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆（12），所述固定杆（12）顶端之间活动设置有移动板（11），所述移动板（11）顶端固定设置有放置板（10），所述放置板（10）顶端两侧均固定设置有若干放置架（8），所述箱体（1）外部右侧中部固定设置有加热机构（2），所述加热机构（2）在远离箱体（1）的一侧上端固定设置有连接管（3），所述连接管（3）顶端固定设置有风机（4），所述箱体（1）顶端固定设置有滤框（7），所述滤框（7）顶端与风机（4）之间固定设置有管体（5），所述风机（4）和加热机构（2）均配设有开关。


2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述固定杆（12）顶端均固定设置有滑条（16），所述移动板（11）底端前侧、...

【专利技术属性】
技术研发人员：王德喜，
申请(专利权)人：天津莱昌电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12