一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置制造方法及图纸

技术编号:26942751 阅读:48 留言:0更新日期:2021-01-05 20:52
本实用新型专利技术涉及一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置,包括石英管、涨紧环、圆螺母、保护隔套、支撑框架、螺栓、蝶形螺母、氟胶圈和密封套。保护隔套沉入密封套内,石英管依次穿过涨紧环和氟胶圈,然后插入密封套内,与保护隔套贴合。氟胶圈卡于密封套的斜凸台上,涨紧环凸台端面嵌入密封套内,螺栓依次穿过涨紧环的沉头孔和密封套的圆孔,用蝶形螺母锁紧。支撑框架套在密封套上,与密封套凸台限位贴合,并用圆螺母锁紧。本实用新型专利技术适用于超高纯锗提纯设备。优点,具有更好的密封性能,避免了石英管与变径管焊接处开焊,从而导致漏气的问题。连接处容易漏气的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置
本技术涉及探测器级的超高纯锗提纯设备,特别涉及一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置。
技术介绍
现代科学研究,国民经济很多领域均需要使用超高纯锗γ射线、x射线的辐射探测器极其能谱仪进行核辐射的探测,而用超高纯锗单晶制造的γ射线探测器是所有能量分辨率小于0.2%的γ射线探测器中分辨率最好的一种。这种探测器的锗单晶材料,其净杂质浓度必须小于2x1010cm-3。要想获得如此高纯度的锗单晶,在用通常化学方法提纯得到5~6个9的纯度的锗多晶之后还需采用特殊的区熔提纯方法得到探测器级锗多晶材料。区熔提纯方法需要用到超高纯锗区熔炉,通常超高纯锗区熔炉的密封结构采用石英管与变径管焊接方式,使得焊接处容易产生缝隙,造成漏气。此外,变径管与外部软管连接采用喉箍锁紧的方式,这种方式也容易造成漏气。漏气会使石英管中进入杂质气体如空气,影响提纯精度。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的问题,本技术提供一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置,采用氟胶圈和法兰组件进行密封,这种结构有很好的密封效果,解决了以前设备密封处容易漏本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置,包括石英管(101)、涨紧环(102)、圆螺母(103)、氟胶圈(104)、支撑框架(105)、螺栓(106)、蝶形螺母(107)、保护隔套(108)、和密封套(109),其特征在于:所述的涨紧环(102)为带凸台(102b)的空心法兰,在法兰(109g)一端的端面上有法兰沉头孔(102a);所述的保护隔套(108)为圆环状、外直径与密封套(109)有外螺纹(109a)一端的内径相配合,内径与石英管(101)的内径相等,所述的氟胶圈(104)为O型圈,氟胶圈(104)内径等于石英管(101)外径,氟胶圈(104)截面圆的直径约为涨紧环(102)的凸台(1...

【技术特征摘要】
1.一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置,包括石英管(101)、涨紧环(102)、圆螺母(103)、氟胶圈(104)、支撑框架(105)、螺栓(106)、蝶形螺母(107)、保护隔套(108)、和密封套(109),其特征在于:所述的涨紧环(102)为带凸台(102b)的空心法兰,在法兰(109g)一端的端面上有法兰沉头孔(102a);所述的保护隔套(108)为圆环状、外直径与密封套(109)有外螺纹(109a)一端的内径相配合,内径与石英管(101)的内径相等,所述的氟胶圈(104)为O型圈,氟胶圈(104)内径等于石英管(101)外径,氟胶圈(104)截面圆的直径约为涨紧环(102)的凸台(102b)端面外、内径之差的一半;所述的密封套(109)为一阶梯型空心管,一端有外螺纹(109a)、另一端为小空心管(109d),外螺纹(109a)前端面至底端有数个通孔的圆孔一(109h),在外螺纹后面的外壁面上有凸肩(109c),密封套(109)的内壁距外螺...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯硕春郭建同刘庆雷朝
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十六研究所
类型:新型
国别省市:天津;12

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