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本实用新型涉及一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置，包括石英管、涨紧环、圆螺母、保护隔套、支撑框架、螺栓、蝶形螺母、氟胶圈和密封套。保护隔套沉入密封套内，石英管依次穿过涨紧环和氟胶圈，然后插入密封套内，与保护隔套贴合。氟胶圈卡于密封套的斜凸台...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十六研究所授权不得商用。

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