物理量传感器、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供一种能够减少噪声的产生、且发挥出卓越的检测精度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：角速度检测元件(4)、加速度检测元件(3)、对加速度检测元件(3)的检测信号进行传输的接合引线(BY1)、位于角速度检测元件(4)与接合引线(BY1)之间并与固定电位连接的屏蔽部(7)。此外，角速度检测元件(4)和加速度检测元件(3)以在高度方向上错开的方式而被配置，并且在角速度检测元件(4)和加速度检测元件(3)之间配置有屏蔽部(7)的至少一部分。

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、电子设备以及移动体本申请为，申请号201610221727.1、申请日2016年4月11日、专利技术名称为物理量传感器、电子设备以及移动体的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。
技术介绍
例如，在专利文献1中，公开了一种将IC芯片、角速度检测元件、加速度检测元件重叠地收纳在封装件内所形成的复合传感器。然而，在像这样的结构中，存在有如下问题，即，角速度检测元件的驱动信号作为噪声而混入加速度检测元件的检测信号中，或者向IC芯片输入输出的数字信号作为噪声而混入加速度检测元件的检测信号中，从而导致检测精度降低的问题。专利文献1：日本特开2008-76264号公报。
技术实现思路
本专利技术的目的在于：提供一种能够降低噪声的产生而发挥卓越的检测精度的物理量传感器、电子设备以及移动体。本专利技术是为了解决上述的问题的至少一部分而形成的，且能够作为以下的应用例而实现。应用例1本应用例的一种物理量传感器的特征在于，具有：角速度检测元件；加速度检测元件；加速度检测信号配线，其对所述加速度检测元件的检测信号进行传输；屏蔽部，其位于所述角速度检测元件与所述加速度检测信号配线之间，并与固定电位连接。由此，能够获得减少了噪声的产生、且能够发挥出卓越的检测精度的物理量传感器。应用例2在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述角速度检测元件与所述加速度检测元件以在高度方向上错开的方式而被配置，在所述角速度检测元件与所述加速度检测元件之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。由此，能够进一步减少噪声的产生。应用例3在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述角速度检测元件与所述加速度检测元件以在与所述高度方向正交的方向上错开的方式而被配置，在所述角速度检测元件与所述加速度检测元件之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。由此，能够进一步减少噪声的产生。应用例4在本应用例的物理量传感器中，优选为，在对所述角速度检测元件的驱动信号进行传输的驱动信号配线以及对检测信号进行传输的角速度检测信号配线之中的至少一方、和与所述加速度检测元件连接的所述加速度检测信号配线之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。由此，能够进一步减少噪声的产生。应用例5在本应用例的物理量传感器中，优选为，在所述驱动信号配线以及所述角速度检测信号配线之中的至少一方、和对向所述加速度检测元件施加的载波进行传输的载波配线之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。由此，能够进一步减少噪声的产生。应用例6在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述物理量传感器具有：电路，其与所述角速度检测元件以及所述加速度检测元件电连接；数字配线，其与所述电路连接，并对数字信号进行传输；在所述数字配线与所述角速度检测元件之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。由此，能够进一步减少噪声的产生。应用例7在本应用例的物理量传感器中，优选为，在俯视观察时，相对于所述电路的中心而在一侧配置有所述加速度检测信号配线，在另一侧配置有所述数字配线。由此，能够进一步减少噪声的产生。应用例8在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述物理量传感器具有：支承基板，其对所述角速度检测元件进行支承，在所述支承基板上配置有所述屏蔽部。由此，装置的结构会变得更加简单。应用例9在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述物理量传感器具有：支承基板，其对所述角速度检测元件进行支承，所述屏蔽部被与所述支承基板分体配置。由此，屏蔽部的配置、形状的自由度会增加。应用例10本应用例的一种电子设备的特征在于，具有上述应用例的物理量传感器。由此，能够获得可靠性较高的电子设备。应用例11本应用例的一种移动体的特征在于，具有上述应用例的物理量传感器。由此，能够获得可靠性较高的移动体。附图说明图1为表示本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图2为图1中所示的物理量传感器的剖视图。图3为表示加速度检测元件的俯视图。图4为图3中所示的加速度检测元件的剖视图。图5为表示角速度检测元件的俯视图。图6为对图5中所示的角速度检测元件的工作进行说明的俯视图。图7为表示支承基板的俯视图。图8为表示IC的连接状态的俯视图。图9为表示本专利技术的第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图10为表示本专利技术的第三实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图11为图10中所示的物理量传感器的剖视图。图12为表示本专利技术的第四实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图13为图12中所示的物理量传感器的剖视图。图14为表示应用了本专利技术的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。图15为表示应用了本专利技术的电子设备的移动电话机(包括智能移动电话机、PHS等)的结构的立体图。图16为表示应用了本专利技术的电子设备的数码照相机的结构的立体图。图17为表示应用了本专利技术的电子设备的汽车的结构的立体图。具体实施方式以下，根据附图中所示的实施方式而对本专利技术的物理量传感器、电子设备以及移动体详细地进行说明。第一实施方式图1为表示本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图2为图1中所示的物理量传感器的剖视图。图3为表示加速度检测元件的俯视图。图4图3中所示的加速度检测元件的剖视图。图5为表示角速度检测元件的俯视图。图6为对图5中所示的角速度检测元件的工作进行说明的俯视图。图7为表示支承基板的俯视图。图8为表示IC的连接状态的俯视图。另外，以下为了便于说明，将图2中的上侧称为“上”，将下侧称为“下”。此外，将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。图1中所示的物理量传感器1具有封装件2、被收纳在封装件2中的加速度检测元件3、角速度检测元件4、IC(电路)5、支承基板6以及屏蔽部7。以下，对关于这些的各部件依次详细地进行说明。封装件首先，对封装件2进行说明。如图1所示，封装件2具有：具有在下表面上开口的凹部211的空腔状的基座21、以堵塞凹部211的开口的方式与基座21接合的板状的盖体22。这种封装件2具有通过使盖体22堵塞凹部211的开口而形成的内部空间S，并且在该内部空间S中收纳有加速度检测元件3、角速度检测元件4以及IC6。另外，内部空间S被气密性密封，从而成为减压状态(优选为真空状态)。虽然对于作为基座21的结构材料而未进行特别限定，但能够使用例如氧化铝等的各种陶瓷、玻璃材料、金属材料等。此外，虽然对于作为盖体22的结构材料而未进行特别限定，但可以为线膨胀系数与基座21的结构材料近似的部件。例如在将基座21的结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：/n角速度检测元件；/n加速度检测元件；/n加速度检测信号配线，其对所述加速度检测元件的检测信号进行传输；/n屏蔽部，其位于所述角速度检测元件与所述加速度检测信号配线之间，并与固定电位连接；/n电路，其与所述角速度检测元件以及所述加速度检测元件电连接；/n数字配线，其与所述电路连接，并对数字信号进行传输，/n在俯视观察时，相对于所述电路的中心而在一侧配置有所述加速度检测信号配线，在另一侧配置有所述数字配线，/n所述数字配线以对包含将所述检测信号转换成数字的信号而得到的输出信号在内的所述数字信号进行传输的方式被配置。/n

【技术特征摘要】
20150413 JP 2015-0814991.一种物理量传感器，其特征在于，具有：
角速度检测元件；
加速度检测元件；
加速度检测信号配线，其对所述加速度检测元件的检测信号进行传输；
屏蔽部，其位于所述角速度检测元件与所述加速度检测信号配线之间，并与固定电位连接；
电路，其与所述角速度检测元件以及所述加速度检测元件电连接；
数字配线，其与所述电路连接，并对数字信号进行传输，
在俯视观察时，相对于所述电路的中心而在一侧配置有所述加速度检测信号配线，在另一侧配置有所述数字配线，
所述数字配线以对包含将所述检测信号转换成数字的信号而得到的输出信号在内的所述数字信号进行传输的方式被配置。


2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，
所述角速度检测元件与所述加速度检测元件以在高度方向上错开的方式而被配置，
在所述角速度检测元件与所述加速度检测元件之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。


3.如权利要求1或2所述的物理量传感器，其中，
所述角速度检测元件与所述加速度检测元件以在与所述高度方向正交的方向上错开的方式而被配置，
在所述角速度检测元件与所述加速度检测元件之间配置有所述屏蔽部的至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：井出次男，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP