【技术实现步骤摘要】
精密陶瓷工作台
本技术涉及一种精密陶瓷工作盘，特别是涉及一种抗静电的精密陶瓷工作台。
技术介绍
精密陶瓷工作盘是一种吸附工件以便于进行加工的器具。精密陶瓷工作盘利用空气泵抽气而在多通孔精密陶瓷盘的工件吸附面上产生吸附工件的吸力。由此，使得工件的位置固定。空气泵也可以对精密陶瓷工作盘提供空气，而使得工件解除吸附甚至是悬浮在精密陶瓷工作盘上。然而，现有的精密陶瓷工作盘与工件的多次碰触所产生的静电难以消散，使得静电会逐渐累积而对工件造成静电放电(electrostaticdischarge，ESD)现象。静电放电会减损或破坏工件的特性，使得产品的质量、良率下降。
技术实现思路
因此，本技术的目的即在提供一种精密陶瓷工作台，能避免静电逐渐累积，从而避免静电放电。本技术为解决现有技术的问题所采用的技术手段提供一种精密陶瓷工作台，包含：底座，具有数个气体流道及贯通孔，各个该气体流道为空气连通于该贯通孔，该贯通孔贯通于该底座的上表面及下表面之间；抗静电多通孔精密陶瓷盘，设置于该底座的上表面，该抗静电多通孔精密陶瓷盘...
【技术保护点】
1.一种精密陶瓷工作台，其特征在于，包含：/n底座，具有数个气体流道及贯通孔，各个所述的气体流道为空气连通于所述的贯通孔，所述的贯通孔贯通于所述的底座的上表面及下表面之间；/n抗静电多通孔精密陶瓷盘，设置于所述的底座的上表面，所述的抗静电多通孔精密陶瓷盘具有数个通孔，各个通孔贯通于所述的抗静电多通孔精密陶瓷盘的上表面及下表面之间，数个所述的通孔连通于所述的气体流道而空气连通于空气泵，所述的抗静电多通孔精密陶瓷盘的上表面为工件吸附面。/n
【技术特征摘要】
1.一种精密陶瓷工作台，其特征在于，包含：
底座，具有数个气体流道及贯通孔，各个所述的气体流道为空气连通于所述的贯通孔，所述的贯通孔贯通于所述的底座的上表面及下表面之间；
抗静电多通孔精密陶瓷盘，设置于所述的底座的上表面，所述的抗静电多通孔精密陶瓷盘具有数个通孔，各个通孔贯通于所述的抗静电多通孔精密陶瓷盘的上表面及下表面之间，数个所述的通孔连通于所述的气体流道而空气连通于空气泵，所述的抗静电多通孔精密陶瓷盘的上表面为工件吸附面。
2.根据权利要求1所述的精密陶瓷工作台，其特征在于，所述的抗静电多通孔精密陶瓷盘为碳化硅陶瓷盘、磷酸铝陶瓷盘及氧化铝陶瓷盘的其中一种。
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