下载精密陶瓷工作台的技术资料

文档序号:26902562

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本实用新型涉及一种精密陶瓷工作台,包含:底座,具有数个气体流道及贯通孔,各个气体流道为空气连通于贯通孔,贯通孔贯通于底座;抗静电多通孔精密陶瓷盘,设置于底座的上表面,抗静电多通孔精密陶瓷盘具有数个通孔,各个通孔贯通于抗静电多通孔精密陶瓷盘,...
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