一种便携式电子散斑干涉仪光学头制造技术

技术编号：2689733 阅读：201 留言：0更新日期：2012-04-11 18:40

本实用新型专利技术将半导体激光器、光电转换器、成像透镜等基本部件，以及光栅错位器、特殊参考光漫射屏组装成一个整体光学头，便于携带和使用；参考光反射镜固定在被测物体近旁，保证了物、参光程自然一致，抗干扰性能好；本光学头结构合理，使用的光学元件少，成本低，体积小，重量轻，和任何图像处理器联合，可以兼有双光束干涉和剪切干涉两种精密测试功能。可不避光、不防震地用于现场测试；并具有相移功能，可做特殊精密测量。（*该技术在2002年保护过期，可自由使用*）

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【技术实现步骤摘要】

本技术属光电子领域，特别是涉及电子散斑干涉仪光学系统。现有电子散斑干涉仪的光学系统可分为双光束干涉和剪切干涉两类。前一类如美国新港(New Port)公司生产的HC－4010ESPI Optics Head，为使物光和参考光光程保持接近一致，用反射镜和棱镜组合通过机械机构调节，使用元件多；德国尤瑞德(Jurid)公司生产的电子散斑干涉仪光学头，是选用三根光纤，提供三个不同的固定参考光程，相应的物光光程就只有三种可能，使用不方便。这一类，参考光或物光必须通过半反射半透射棱镜，使两者以接近一致的方向进入接收器，因此光能损失一半以上；且由于物光从外部进入光学头，而参考光是在光学头内部传播，抗干扰能力差。后一类如美国《应用光学》(Applied Optics)(1979年18卷，1046－1050)报导的Y.Y.Hung研制的光学头，以光楔为错位器，在像平面上两个像的光强不易均衡，影响条纹反差；我国天津大学研制的错位器，是置于成像透镜组内部的渥拉斯顿棱镜，错位量不能任意改变，且成本高。以上两例实际上只是成像接收器，并未和激光器及其它光学元件组装在一起构成一个完整的光学头，因而不便现场使用。现有这两类光学头都不能兼有双光束干涉和剪切干涉两种功能。采用氦氖激光器时，装在光学头内部则体积太大，放在光学头外部成为分离式，则安装调试均不便。采用半导体激光器时，使用多个光学元件，使之准直再扩束，很繁复。总体结构复杂、元件多、体积大、重量重，携带、使用都不方便。本技术的目的在于克服现有电子散斑干涉仪光学头的上述缺点，提供一种结构简单，光路容易调整，抗干扰能力强，同...

【技术保护点】
一种电子散斑干涉仪光学头，基本部件包括半导体激光器（２）、反射镜（４）、成像透镜（３）和光电转换器（１）；所述光电转换器（１）固定于机壳底板（１０）上，成像透镜（３）固定于机壳前板（１３）上，二者位于同一成像光轴（１６）上；在半导体激光器光束（１８）经过的机壳前板（１３）上开有让光束出射的孔（１５），成像光轴（１６）经过的机壳前板（１３）上相应部位开有通光孔（１４）；其特征在于：１）半导体激光器（１）以可调俯仰的支架（１２）固定于成像透镜（３）近旁的机壳（１３）上；２）以光栅为错位器（５），以可切换并可沿成像光轴（１６）平移调节的机构（１１）固定于成像光路光轴（１６）上成像透镜（３）之前或成像透镜（３）与光电转换器（１）之间；３）在成像透镜（３）前置一可切换的参考光漫射屏（７）；４）只用一个反射镜作为参考光反射镜（４），相对固定于被测物体（８）近旁。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：伍小平，庞琳勇，张海波，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]

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