【技术实现步骤摘要】
紫外发光二极管外延片制备方法及外延片
本公开涉及到了发光二极管
，特别涉及到一种紫外发光二极管外延片制备方法及外延片。
技术介绍
紫外发光二极管是一种用于光固化的发光产品，常用于食物封口材料固化、医用胶固化等，紫外发光二极管外延片则是用于制备紫外发光二极管基础结构。紫外发光二极管外延片通常包括衬底及衬底上生长的外延层，外延层包括依次生长在衬底上的n型层、发光层及p型层。为了提高紫外发光二极管的发光效率，通常会在衬底远离外延层的一面上设置分布式布拉格反射镜，分布式布拉格反射镜将向下出射的光线进行反射，使更多的光线可以从外延片的正面出射。在衬底上生长分布式布拉格反射镜时，需要考虑分布式布拉格反射镜各层的层次与厚度分布，才能保证分布式布拉格反射镜具有良好的反射率，分布式布拉格反射镜的制备过程较为繁琐，紫外发光二极管整体的制备成本较高。
技术实现思路
本公开实施例提供了一种紫外发光二极管外延片制备方法及外延片，可以提高紫外发光二极管的发光效率的同时降低紫外发光二极管的制备成本。所述技术方案如下：本公...
【技术保护点】
1.一种紫外发光二极管外延片的制备方法，其特征在于，所述紫外发光二极管外延片的制备方法包括：/n提供一Al
【技术特征摘要】
1.一种紫外发光二极管外延片的制备方法，其特征在于，所述紫外发光二极管外延片的制备方法包括：
提供一Al2O3衬底，所述Al2O3衬底具有相互平行且相反的第一表面与第二表面；
在所述衬底的第一表面上生长n型层；
在所述n型层上生长发光层；
在所述发光层上生长p型层；
使用紫外光照射所述Al2O3衬底的第二表面直至所述Al2O3衬底的第二表面的粗糙度增加；
在所述Al2O3衬底的第二表面上生长反射层，所述反射层包括依次层叠在所述第二表面上的AlN层与Al层。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，使用紫外光照射所述Al2O3衬底的第二表面5～6h。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述紫外光的波长为180～250mm。
4.根据权利要求1～3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述紫外发光二极管外延片的制备方法还包括：
在所述Al2O3衬底的第二表面上生长AlN层之前，使用氮气处理所述Al2O3衬底的第二表面10～30min，使所述Al2O3衬底的第二表面附着一层氮原子。
5.根据权利要求1～3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述在所述衬底的第二表面上生长反射层，包括：
在所述Al2O3衬底的第二表面上依次溅射沉积得到AlN层与Al层，且在所述所述Al2O3衬底的第二表面上磁控溅射得到所述AlN层时，向反应腔内间歇性通入氩气，所述AlN层的磁控溅射温度为500～650℃。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，每次通入所述氩气的通入时间与两次通入所述氩气之间的间断时间比例为2...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘旺平，舒辉，张武斌，葛永晖，郭炳磊，刘春杨，梅劲，
申请(专利权)人：华灿光电苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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