【技术实现步骤摘要】
基于图的域选择算法来改善多样性的装置、方法和系统
本公开概括而言涉及计算系统的领域，更具体而言涉及层次化的基于图的域选择算法来改善多样性。
技术介绍
例如地理区域之类的感兴趣区域可被分割成多个小区域以便详细考查。例如，集成电路芯片可具有布置成各种图案的大量特征。例如扫描电子显微镜之类的成像工具可用于捕捉这种图案的图像来分析，以例如改善产率或者分析芯片的特性。一般而言，成像工具拍摄的图像的大小相对于芯片的面积可以非常小。
技术实现思路
根据本公开一个方面的一种装置，包括：存储器，来存储感兴趣区域的多个非重叠粗略域的标识；以及耦合到存储器的处理器。处理器：基于为多个粗略域确定的多个第一多样性度量选择所述多个粗略域的子集，其中每个第一多样性度量表示对于所述多个粗略域之一对于至少一个度量类型的值的多样性的测量；识别所述感兴趣区域的多个非重叠精细域，其中每个所述精细域是所述多个粗略域的选中子集的粗略域之一的一部分；基于为所述多个粗略域确定的多个第二多样性度量选择所述多个精细域的子集，其中每个第二多样性度量表示对于所述多个精...
【技术保护点】
1.一种装置，包括：/n存储器，来存储感兴趣区域的多个非重叠粗略域的标识；以及/n耦合到所述存储器的处理器，所述处理器：/n基于为所述多个粗略域确定的多个第一多样性度量选择所述多个粗略域的子集，其中每个第一多样性度量表示对于所述多个粗略域之一对于至少一个度量类型的值的多样性的测量；/n识别所述感兴趣区域的多个非重叠精细域，其中每个所述精细域是所述多个粗略域的选中子集的粗略域之一的一部分；/n基于为所述多个粗略域确定的多个第二多样性度量选择所述多个精细域的子集，其中每个第二多样性度量表示对于所述多个精细域之一对于所述至少一个度量类型的值的多样性的测量；并且/n提供对于所述多个...
【技术特征摘要】
20190629 US 16/457,9271.一种装置，包括：
存储器，来存储感兴趣区域的多个非重叠粗略域的标识；以及
耦合到所述存储器的处理器，所述处理器：
基于为所述多个粗略域确定的多个第一多样性度量选择所述多个粗略域的子集，其中每个第一多样性度量表示对于所述多个粗略域之一对于至少一个度量类型的值的多样性的测量；
识别所述感兴趣区域的多个非重叠精细域，其中每个所述精细域是所述多个粗略域的选中子集的粗略域之一的一部分；
基于为所述多个粗略域确定的多个第二多样性度量选择所述多个精细域的子集，其中每个第二多样性度量表示对于所述多个精细域之一对于所述至少一个度量类型的值的多样性的测量；并且
提供对于所述多个精细域的选中子集的指示。
2.如权利要求1所述的装置，其中所述感兴趣区域包括在布局数据库文件中表示的半导体芯片的一层或多层。
3.如权利要求1至2任一项所述的装置，其中提供对所述多个精细域的选中子集的指示包括向用于捕捉与所述多个精细域的选中子集相对应的多个图像的成像工具提供所述指示。
4.如权利要求1至3任一项所述的装置，其中所述处理器基于预算来选择所述多个精细域的子集，所述预算定义以下各项的至少一者：
可选择的精细域的数目的上限；或者
所述多个精细域的子集的多样性的量。
5.如权利要求1至4任一项所述的装置，其中所述处理器响应于选择第一精细域来包括在所述多个精细域的子集中，调整所述预算以考虑到对于选中的第一精细域的所述至少一个度量类型的值。
6.如权利要求1至5任一项所述的装置，其中所述至少一个度量类型包括至少一个多边形的关键尺寸。
7.如权利要求1至6任一项所述的装置，其中所述至少一个度量类型包括围绕至少一个锚定多边形的窗口的密度。
8.如权利要求1至7任一项所述的装置，其中所述至少一个度量类型包括相对于至少一个锚定多边形的邻域几何模式。
9.如权利要求1至8任一项所述的装置，其中选择所述多个精细域的子集包括，基于所述至少一个度量类型中的第一度量类型的值的多样性来选择所述精细域中的一个或多个，并且随后基于所述至少一个度量类型中的第二度量类型的值的多样性来选择一个或多个额外的精细域。
10.如权利要求1至9任一项所述的装置，其中对于所述多个精细域之一对于所述至少一个度量类型的值的多样性的测量是至少部分基于直方图的，该直方图包括对于所述多个精细域之一对于所述至少一个度量类型的不同值的计数。
11.一种方法，包括：
识别感兴趣区域的多个非重叠粗略域；
基于为...
【专利技术属性】
技术研发人员：比克拉姆·巴迪亚，普拉萨德·N·阿特卡尔，维韦克·K·辛格，穆德·阿什拉夫·阿拉姆，
申请(专利权)人：英特尔公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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