一种从半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法技术

本发明专利技术涉及一种从半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法，属于废液回收技术领域；二甲基亚砜废液来自半导体工业，首先将二甲基亚砜废液送入刮板膜蒸发器进行减压蒸发，除去颗粒物、光刻胶、碱；然后，再加入水进行混合后，送入间歇精馏塔釜，水与丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯共沸物，精塔顶首先得到丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯和水的混合物；再分别得到水和二甲基亚砜混合的过渡馏分、二甲基亚砜成品；本发明专利技术利用绿色、无害的水与杂质共沸的特点，去除高附加值废液中的多种杂质，从而达到废液资源综合利用的目的，具有较高的经济效益以及环保价值。

【技术实现步骤摘要】
一种从半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法
本专利技术涉及一种从半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法，属于废液回收

技术介绍
在半导体制造过程中大量使用丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯、二甲基亚砜作电子元件的清洗，清洗后产生含丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯、二甲基亚砜、水、碱、颗粒等的有机废液，需回收利用。丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯能够从该废液共同分离出来，回收大部分丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯，其进一步处理后可用作稀释剂，用于半导体制造过程中清除玻璃及硅片边缘和背面的多余光刻胶，也能够清除附着在设备上的颗粒。分离出丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯的有机废液主要含二甲基亚砜以及少量的丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯、光刻胶、碱、颗粒，该废液中二甲基亚砜含量高，回收利用价值大，因此亟需开发该二甲基亚砜废液的回收工艺。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的不足，提供了一种从半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法，以解决现有技术中存在的问题。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种半导体工业废液中回收二甲基亚本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法，其特征在于，包括如下步骤：将二甲基亚砜废液送入刮板膜蒸发器进行减压蒸发，再加入水进行混合后，送入间歇精馏塔釜进行减压精馏，依次采出丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯和水的混合物、水和二甲基亚砜混合的过渡馏分、二甲基亚砜成品。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法，其特征在于，包括如下步骤：将二甲基亚砜废液送入刮板膜蒸发器进行减压蒸发，再加入水进行混合后，送入间歇精馏塔釜进行减压精馏，依次采出丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯和水的混合物、水和二甲基亚砜混合的过渡馏分、二甲基亚砜成品。


2.根据权利要求1所述的一种半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法，其特征在于：步骤（1）中减压蒸发的绝对压力为1~2kPa。


3.根据权利要求1所述的一种半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法，其特征在于：步骤（2）中二甲基亚砜废液与水的质量比为1:0.5~1.5。
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【专利技术属性】
技术研发人员：仲超，宋太沧，倪建杰，施健，唐斌，
申请(专利权)人：雅邦绿色过程与新材料研究院南京有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32