折返式补锂设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种折返式补锂设备，包括补锂腔室及设于其内的放卷装置、收卷装置、导向轮组、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；导向轮组包括第一、第二导向轮，第一导向轮用于导向且使基片上第一侧表面的第一区域和第二区域相对设置，第二导向轮用于导向且使基片上第二侧表面的第三区域和第四区域相对设置；各组内的靶材安装机构的数量均为多个且沿基片的传输方向设置；其中有两个靶材安装机构组分别设于基片的第一区域和第二区域之间的位置、第三区域和第四区域之间的位置；基片加热机构包括加热安装机构及设于其上的加热片，加热安装机构设于各组内的相邻两个靶材安装机构之间，加热片用于对基片加热。

【技术实现步骤摘要】
折返式补锂设备
本技术涉及电池生产制造
，特别是涉及一种折返式补锂设备。
技术介绍
近年来，锂离子电池因具有高比容量、高电压平台、长循环寿命等优点，广泛应用于便携式电子3C设备、电动汽车、空间技术、生物医学工程、物流、国防军工等领域。为了追求锂离子电池更高的能量密度和高倍率特性，人们进行了很多研究。负极材料作为影响锂离子电池特性的关键因素之一，得到了广泛的研究。硅、氧化亚硅均是具有较高比容量的负极材料，然而在锂离子电池
，为了进一步改善负极材料的性能，需要对负极材料进行补锂。目前常用的补锂方法有撒锂粉方法、锂带压延方法和PVD预补锂方法等，对应的设备的补锂效率及补锂良率低下，无法满足大规模生产的需求。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能够提高补锂效率和质量的折返式补锂设备。一种折返式补锂设备，包括补锂腔室及设于所述补锂腔室内的放卷装置、收卷装置、导向轮组、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；所述放卷装置，用于放卷待补锂的基片；所述收卷装置，用于收卷补锂后的基片；所述导向轮组，设于所述放卷装置与所述收卷装置之间，所述导向轮组包括第一导向轮及第二导向轮，所述第一导向轮用于对所述基片的传输方向导向且使所述基片上第一侧表面的第一区域和第二区域相对设置，所述第二导向轮用于对所述基片的传输方向导向且使所述基片上第二侧表面的第三区域和第四区域相对设置，其中所述第二侧表面与所述第一侧表面分别为所述基片的两个侧表面；至少两个靶材安装机构组，设于所述放卷装置与所述收卷装置之间，各组内的所述靶材安装机构的数量均为多个且沿所述基片的传输方向设置；其中有两个靶材安装机构组分别设于所述基片的所述第一区域和所述第二区域之间的位置、所述第三区域和所述第四区域之间的位置，且该两个靶材安装机构组上用于安装双向溅射靶材；所述基片加热机构，包括加热安装机构及设于所述加热安装机构上的加热片，所述加热安装机构设于各组内的相邻两个所述靶材安装机构之间，所述加热片用于对所述放卷装置与所述收卷装置之间的基片加热。上述折返式补锂设备通过放卷装置放卷待补锂的基片，收卷装置收卷补锂后的基片，通过多个靶材安装机构的靶材对基片补锂，如此实现了基片的补锂工艺连续化，提高了补锂的效率。同时通过导向轮组导向使得基片的传输方向形成折返式，可以减小设备尺寸，且通过上述的两个靶材安装机构组上的双向溅射靶材实现对基片的两个侧表面同时进行补锂，进一步提高了补锂效率。进一步地，相邻两个靶材安装机构之间的加热片用于在镀膜同时对放卷装置与收卷装置之间的基片加热，可以使基片上的镀膜受热并保持在合适的温度，提高了基片的镀膜质量。在其中一些实施例中，所述加热安装机构为多个，各组内的每相邻两个所述靶材安装机构之间均设有所述加热安装机构。在其中一些实施例中，所述基片的两个侧表面均设有所述基片加热机构，设于所述基片的两个侧表面的基片加热机构一一对应设置。在其中一些实施例中，所述基片的两个侧表面均设有所述基片加热机构，设于所述基片的两个侧表面的基片加热机构错开设置。在其中一些实施例中，所述折返式补锂设备还包括阻隔机构及多个中频脉冲电源；各组内相邻的所述靶材安装机构两两组成一对，每个靶材安装机构对上的两个靶材与一个所述中频脉冲电源连接；所述阻隔机构设于所述补锂腔室内，且设于同一组内的相邻两对所述靶材安装机构之间。在其中一些实施例中，各组内的所述靶材安装机构的数量均为三个及三个以上；所述阻隔机构的数量为多个，各组内的任意相邻两对所述靶材安装机构之间均设有所述阻隔机构。在其中一些实施例中，所述阻隔机构为隔板，所述隔板的两个侧表面分别与相邻的两个所述靶材安装机构上的两个靶材相对设置。在其中一些实施例中，所述折返式补锂设备还包括腔室加热装置，所述腔室加热装置用于对所述补锂腔室进行加热。在其中一些实施例中，所述折返式补锂设备还包括：另外两个靶材安装机构组，其中有一个靶材安装机构组设于所述放卷装置与所述第一导向轮之间且位于所述基片的与所述第一区域相背的一侧，另一个靶材安装机构组设于所述第二导向轮与所述收卷装置之间且位于所述基片的与所述第四区域相背的一侧。在其中一些实施例中，所述折返式补锂设备还包括多个直流电源，每一所述直流电源与一个所述靶材安装机构上的一个靶材连接。附图说明图1为本技术一实施方式的折返式补锂设备的结构示意图；图2为本技术又一实施方式的折返式补锂设备的结构示意图；图3为本技术又一实施方式的折返式补锂设备的结构示意图；图4为本技术又一实施方式的折返式补锂设备的结构示意图。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1，本技术一实施方式提供了一种折返式补锂设备10，包括补锂腔室11及设于补锂腔室11内的放卷装置121、收卷装置122、导向轮组、两个靶材安装机构组及基片加热机构14。放卷装置121用于放卷待补锂的基片20。收卷装置122用于收卷补锂后的基片20。导向轮组，设于放卷装置121与收卷装置122之间。导向轮组包括第一导向轮1231及第二导向轮1232，第一导向轮1231用于对基片20的传输方向导向且使基片20上第一侧表面的第一区域和第二区域相对设置，第二导向轮1232用于对基片20的传输方向导向且使基片20上第二侧表面的第三区域和第四区域相对设置，其中第二侧表面与第一侧表面分别为基片20的两个侧表面。至少两个靶材安装机构组，用于安装补锂的靶材且设于放卷装置121与收卷装置122之间。各组内的靶材安装机构13的数量均为多个，且沿基片20的传输方向设置。其中，有两个靶材安装机构组分别设于基片20的第一区域和第二区域之间的位置、第三区域和第四区域之间的位置，且该两个靶材安装机构组上用于安装双向溅射靶材。基片加热机构14，包括加热安装机构及设于加热安装机构上的加热片，加热安装机构设于各组内的相邻两个靶材安装机构13之间，加热片用于对放卷装置121与收卷装置122之间的基片20加热。上述折返式补锂设备1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种折返式补锂设备，其特征在于，包括补锂腔室及设于所述补锂腔室内的放卷装置、收卷装置、导向轮组、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；/n所述放卷装置，用于放卷待补锂的基片；/n所述收卷装置，用于收卷补锂后的基片；/n所述导向轮组，设于所述放卷装置与所述收卷装置之间，所述导向轮组包括第一导向轮及第二导向轮，所述第一导向轮用于对所述基片的传输方向导向且使所述基片上第一侧表面的第一区域和第二区域相对设置，所述第二导向轮用于对所述基片的传输方向导向且使所述基片上第二侧表面的第三区域和第四区域相对设置，其中所述第二侧表面与所述第一侧表面分别为所述基片的两个侧表面；/n至少两个靶材安装机构组，设于所述放卷装置与所述收卷装置之间，各组内的所述靶材安装机构的数量均为多个且沿所述基片的传输方向设置；其中有两个靶材安装机构组分别设于所述基片的所述第一区域和所述第二区域之间的位置、所述第三区域和所述第四区域之间的位置，且该两个靶材安装机构组上用于安装双向溅射靶材；及/n所述基片加热机构，包括加热安装机构及设于所述加热安装机构上的加热片，所述加热安装机构设于各组内的相邻两个所述靶材安装机构之间，所述加热片用于对所述放卷装置与所述收卷装置之间的基片加热。/n...

【技术特征摘要】
1.一种折返式补锂设备，其特征在于，包括补锂腔室及设于所述补锂腔室内的放卷装置、收卷装置、导向轮组、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；
所述放卷装置，用于放卷待补锂的基片；
所述收卷装置，用于收卷补锂后的基片；
所述导向轮组，设于所述放卷装置与所述收卷装置之间，所述导向轮组包括第一导向轮及第二导向轮，所述第一导向轮用于对所述基片的传输方向导向且使所述基片上第一侧表面的第一区域和第二区域相对设置，所述第二导向轮用于对所述基片的传输方向导向且使所述基片上第二侧表面的第三区域和第四区域相对设置，其中所述第二侧表面与所述第一侧表面分别为所述基片的两个侧表面；
至少两个靶材安装机构组，设于所述放卷装置与所述收卷装置之间，各组内的所述靶材安装机构的数量均为多个且沿所述基片的传输方向设置；其中有两个靶材安装机构组分别设于所述基片的所述第一区域和所述第二区域之间的位置、所述第三区域和所述第四区域之间的位置，且该两个靶材安装机构组上用于安装双向溅射靶材；及
所述基片加热机构，包括加热安装机构及设于所述加热安装机构上的加热片，所述加热安装机构设于各组内的相邻两个所述靶材安装机构之间，所述加热片用于对所述放卷装置与所述收卷装置之间的基片加热。


2.如权利要求1所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述加热安装机构为多个，各组内的每相邻两个所述靶材安装机构之间均设有所述加热安装机构。


3.如权利要求2所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述基片的两个侧表面均设有所述基片加热机构，设于所述基片的两个侧表面的基片加热机构一一对应设置。


4.如权利要求2所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭志，张艳芳，虞文韬，
申请(专利权)人：维达力实业深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44