一种用于扫描探针显微镜的针尖与样品间距调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于扫描探针显微镜领域，是一种针尖与样品间距调节装置。其中的细调元件是一个步进马达。其稳定性、重复性十分良好，使用方便、使用寿命长、具有互换性，可用于各种类型的扫描探针显微镜（如：ＳＴＭ）中。（*该技术在2007年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于扫描探针显微镜领域。每一种扫描探针显微镜如STM包括三部分扫描头部、电子学控制系统、计算机软件系统。扫描头部包含针尖、样品台、扫描器和驱进型间距调节装置。其中的驱进型间距调节装置用于精细调节针尖与样品之间的间距。国际上比较多的驱进型间距调节装置是采用惯性移动技术，例如ZL92215769.3。这种惯性移动技术的稳定性和重复性较差，抗干扰能力亦差，加工难度大。最近亦有人采用步进马达与精密螺丝组合的驱进结构。该精密螺丝不是标准件，没有互换性，加工要求十分高，耐磨性差，使用寿命有限。如操作不当，就会卡住。参见Science242,209-216。本技术的目的是提供一种用于扫描探针显微镜的针尖与样品间距调节装置，操作方便，使用寿命长、零部件具有互换性，尤其是具有高稳定性、高重复性。本技术为了克服现有技术的缺点，采用了以下方案用单一部件代替组合部件构成驱进型间距调节装置。对比技术Science 242,209-216中采用步进马达与精密螺丝组合的方案，而本技术采用单一的步进马达标准件作驱进机构。本技术的技术方案中，用标准零部件代替非标准零部件，对比技术Science242,20本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于扫描探针显微镜的针尖与样品间距调节装置是由安装在连接平板上的两个螺旋测微头粗调元件（３、８）和一个细调元件组合而成的间距调节装置，其特征在于：其中的细调元件为一个步进马达（９）的间距调节装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡钧，孙洁林，徐耀良，李民乾，
申请(专利权)人：中国科学院上海原子核研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]