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中国科学院上海原子核研究所
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一种用于扫描探针显微镜的针尖与样品间距调节装置制造方法及图纸
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下载一种用于扫描探针显微镜的针尖与样品间距调节装置的技术资料
文档序号:2685940
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本实用新型属于扫描探针显微镜领域,是一种针尖与样品间距调节装置。其中的细调元件是一个步进马达。其稳定性、重复性十分良好,使用方便、使用寿命长、具有互换性,可用于各种类型的扫描探针显微镜(如:STM)中。...
该专利属于中国科学院上海原子核研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海原子核研究所授权不得商用。
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