【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及扫描探针显微镜，特别是一种与荧光倒置显微镜结合的模块化扫描探针显微镜。
技术介绍
扫描探针显微镜(以下简称SPM)是具有超高空间分辨率的表面测量仪器，使用方便，可进行纳米检测、操作和加工。大多数现有扫描探针显微镜都采用固定的结构，因此只适用于某些特定的应用，例如有的只适合小样品扫描，有的只适用于不透明样品检测。SPM与荧光倒置显微镜及三维扫描样品台的结合能够准确定位样品上的待扫描目标及针尖的位置，采用样品扫描针尖的方式可以在照明光斑很小的情况下保证针尖与照明光斑的高度重合，从而提高测试图像的对比度。物体的发光、物体的荧光标记、物体改变光特征的性质使光学显微镜成为生命科学和材料科学研究最重要的工具之一，而倒置显微镜是光学显微镜中功能最强大的显微镜，与SPM的结合将产生两者单独不能产生的功能。 在先技术结合光学显微镜的扫描探针显微镜(专利技术专利，专利号USA005850038A)中，如图1、图2所示整套装置由SPM测试元件114结合倒置光学显微镜130两部分组成。SPM测试元件114包括Z向扫描台116、位置探测系统118(包括激光光源120、...
【技术保护点】
一种模块化扫描探针显微镜，其特征在于它由五个模块组成：第一模块（１）为倒置荧光显微镜；第二模块（２）是三爪逼近装置，包括步进电机（２０１）、２个手动粗调结构（２０２）、照明发光二极管（２０３）和ＣＣＤ（２０４）；第三模块（３）是扫描头部，第四模块（４）包括透明样品台（４０１）和Ｘ、Ｙ、Ｚ三维扫描器（４０２）；第五模块（５）是激光显微扩展模块，包括第三反射镜（５０１）、分束镜（５０２）、第三透镜（５０３）、第一针孔（５０４）、第四透镜（５０５）、激光器（５０６）、第五透镜（５０７）、第二针孔（５０８）和ＰＭＴ探测器（５０９）；所述的第一模块（１）的ＣＣＤ摄像头（１０５）和物镜...
【技术特征摘要】
1.一种模块化扫描探针显微镜，其特征在于它由五个模块组成第一模块(1)为倒置荧光显微镜；第二模块(2)是三爪逼近装置，包括步进电机(201)、2个手动粗调结构(202)、照明发光二极管(203)和CCD(204)；第三模块(3)是扫描头部，第四模块(4)包括透明样品台(401)和X、Y、Z三维扫描器(402)；第五模块(5)是激光显微扩展模块，包括第三反射镜(501)、分束镜(502)、第三透镜(503)、第一针孔(504)、第四透镜(505)、激光器(506)、第五透镜(507)、第二针孔(508)和PMT探测器(509)；所述的第一模块(1)的CCD摄像头(105)和物镜系统(103)组合在一起，CCD摄像头(105)的输出信号供给监视器；第二模块(2)通过步进电机(201)及两个手动粗调结构(202)的轴端与第四模块(4)接触联结；第三模块(3)根据采用的扫描头部的不同而有所差别；第四模块(4)的X、Y、Z向三维平板扫描器(402)中间有方形通孔；透明样品台(401)通过粘接固定在X、Y、Z向三维平板扫描器(402)的方形通孔上方，再一起通过螺钉固定在第一模块(1)上；第一模块(1)的物镜系统(103)到探针针尖的距离等于第一模块(1)的工作距离，第一模块(1)的照明装置(101)、物镜系统(103)、样品和探...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵虹霞，徐文东，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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