差动滑行的单管扫描隧道显微镜主体装置制造方法及图纸

本发明专利技术扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的主体装置是采用差动滑行原理传动的。使探针或样品在预夹持力作用下做差动滑行，可进行探针与样品间距的精细调节，以产生所需大小的隧道电流。差动螺纹的尺寸误差不会带给滑动件，而只会按照给定的螺距之差精细传动。预夹持力使系统处于随遇稳定状态，易于调节。经实空下对石墨和二硫化钼的ＳＴＭ测试结果证明具有原子级分辨率，且重复性好。本装置易于制造，稳定性好，调节方便，便于自动控制，利于低温和真空下测试。（*该技术在2008年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是扫描隧道显微镜的新型主体装置。1982年IBM公司在苏黎世实验室的葛·宾尼博士和海·雷罗尔博士共同研制成功了世界第一台扫描隧道显微镜(STM)，由此荣获1986年诺贝尔物理奖。STM使人类第一次能够实时地观察到原子在物质表面的排列状态。这对表面科学等领域有着十分重大的意义，被认为是表面科学和表面分析技术的一次革命。所以它一问世立即得到了世界科技界的高度重视，其发展甚快。美国、西欧和日本等国的不少大学和公司积极地开展这一领域的研究。1986、1987、和1988年，分别在西班牙、美国和英国召开了三届扫描隧道显微学国际会议，一些公司已推出诸种STM商品仪器(参见附表)。截止1988年8月10日已发表文章650多篇，有关专利20项。从而推动了STM类仪器的制造与完善，活跃了人们对样品与探针距离逼近机构的寻求与研究。在已研制的各类STM的逼近机构中，有运用压电器件做蠕动爬行者(UnitedStatesPatent4.343.993)因加工困难，不稳定因素居多，而更多的是运用机械传动的逼近机构，如蜗轮付式(VG公司STM2000样本)，螺纹杠杆式，(Digital公司Nano本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）主体装置，其特征在于使用螺纹差动机构与直线滑行机构相结合的样品与探针间距精细调节装置，该装置包括差动滑行部件、自动控制驱动部件、样品台部件、探针台部件和施力元件五个部分，各部件的结构联接方式和操作方法如图１和图２所示。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈增波，白春礼，代长春，黄桂珍，朱传凤，罗常红，阮理科，
申请(专利权)人：中国科学院化学研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]