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本发明扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的主体装置是采用差动滑行原理传动的。使探针或样品在预夹持力作用下做差动滑行，可进行探针与样品间距的精细调节，以产生所需大小的隧道电流。差动螺纹的尺寸误差不会带给滑动件，而只会按照给定的螺距之差精细传动。预夹持力...
该专利属于中国科学院化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院化学研究所授权不得商用。

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