一种升降联动装置以及真空焊接设备制造方法及图纸

技术编号:26858343 阅读:17 留言:0更新日期:2020-12-29 12:32
本实用新型专利技术公开了一种升降联动装置以及真空焊接设备。升降联动装置包括:支撑结构,包括支撑座以及连接支撑座的载物架,载物架用于承托目标物;驱动结构,连接支撑座且用于驱动支撑座上升或下降,载物架随支撑座同步移动。阀门结构,包括隔热板,隔热板的一侧板面平行开口所确定的平面;以及杠杆结构,包括与机台板转动连接的轴连杆、滑动连接轴连杆一端的主动臂以及滑动连接轴连杆另一端的从动臂,主动臂连接支撑座并随支撑座同步移动以驱动轴连杆转动,并使轴连杆驱动从动臂上升或下降。本实用新型专利技术通过设置一个驱动结构而实现料片和隔热板的联动,节约成本,稳定性高。

【技术实现步骤摘要】
一种升降联动装置以及真空焊接设备
本技术涉及属于真空焊接
,尤其涉及一种升降联动装置以及真空焊接设备。
技术介绍
目前,在对半导体料片加热的过程中,半导体料片抬升机构与加热腔开口处的挡板门启闭机构分别由两个独立的驱动机构控制。即一个驱动机构驱动抬升机构使料片于加热腔内下降或上升;而另一个驱动机构驱动挡板门关闭开口或开启开口。其中,挡板门的开启或关闭,以电磁阀和气缸组合,或电机导轨机构组合为主。但是,设置两个独立的控制驱动机构,导致成本过高。而且气缸组合稳定性能差并噪音大,还受环境影响大,耐温性差,不宜应用在温度较高的工位。
技术实现思路
本技术实施例的目的在于提供一种升降联动装置,旨在解决如何降低升降联动装置的成本并提高其稳定性的问题。为实现上述目的,本技术采用的技术方案是:提供一种升降联动装置,与加热结构配合使用,其中,所述加热结构用于对目标物进行加热且包括机台板、设置于机台板上的发热块以及设有发热腔并连接所述机台板的机盖,所述发热腔具有开口,所述开口的朝向水平设置,所述发热块与所述目标物均位于所述发热腔,所述升降联动装置包括:支撑结构,包括支撑座以及连接所述支撑座的载物架,所述载物架用于承托所述目标物;驱动结构,连接所述支撑座且用于驱动所述支撑座上升或下降,所述载物架随所述支撑座同步移动,且所述载物架在下降过程中将所述目标物释放于所述发热块,并在上升过程中将所述目标物抬离所述发热块;阀门结构,包括隔热板,所述隔热板的一侧板面平行所述开口所确定的平面;以及>杠杆结构,包括与所述机台板转动连接的轴连杆、滑动连接所述轴连杆一端的主动臂以及滑动连接所述轴连杆另一端的从动臂,所述主动臂连接所述支撑座并随所述支撑座同步移动以驱动所述轴连杆转动,并使所述轴连杆驱动所述从动臂上升或下降,所述从动臂在上升过程中驱动所述隔热板关闭所述开口,并在下降过程中驱动所述隔热板打开所述开口。在一个实施例中,所述主动臂包括连接所述支撑座的主上导块、连接所述主上导块且开设有第一滑槽的主下导块、滑动设置于所述第一滑槽内的主轴承以及连接所述主轴承与所述轴连杆的第一转轴。在一个实施例中,所述从动臂包括连接所述隔热板的从上导块、连接所述从上导块且开设有第二滑槽的从下导块、滑动设置于所述第二滑槽内的从轴承以及连接所述从轴承与所述轴连杆的第二转轴。在一个实施例中,所述杠杆结构还包括连接所述机台板下表面的轴承座和一端连接所述轴连杆而另一端转动连接所述轴承座的第三转轴。在一个实施例中,所述驱动结构包括驱动器以及升降机构,所述升降机构包括底板、与所述底板相对设置的升降板、位于所述底板与所述升降板之间且转动连接所述底板的凸轮转轴以及连接所述凸轮转轴的主动轮,所述主动轮呈偏心轮设置,且所述主动轮抵接所述升降板朝下设置的板面,所述支撑座连接于所述升降板朝上设置的板面,所述驱动器用于驱动所述凸轮转轴旋转,以使所述主动轮带动所述升降板往复升降。在一个实施例中,所述升降板开设有通孔,所述升降机构还包括转接于所述升降板并于所述通孔处与所述主动轮抵接配合的随动轮;所述升降机构还包括用于引导所述升降板上下移动的导向组件,所述导向组件包括连接所述底板的导向柱和连接所述升降板并与所述导向柱配合的导向套。在一个实施例中,所述支撑座包括两间隔设置的支撑杆、均连接所述升降板的两高度调节座、两端分别连接两所述支撑杆且用于支撑所述载物架的支撑横梁以及两端分别连接两所述支撑杆且与所述支撑横梁间隔设置的固定板,两所述支撑杆分别连接两所述高度调节座,且所述高度调节座用于调节所述支撑杆的高度。在一个实施例中,所述阀门结构还包括连接板、用于连接所述隔热板与所述连接板的固定侧板、分别位于所述连接板两端的两阀门导杆以及连接所述机台板的两轴承导座,两所述轴承导座分别用于引导两所述阀门导杆的上下移动。在一个实施例中,所述开口相对开设有两个,所述载物架包括穿设两所述开口且用于承托所述目标物的传送杆以及连接所述传送杆两端的两固定杆,所述传送杆间隔设置有多个且各所述传送杆的两端分别连接两所述固定杆。本技术的另一目的还在于提供一种真空焊接设备,其包括如上所述的升降联动装置。本技术的有益效果在于:通过驱动结构驱动支撑座上升或下降,从而使主动臂随支撑座的上升而上升,并随支撑座的下降而下降;根据杠杆原理,从动臂的移动方向与主动臂相反,且从动臂在上升过程中驱动隔热板关闭开口,从动臂在下降过程中驱动隔热板打开开口,从而通过设置一个驱动结构而实现料片和隔热板的联动,节约了成本,且杠杆结构具有结构简单、稳定性高的特点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的升降联动装置的立体结构图;图2是图1的升降联动装置的阀门结构的立体示意图;图3是图1的升降联动装置的杠杆结构的爆炸图;图4是图1的升降联动装置的支撑结构的立体示意图;图5是图1的升降联动装置的驱动结构的立体示意图。其中,图中各附图标记:100、升降联动装置;10、加热结构;11、发热块;12、机盖;13、机台板;131、升降槽;101、料片;111、第一避让槽;20、支撑结构;21、载物架;22、支撑座;50、杠杆结构;30、驱动结构;31、驱动器;32、电机安装板;33、底板;34、凸轮转轴;35、主动轮;36、随动轮;37、升降板;38、升降机构;39、轴承凸轮座;40、阀门结构;41、隔热板;221、支撑横梁;222、固定板;223、支撑杆;224、高度调节座;225、支撑块;211、传送杆;212、固定杆;303、导向组件;301、导向套;302、导向柱;42、固定侧板;43、连接板;44、阀门导杆;45、轴承导座;46、缓冲块;411、第二避让槽;51、主动臂;52、轴连杆;53、从动臂;54、轴承座;511、主上导块;513、主下导块;512、主轴承;514、第一滑槽;515、第一转轴;531、从上导块;532、从下导块;533、从轴承;535、第二转轴;534、第二滑槽;541、第三转轴;542、锁紧块;121、发热腔;122、开口。具体实施方式为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。需要理解的是,术语“长度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种升降联动装置,与加热结构(10)配合使用,其中,所述加热结构(10)用于对目标物进行加热且包括固定设置的机台板(13)、连接机台板(13)上的发热块(11)以及设有发热腔(121)并连接所述机台板(13)的机盖(12),所述发热腔(121)具有开口(122),所述开口(122)的朝向水平设置,所述发热块(11)与所述目标物均位于所述发热腔(121),其特征在于,所述升降联动装置包括:/n支撑结构(20),包括支撑座(22)以及连接所述支撑座(22)的载物架(21),所述载物架(21)用于承托所述目标物;/n驱动结构(30),连接所述支撑座(22)且用于驱动所述支撑座(22)上升或下降,所述载物架(21)随所述支撑座(22)同步移动,且所述载物架(21)在下降过程中将所述目标物释放于所述发热块(11),并在上升过程中将所述目标物抬离所述发热块(11);/n阀门结构(40),包括隔热板(41),所述隔热板(41)的一侧板面平行所述开口(122)所确定的平面;以及/n杠杆结构(50),包括与所述机台板(13)转动连接的轴连杆(52)、滑动连接所述轴连杆(52)一端的主动臂(51)以及滑动连接所述轴连杆(52)另一端的从动臂(53),所述主动臂(51)连接所述支撑座(22)并随所述支撑座(22)同步移动以驱动所述轴连杆(52)转动,并使所述轴连杆(52)驱动所述从动臂(53)上升或下降,所述从动臂(53)在上升过程中驱动所述隔热板(41)关闭所述开口(122),并在下降过程中驱动所述隔热板(41)打开所述开口(122)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种升降联动装置,与加热结构(10)配合使用,其中,所述加热结构(10)用于对目标物进行加热且包括固定设置的机台板(13)、连接机台板(13)上的发热块(11)以及设有发热腔(121)并连接所述机台板(13)的机盖(12),所述发热腔(121)具有开口(122),所述开口(122)的朝向水平设置,所述发热块(11)与所述目标物均位于所述发热腔(121),其特征在于,所述升降联动装置包括:
支撑结构(20),包括支撑座(22)以及连接所述支撑座(22)的载物架(21),所述载物架(21)用于承托所述目标物;
驱动结构(30),连接所述支撑座(22)且用于驱动所述支撑座(22)上升或下降,所述载物架(21)随所述支撑座(22)同步移动,且所述载物架(21)在下降过程中将所述目标物释放于所述发热块(11),并在上升过程中将所述目标物抬离所述发热块(11);
阀门结构(40),包括隔热板(41),所述隔热板(41)的一侧板面平行所述开口(122)所确定的平面;以及
杠杆结构(50),包括与所述机台板(13)转动连接的轴连杆(52)、滑动连接所述轴连杆(52)一端的主动臂(51)以及滑动连接所述轴连杆(52)另一端的从动臂(53),所述主动臂(51)连接所述支撑座(22)并随所述支撑座(22)同步移动以驱动所述轴连杆(52)转动,并使所述轴连杆(52)驱动所述从动臂(53)上升或下降,所述从动臂(53)在上升过程中驱动所述隔热板(41)关闭所述开口(122),并在下降过程中驱动所述隔热板(41)打开所述开口(122)。


2.如权利要求1所述的升降联动装置,其特征在于:所述主动臂(51)包括连接所述支撑座(22)的主上导块(511)、连接所述主上导块(511)且开设有第一滑槽(514)的主下导块(513)、滑动设置于所述第一滑槽(514)内的主轴承(512)以及连接所述主轴承(512)与所述轴连杆(52)的第一转轴(515)。


3.如权利要求1所述的升降联动装置,其特征在于:所述从动臂(53)包括连接所述隔热板(41)的从上导块(531)、连接所述从上导块(531)且开设有第二滑槽(534)的从下导块(532)、滑动设置于所述第二滑槽(534)内的从轴承(533)以及连接所述从轴承(533)与所述轴连杆(52)的第二转轴(535)。


4.如权利要求1所述的升降联动装置,其特征在于:所述杠杆结构(50)还包括连接所述机台板(13)下表面的轴承座(54)和一端连接所述轴连杆(52)而另一端转动连接所述轴承座(54)的第三转轴(541)。


5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡新荣
申请(专利权)人:深圳新益昌科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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