去除砷中痕量氯的方法技术

本公开提供了去除砷中痕量氯的方法，包含步骤：a.将进气管连接到石英管，将砷放入石英管靠近进气管的一端，同时将石英管的另一端连接出气管；b.向石英管中先通入不活泼气体置换掉石英管中空气，再通入氢气，同时给石英管中的砷加热以去除砷表面的氯；c.维持步骤b中的氢气流量，继续升高步骤b中的加热温度，使砷气化升华，控制石英管的另一端的温度使砷蒸气冷凝；d.对于冷凝的砷，将其尾部的砷去除，即得最终除氯后的砷产品。本公开提供的去除砷中痕量氯的方法操作简单、无污染、效率高、分离彻底，生产成本低，易于规模化生产。

【技术实现步骤摘要】
去除砷中痕量氯的方法
本公开涉及半导体领域，具体涉及去除砷中痕量氯的方法。
技术介绍
高纯砷是合成砷化镓化合物、砷化锌、砷化铟、硒化砷化合物等的主要原料。高纯砷广泛应用于集成电路，芯片器件，霍尔元件，硫系玻璃，5G通讯等领域。近年来随着高新技术产业的发展，高纯砷的应用领域日益广泛，对高纯砷的纯度要求越来越高。其中生产高纯砷的常见方法是氯化砷的氢化还原法，三氯化砷和H2在高温下发生化学反应生成砷单质和HCl，生成的HCl大部分随着气流被带走，砷单质产品中还是残留有痕量级别的氯。上述的说明仅是提供
技术介绍
，并未承认上文的“
技术介绍
”构成本公开的现有技术。
技术实现思路
鉴于
技术介绍
存在的问题，本公开提供了去除砷中痕量氯的方法，可以去除砷单质产品中残留的痕量级别的氯。在一实施例中，本公开去除砷中痕量氯的方法包含步骤：a.将进气管连接到石英管，将砷放入石英管靠近进气管的一端，同时将石英管的另一端连接出气管；b.向石英管中先通入不活泼气体置换掉石英管中空气，再通入氢气，同时给石英管中的砷加热以去本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种去除砷中痕量氯的方法，其特征在于，包括步骤：/na.将进气管连接到石英管，将砷放入石英管靠近进气管的一端，同时将石英管的另一端连接出气管；/nb.向石英管中先通入不活泼气体置换掉石英管中空气，再通入氢气，同时给石英管中的砷加热以去除砷表面的氯；/nc.维持步骤b中的氢气流量，继续升高步骤b中的加热温度，使砷气化升华，控制石英管的另一端的温度使砷蒸气冷凝；/nd.对于冷凝的砷，将其尾部的砷去除，即得最终除氯后的砷产品。/n

【技术特征摘要】
1.一种去除砷中痕量氯的方法，其特征在于，包括步骤：
a.将进气管连接到石英管，将砷放入石英管靠近进气管的一端，同时将石英管的另一端连接出气管；
b.向石英管中先通入不活泼气体置换掉石英管中空气，再通入氢气，同时给石英管中的砷加热以去除砷表面的氯；
c.维持步骤b中的氢气流量，继续升高步骤b中的加热温度，使砷气化升华，控制石英管的另一端的温度使砷蒸气冷凝；
d.对于冷凝的砷，将其尾部的砷去除，即得最终除氯后的砷产品。


2.根据权利要求1所述的去除砷中痕量氯的方法，其特征在于，在步骤a中，出气管未连接石英管的一端连接尾气处理装置。


3.根据权利要求1所述的去除砷中痕量氯的方法，其特征在于，在步骤a中，在进气管连接石英管之前，在石英管中通过王水、超纯水对其进行预处理。


4.根据权利要求1所述的去除砷中痕量氯的方法，其特征在于，在步骤b中，所述不活泼气体包括氮气、稀有气体中的至少一种。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘留，曾小东，陈强，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44